使用薄膜感测部件的化学传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种使用薄膜感测部件的化学传感器，所述化学传感器可包括：第一电极，在基底上；感测部件，覆盖基底上的第一电极；多个第二电极，在感测部件的表面上，暴露感测部件的表面。化学传感器可构造为当将被感测的化合物被吸附到感测部件上时测量电特性的变化。还提供一种包括化学传感器的阵列的化学传感器阵列。

【技术实现步骤摘要】

示例性实施例涉及一种包括传感部件的化学传感器，该传感器部件具有 相对大面积和在上电极使用的纳米结构(例如，纳米线)。
技术介绍
已经进行通过测量人的呼吸中的化合物的成份来诊断疾病的研究。例如，在肺癌患者和乳腺癌患者的情况下，与健康人不同，大约10种挥发性有机化合物在呼吸时^^皮释放。因此，分析挥发性有机化合物的组份的化学传感器可 被用于检测疾病。现有的化学传感器可使用化合物的下述特性测量化合物的挥发性有机化合物(voc)可能相对稳定，因此，会难以使用电方法分 析其组份。可使用气相色谱(GC)来分析VOC,但是，传感器可能相对大 并且昂贵。使用半导体的传感器具有一些优点。例如，使用半导体的传感器可能相 对便宜，以及可实时执行检测。另外，使用半导体的传感器可相对小。但是， 与使用半导体的传感器有关的检测灵敏度会相对低，并且会难以检测稳定材料，例如，voc。已提出使用导电聚合物的voc测量传感器。当导电聚合物吸附voc时， 由于各种原因(例如，导电聚合物的膨胀)导致导电聚合物的功函数变化， 从而可通过测量导电聚合物的功函数的变化来检测voc。但是，使用导电聚合物的传感器也难以达到几个pp本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学传感器，包括：　第一电极，在基底上；　感测部件，覆盖基底上的第一电极；　多个第二电极，在感测部件的表面上，暴露感测部件的表面；　其中，所述化学传感器被构造为当将被感测的化合物吸附在感测部件上时测量电特性的变化 。

【技术特征摘要】
KR 2008-9-26 10-2008-00947411、一种化学传感器，包括第一电极，在基底上；感测部件，覆盖基底上的第一电极；多个第二电极，在感测部件的表面上，暴露感测部件的表面；其中，所述化学传感器被构造为当将被感测的化合物吸附在感测部件上时测量电特性的变化。2、 根据权利要求1所述的化学传感器，其中，所述多个第二电极的每个 具有10nm至10pm的宽度。3、 根据权利要求1所述的化学传感器，其中，第一电极与所述多个第二 电极之间的间隙是10nm至lpm。4、 根据权利要求1所述的化学传感器，其中，第一电极包括多个纳米线， 所述多个第二电极中的每一个第二电极包括纳米线。5、 根据权利要求4所述的化学传感器，其中，所述多个第二电极与第一 电极交叉。6、 根据权利要求4所述的化学传感器，其中，第一电...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪起夏，崔赫洵，金钟燮，申在光，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]