【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种金属母版直接拷贝制作云纹光栅的方法,属光学
技术介绍
云纹干涉法是现代光测力学的新领域。云纹干涉法由于具有高灵敏度、大量程、非 接触、全场和实时观测等显著优点而受到广泛重视,并在材料科学、无损检测、断裂力学、细 观力学、微电子封装等领域获得了成功应用,因而被誉为八十年代以来实验力学领域中的 最重要发展。由于云纹干涉法是以复制在试件或构件表面的云纹光栅作为试件变形的传感 元件,因而高质量、高灵敏度和高精度而又易于复制和转移的云纹光栅便成为云纹干涉法 推广应用的关键性元件。云纹光栅是形成云纹图像并影响图像质量的关键光学元件,采用 何种方法制作光栅是首先要解决的问题。 目前,制作云纹光栅的方法很多,例如机械刻法、放大复制法、真空拷贝法、电子束 刻蚀法等。机械刻化法切削刀具不可避免地会出现刀具磨损和崩屑现象,栅线边界参差不 齐,节距误差较大。绘图机法成本很高,栅线粗细不均匀。采用母版放大复制法,由于原版 的误差及缺陷被线性放大,母版必须是质量非常高的平晶光刻模版,同时必须在超净的环 境下制作,又由于放大时的衍射效应,栅线的清晰度和对比度都会受 ...
【技术保护点】
一种金属母版直接拷贝制作云纹光栅的方法,其特征在于,所述方法采用金属母版直接拷贝法,将母版一比一拷贝在超微粒干版上,再经过适当的显影处理,从而获得云纹光栅。
【技术特征摘要】
一种金属母版直接拷贝制作云纹光栅的方法,其特征在于,所述方法采用金属母版直接拷贝法,将母版一比一拷贝在超微粒干版上,再经过适当的显影处理,从而获得云纹光栅。2. 根据权利要求1所述的一种金属母版直接拷贝制作云纹光栅的方法,其特征在于, 所述方法为在调整水平的基准平台(3),将平整的弹性尼龙垫(2)铺在基准平台上,用干净的黑平 ...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴禄慎,王莉,孟凡文,
申请(专利权)人:南昌大学,
类型:发明
国别省市:36[中国|江西]
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