基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅制造技术

一种用于１５５０纳米波段的基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅，特点在于其是由的石英基底、银层、石英连接层和矩形光栅一体构成，该矩形光栅的周期为８８０纳米，占空比为０．５，银层的厚度为１００纳米，光栅刻蚀深度为９５０纳米～１２７６纳米，连接层的厚度为３３７纳米～３７５纳米。本发明专利技术基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅在１４９０－１６０１波段的宽带上，ＴＥ偏振的－１级反射衍射效率和ＴＭ偏振的０级反射衍射效率均大于９４％，ＴＥ偏振的－１级消光比大于１００，ＴＭ偏振的０级消光比大于４０，该光栅可以用作Ｃ＋Ｌ波段的偏振分束器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光纤通信，特别是一种基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅，是一种用于1550纳米波长的基于金属层反射的反射式石英偏振分束
技术介绍
信息时代随着科学技术的迅猛发展，人类社会正向信息社会演变。信息 传送量正以一种加速度的形式膨胀，这就要求传输网络越来越大。现有的以 电为基本传输介质的物理层而构筑的网络已到了其极限，带宽匮乏、速度慢、 灵活性差。随着"电子通信时代"向"信息通信时代"的转化，人们要求在 任何地方、任何时间以任何方式随时都可以获得大量信息。这些要求导致了 语音、图像、数据等信息的急剧增长，尤其是Internet的迅速发展，使得人们 对通信网容量的需求越来越大。用光波作为载波，它的极高的时间、空间带 宽积，高度的并行性和无干扰性，在信息高速传送和处理时，具有光损耗小、 信号无畸变、无时钟歪斜等优点。光纤通信具有大容量、低损耗、远距离传 输等优点，是满足快速增长带宽需求的重要技术手段。空间光交换网络被认 为是处理速度最快、传输率最快、最理想的空间光子交换网络系统。为了增 加带宽和减少不同通道间的串扰要用到不同的偏振态。偏振分束器是光交换 网络中基本的元件，它可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于１５５０纳米波段的基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅，其特征在于由石英基底（１）、银层（２）、石英连接层（３）和矩形光栅（４）一体构成，该矩形光栅（４）的周期为８８０纳米，占空比为０．５，银层（２）的厚度为１００纳米，光栅刻蚀深度为９５０纳米～１２７６纳米，石英连接层（３）的厚度为３３７纳米～３７５纳米。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周常河，郑将军，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]