宽幅连续磁控溅射镀膜辊正反螺旋流冷却结构制造技术

宽幅柔性磁控溅射镀膜辊的正反螺旋流冷却结构，包括外不锈钢薄层、冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬、冷却液导流管，镀膜辊两端端面、旋转轴和螺旋槽，外不锈钢薄层为圆柱筒体，冷液进出正反双螺旋流槽不锈钢内衬为圆柱筒体，它紧贴在外不锈钢薄层下，冷却液导流管镶嵌在不锈钢内衬的双螺旋槽内，通过镀膜辊两端端面将外不锈钢薄层和不锈钢内衬支撑在镀膜辊旋转轴上，循环冷液导流管进出口在镀膜辊同一侧端面，进出冷液两管在不锈钢内衬中并排紧靠组成双管按照表面双螺旋方式绕制到镀膜辊同一侧；工作时，镀膜辊冷却液在导流管内循环流动将余热带走，它的冷却效果和温度均匀性更好，循环冷液进出口压差也容易实现。

Positive and negative helical flow cooling structure of wide range continuous magnetron sputtering coating roll

Positive and negative spiral flexible magnetron sputtering and wide flow cooling structure, including stainless steel thin and cold liquid import double spiral groove stainless steel liner, coolant guide tube, coating roller ends end, the rotary shaft and the spiral groove, the outer layer of stainless steel cylinder body, cooling liquid into and out of double helical groove is a cylindrical stainless steel lining it clings to the outer cylinder, stainless steel sheet, the coolant guide tube is arranged in the double spiral groove stainless steel liner, by coating roller ends end outer stainless steel and stainless steel lining support in thin film coating roller rotating shaft, circulating cooling liquid guide pipe in the import and export of coating roller and one end surface, and the cold liquid pipe two in the stainless steel lined side by side close to the surface in accordance with the composition double double helix winding roller coating to one side; when coating and circulating cooling fluid in the diversion pipe Taking the waste heat away, its cooling effect and temperature uniformity are better, and the inlet and outlet pressure difference of the cold liquid is also easy to realize.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术为宽幅柔性基底连续磁控溅射镀膜辊中的正反螺旋流恒温冷却结构，属于冷却装置领域。
技术介绍
空间环境复杂，为了卫星长期安全工作，使用柔性热控材料是十分必要的。卫星等航天器整星包敷柔性热控材料，它起到热控、防静电等作用，目前所需柔性热控材料为幅宽1.2m。采用磁控溅射技术在柔性基底上镀制膜层形成柔性热控材料，镀膜辊为不锈钢圆柱桶体，随着镀膜辊的转动，带动柔性基底的移动连续成膜，在镀膜过程中，基底温度对柔性热控材料的性能会产生很大的影响，如果镀膜辊冷却方式和效果不好，会造成基底温度随镀膜过程的进行而产生明显的升高或不均匀，影响大面积成膜的工艺稳定性和性能一致性，甚至造成批次性报废。现有的镀膜辊表面轴向单向流冷却结构、表面轴向双向流冷却结构、表面单向螺旋流冷却结构，冷却效果和温度均匀性不是非常理想。而且，循环冷液在镀膜辊表面上的流动和排布方式，例如冷液导流管在镀膜辊圆柱表面是轴向排布还是螺旋排布，冷液流动方向是表面轴向双向流还是单向流，表面螺旋单向流还是双向流，对冷却效果，特别是镀膜辊表面温度均匀性有较大的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决镀膜辊冷却效果和温度均匀性更好本文档来自技高网...

【技术保护点】
宽幅连续磁控溅射镀膜辊正反螺旋流冷却结构，包括外不锈钢薄层（１）、冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬（２）、冷却液导流管（５）、螺旋槽（６）、镀膜辊两端端面（３）和旋转轴（４）；其中，外不锈钢薄层（１）为圆柱筒体，冷液进出正反双螺旋流槽不锈钢内衬（２）为圆柱筒体，它紧贴在外不锈钢薄层（１）下，冷却液导流管（５）镶嵌在冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬（２）的螺旋槽（６）内，通过镀膜辊两端端面（３）将外不锈钢薄层（１）和冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬（２）支撑在镀膜辊旋转轴（４）上，冷液导流管（５）进出口在镀膜辊同一侧端面，进出冷液两管在冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬（２）中并排紧靠组成双管按照表面双螺...

【技术特征摘要】
1.宽幅连续磁控溅射镀膜辊正反螺旋流冷却结构，包括外不锈钢薄层(1)、冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬(2)、冷却液导流管(5)、螺旋槽(6)、镀膜辊两端端面(3)和旋转轴(4)；其中，外不锈钢薄层(1)为圆柱筒体，冷液进出正反双螺旋流槽不锈钢内衬(2)为圆柱筒体，它紧贴在外不锈钢薄层(1)下，冷却液导流管(5)镶...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵慨，冯煜东，王艺，王志民，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所，
类型：发明
国别省市：62[]