基板处理系统及其基板搬运装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种基板处理系统及其基板搬运装置，其中所述基板处理系统，包括储放匣及基板搬运装置。储放匣具有多个用以储放基板的容置空间，且这些容置空间是沿一排列方向彼此层叠。基板搬运装置包括主体、承载单元以及至少一个基板突出感测器。承载单元适于在待机位置与至少一个工作位置之间移动，并具有承载面与彼此相对的第一端及第二端，且第一端是连接至主体。基板突出感测器是配置于承载单元上，并位于其第二端。而且，基板突出感测器具有第一感测面，其是与承载单元之承载面同样朝向容置空间的排列方向。此基板处理系统可在做映射感测时，感测基板是否有过于突出的情况，以避免撞伤基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种基板处理系统及其基板搬运装置，且特别是有关于 一种可检测位置异常的基板及基板缺角的基板处理系统及其基板搬运装置。
技术介绍
在显示装置的工艺中，由于基板需要经过多道工艺程序，因此必须使用 搬运装置来在各道工艺程序之间搬运基板。目前的做法是通过机械手臂将基板由储放匣(Cassette)中取出，并运送至工艺机台上进行工艺反应，之后再于 工艺结束后，从机台上将基板送回至储放匣内，以进行一系列的工艺步骤。而且，为获得储放匣内所存放的基板数量或其他信息，机械手臂在伸入 储放匣内拾取基板前，会先在距离储放匣一特定距离之处做上升与下降的动 作，以便于通过设置在机械手臂前端的映射感测器(mapping sensor)来感测存 放在储放匣内的基板的信息。然而，当存放在储放匣内的基板位置异常而过于突出储放匣外时，则容 易发生机械手臂在进行映射感测时撞击到突出的基板，因而导致基板破损。 此时，必须暂停整个搬运流程，并以人工的方式排除破片。如此一来，将导 致维修成本提高及浪费人力的问题。此外，近年来显示面板的尺寸日趋扩大，而大尺寸的玻璃基板在运送过 程中容易发生缺角或破损的情形，但由于已知的基板搬运装置并没有检测缺 角的功能，因此当具有缺角的基板须待被移送至工艺机台上时，才能因为基 板的尺寸不符等因素而被机台操作者发觉。这样不仅造成机台操作者的困扰， 同时也会耗费较多的制造工时。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的就是在于提供一种基板搬运装置，其可在做映 射感测时，同时检测欲拾取的基板是否有摆放位置突出的情况，以避免撞伤 基板。本专利技术的再一目的是提供一种基板搬运装置，其可在将基板运送至工艺 机台上前，先检测基板是否有缺角的情况。本专利技术的又一目的是提供一种基板处理系统，其可在做映射感测时，同 时感测储放匣内的基板是否有突出的情况，以避免撞伤基板。本专利技术的另一目的是提供一种基板处理系统，其可在将基板从储放匣内 取出后，先检测基板是否有缺角的情况。本专利技术提出一种基板搬运装置，包括主体、承载单元以及至少一基板突 出感测器。其中，承载单元适于在一待机位置与至少一工作位置之间移动， 并具有承载面与彼此相对的第一端及第二端，且第一端是连接至主体。基板 突出感测器则是配置于承载单元上，并位于其第二端。而且，基板突出感测 器具有第一感测面，其是与承载单元的承载面朝向同一方向。本专利技术提出一种基板处理系统，包括储放匣与上述基板搬运装置。其中， 储放匣具有多个容置空间，用以储放多个基板。而且，这些容置空间是沿一 排列方向彼此层叠，基板即是分别位于对应的容置空间内。此外，承载单元 的承载面与基板突出感测器的第一感测面均朝向此排列方向。在本专利技术的较佳实施例中，上述的主体包括一校正平台，具有彼此相对 的第一侧边与第二侧边，而承载单元从工作位置移至待机位置时，是经由第 二侧边朝向第一侧边移动。在本专利技术的较佳实施例中，上述的基板搬运装置还包括多个破片感测器， 配置于上述校正平台上，并邻近于其第二侧边。而且，这些破片感测器可以 大致平行第二侧边而间隔排列。7在本专利技术的较佳实施例中，上述的基板搬运装置还包括至少一位置校正 单元，配置于校正平台旁，并位于第一侧边该第二侧边之间。在本专利技术的较佳实施例中，上述的基板搬运装置还包括至少一位置校正 感测器，配置于承载单元的承载面上，并邻近承载单元的第一端。在本专利技术的较佳实施例中，上述的基板搬运装置还包括一映射感测器(mapping sensor),配置于承载单元的第二端。而且，映射感测器具有第二感 测面，其是大致垂直于基板突出感测器的第一感测面。