一种对慢走丝切割钨及钨合金器件的平面度测量方法技术

本发明专利技术涉及一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度的测量方法。其特征在于采用非接触式激光平面度测量仪，其测量过程是用一束激光以一定角度聚集在被测工件表面，再从另一角度对工件表面的激光光斑进行成像。本发明专利技术的一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其测量原理是激光三角法，通过非接触式激光平面度测量仪来实现，其测量精度高可满足钨及钨合金器件平面度小于０．０５ｍｍ的要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度的测量方法。
技术介绍
慢走丝切割钨及钨合金器件是医用CT准直器的关键部件。为了保证其成像质 量和诊断效果，对CT准直器用钨及钨合金器件精度要求非常严格， 一般钩及钨合 金器件厚度公差为士0.01 mm，表面粗糙度小于0.6pm，平面度小于0.05mm。由于 钨片厚度均在0.254mm以下，现有的接触式检测仪在测量工件平面度时会产生一定 的接触力，易造成工件局部形变，致使测量结果无法满足成品高精度要求，因此寻 找一种适宜的平面度测量方法至关重要。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对上述技术不足，提供一种能有效减少工件局部形变的影 响，提高测量精度的对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度的测量方法。 本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的。一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其特征在于采用非接触式 激光平面度测量仪，其测量过程是用一束激光以一定角度聚集在被测工件表面，再 从另一角度对工件表面的激光光斑进行成像的方法进行测量的。本专利技术的一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其特征在于其 测量过程是采用激光器DRS-500发射出一束激光以一定角度聚集在被测工件表面， 再从另一角度对工件表面反射的激光光束进行采集；根据采集到反射的激光光束角 度，计算出主光线角度，从而得出工件表面激光照射点位置高度；沿激光线方向移 动工件，根据测量值的改变，实现用激光测量工件的位移及高度差。本专利技术的一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其特征在于其测 量过程的步骤包括(1) 将被测工件放置于测量用模具凹槽内；(2) 将模具放置于载物平台上并用螺丝将其固定；(3) 根据要求，设置平面度公差范围并构造相应的辅助量测单元，其测量辅助 单元是工件表面扫描面积，确定扫描起始点及终点、扫描点数、数据分析面积、步进；(4) 以所有扫描点的高度的算术平均数为基准，确立一个最优的测量基准面；(5) 以此基准面为基准，对所扫描点进行数据处理计算 平面度值=最高的10个点平均值-最低10个点平均值(6) 输出并保存测量数据，完成测量。本专利技术的一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其测量原理是激 光三角法，通过非接触式激光平面度测量仪来实现，其测量精度高可满足钨及钨合 金器件平面度小于0.05mm的要求。具体实施例方式通过一种非接触式激光平面度测量仪实现。此设备原理是激光三角法用一束 激光以一定角度聚集在被测工件表面，再从另一角度对工件表面反射的激光光束进 行采集。工件表面激光照射点位置高度不同，所接受散射或反射光线角度也不同， 根据采集到反射的激光光束角度，计算出主光线角度，从而得出工件表面激光照射 点位置高度。当工件沿激光线方向移动时，测量值将发生改变，从而实现用激光测 量工件的位移及高度差。 j吏用OGPDRS-500平面度测量仪，其技术参数<table>table see original document page 4</column></row><table>具体检测方法(1) 将被测工件放置于测量用模具凹槽内；(2) 将模具放置于载物平台上并用螺丝将其固定；(3) 根据相关协议的要求，设置平面度公差范围并构造相应的辅助量测单元 (选择合适工件表面扫描面积，确定扫描起始点及终点、扫描点数、数据分析面积、步进等)；(4) 以所有扫描点的高度的算术平均数为基准，确立一个最优的测量基准面;(5) 以此基准面为基准，设备软件上二次开发的计算方法对所扫描点进行数 据处理平面度值=最高的10个点平均值-最低10个点平均值(6)输出并保存测量数据 扫描方式1. 单片扫描使用Ascan7.5软件对被测量工件进行单片扫描，单片分析。数据 分析根据工件表面面积大小选择合适的扫描面积、数据分析面积、步进、扫描起始点及终点，根据设备软件上二次开发的计算方法得出相应平面度值。2. 多片扫描设计多片测量平面度用平板模具，将钩及鸨合金器件摆放在模具凹槽内，使用Ascan7.5软件对整个模具进行几何坐标定位，然后根据坐标位置进 行整板内钨及钨合金器件产品的扫描。数据分析方法如单片扫描。多片扫描的优点是提高了钨及钨合金器件平面度测量效率，能满足大批量测量需求。实施例(1)单片测量测量钨器件的规格SO. 102X39. 5X14. 9 mm 扫面面积600mm2 测量分析面积550mm2 分析点数约600点 步进1mm测量效率20S/1片(2)多片测量用模具 规格S 8X300X300mm 整板放置钨器件44片，测量效率8min/l板。 采用激光器DRS-500发射出一束激光以一定角度聚集在被测工件表面，再从另 一角度对工件表面反射的激光光束迸行采集；根据采集到反射的激光光束角度，计 算出主光线角度，从而得出工件表面激光照射点位置高度；沿激光线方向移动工件， 根据测量值的改变，实现用激光测量工件的位移及高度差。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其特征在于采用非接触式激光平面度测量仪，其测量过程是用一束激光以一定角度聚集在被测工件表面，再从另一角度对工件表面的激光光斑进行成像的方法进行测量的。

【技术特征摘要】
1.一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其特征在于采用非接触式激光平面度测量仪，其测量过程是用一束激光以一定角度聚集在被测工件表面，再从另一角度对工件表面的激光光斑进行成像的方法进行测量的。2. 根据权利要求1所述的一种对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法， 其特征在于其测量过程是采用激光器DRS-500发射出一束激光以一定角度聚集在 被测工件表面，再从另一角度对工件表面反射的激光光束进行采集；根据采集到反 射的激光光束角度，计算出主光线角度，从而得出工件表面激光照射点位置高度； 沿激光线方向移动工件，根据测量值的改变，实现用激光测量工件的位移及高...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁旭，闫建峰，刘洋，李静，赵娟，李聪兵，郭磊，马琨，赵小明，
申请(专利权)人：西部金属材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]