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宽幅柔性磁控溅射镀膜辊的正反螺旋流冷却结构，包括外不锈钢薄层、冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬、冷却液导流管，镀膜辊两端端面、旋转轴和螺旋槽，外不锈钢薄层为圆柱筒体，冷液进出正反双螺旋流槽不锈钢内衬为圆柱筒体，它紧贴在外不锈钢薄层下，冷却液导...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所授权不得商用。