An independent broadband high-efficiency quartz transmission grating for polarization center wavelength is 800 nm waveband, the grating period of 700 to 800 nm grating, grating etching depth is 1.5 to 2.5 microns, the duty ratio is 0.55 - 0.75, transmission diffraction efficiency of the fused silica grating on TE and TM polarized light - 1 in the wavelength range of 740880 nm in more than 90%. The invention of polarization independent wideband high-efficiency quartz transmission grating by optical holographic recording technique or electron beam writing device combined with microelectronics deep etching process, convenient, low cost, mass production, and has important practical prospect.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及针对800纳米波长的石英透射光栅，特别是一种偏振无关宽带高效 率石英透射光栅。
技术介绍
在飞秒激光领域，尤其是在啁啾脉冲放大技术中，人们往往需要高衍射效率、 较大的角度色散、较宽波长范围和角度带宽的衍射光栅。最近，Weijia等人在熔石 英上制作了高衍射效率的透射式光栅，其-1级的衍射效率理论上可达98%。而且，这 种透射式光栅对光脉冲压縮器的尺寸非常小(通常只有几个毫米)从而大大的减小 了整个激光器系统的尺寸在先技术1: W. Jiaetal.,Appl.Opt.47，6058(2008)。但是， Wei Jia等人制作的这种透射式石英光栅属于窄带偏振相关器件，即它只在较窄的波 长带宽内对一个偏振态(TE偏振)可以实现高效率，不能满足偏振无关和宽带的需 求。熔融石英是一种理想的光栅材料，它具有高光学质量稳定的性能、高损伤阈 值和从深紫外到远红外的宽透射谱。因此，刻蚀高密度深刻蚀熔融石英光栅作为新 型的偏振无关宽带器件具有广泛的应用前景。矩形深刻蚀光栅是利用微电子深刻蚀工艺，在基底上加工出的具有较深槽形的 光栅。由于表面刻蚀光栅的刻蚀深度较深，所...
【技术保护点】
一种用于８００纳米波段的偏振无关宽带高效率石英透射光栅，其特征在于该光栅的周期为７００～８００纳米，光栅的刻蚀深度为１．５～２．５微米，光栅的占空比为０．５５～０．７５。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周常河，曹红超，冯吉军，贾伟，武腾飞，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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