温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于１５５０纳米波段的基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅，特点在于其是由的石英基底、银层、石英连接层和矩形光栅一体构成，该矩形光栅的周期为８８０纳米，占空比为０．５，银层的厚度为１００纳米，光栅刻蚀深度为９５０纳米～１２７６纳米，连...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于１５５０纳米波段的基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅，特点在于其是由的石英基底、银层、石英连接层和矩形光栅一体构成，该矩形光栅的周期为８８０纳米，占空比为０．５，银层的厚度为１００纳米，光栅刻蚀深度为９５０纳米～１２７６纳米，连...