在本专利技术的较佳实施例中，上述的映射感测器是嵌设于承载单元的第二i山顺。本专利技术还提出一种基板搬运装置，包括承载单元、主体及多个破片感测 器。其中，承载单元适于在待机位置与工作位置之间移动，并具有一承载面 及彼此相对的一第一端与一第二端。主体是连接至承载单元的第一端，并包 括具有彼此相对的第一侧边与第二侧边的校正平台。承载单元从工作位置移 至待机位置时，是经由校正平台的第二侧边朝向第一侧边移动。破片感测器 则是配置于校正平台上，并邻近其第二侧边。本专利技术还提出一种基板处理系统，包括储放匣与上述的基板搬运装置。 其中，储放匣具有多个容置空间，用以储放多个基板。而且，这些容置空间 是沿一排列方向彼此层叠，基板即是分别位于对应的容置空间内。此外，承 载单元的承载面是朝向此排列方向。在本专利技术的较佳实施例中，上述的破片感测器是大致平行校正平台的第 二侧边而间隔排列。在本专利技术的较佳实施例中，上述的基板搬运装置还包括至少一位置校正 单元，配置于校正平台旁，并位于第一侧边与第二侧边之间。在本专利技术的较佳实施例中，上述的基板搬运装置还包括至少一位置校正 感测器，配置于承载单元的承载面上，并邻近其第一端。在本专利技术的较佳实施例中，上述的基板搬运装置还包括一映射感测器(mapping sensor),配置于承载单元的第二端。而且，映射感测器具有第二感 测面，大致垂直于承载单元的承载面并朝向上述的储放匣。在本专利技术的较佳实施例中，上述的映射感测器是嵌设于承载单元的第二A山顿。本专利技术的基板处理系统是在基板搬运装置中设置有基板突出感测器，以 于承载单元对储放匣内的基板进行映射感测时，同时检查是否有基板过度突 出于储放匣外，因而避免承载单元在映射感测过程中撞伤突出的基板。另外， 本专利技术的基板搬运装置还可以设置有多个破片感测器，以便于在将基板从储 放匣内取出后，先检查基板是否破损，进而确保通过基板搬运装置搬运至工 艺机台上的基板均无破片。由上述可知，本专利技术不但能够有效地提高基板的生产良品率，更可以提 升后续工艺的运作流畅度。附图说明图1为本专利技术的一实施例中基板处理系统的侧面简单示意图； 图2为图1的基板搬运装置的立体示意图； 图3为图2的承载单元的放大示意图4为本专利技术的另一实施例中基板处理系统的侧面简单示意图5A为本专利技术的一实施例中映射感测器所回传的信号波形时序图5B为本专利技术的一实施例中基板突出感测器所回传的信号波形时序图6A为本专利技术的另一实施例中映射感测器所回传的信号波形时序图6B为本专利技术的另一实施例中基板突出感测器所回传的信号波形时序图7A至图7C分别为基板破损的示意图8A至图8C分别绘示本专利技术的不同实施例中破片感测器所回传的信号 波形时序图。储放匣 容置空间附图标号100:基板处理系统101 110 112120121122123124125126127128129210211 213 220A^r ^山第一顿 主体第J而 承载单元 承载面基板突出感测器 第一感测面 映射感测器 第二感测面 校正平台第二侧边220a、 220b、 220c:破片感测器 310a、 310b:位置校正单元 320:位置校正感测器D:距离L:排列方向具体实施例方式为让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较10佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。图1为本专利技术的一实施例中基板处理系统的侧面简单示意图，图2则为 图1的基板搬运装置的立体示意图。请同时参照图1及图2，基板处理系统100包括储放匣110与基板搬运装置120。其中，储放匣IIO具有多个沿排列 方向L彼此层叠的容置空间112，用以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置包括：　一主体；　一承载单元，具有一承载面、一第一端以及一第二端，其中所述第一端连接至所述主体，且所述第二端相对于所述第一端，所述承载单元适于在一待机位置与至少一工作位置之间移动；以 及　至少一基板突出感测器，配置于所述承载单元上并位于所述第二端，且所述基板突出感测器具有一第一感测面，与所述承载面朝向同一方向。

【技术特征摘要】
1.一种基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置包括一主体；一承载单元，具有一承载面、一第一端以及一第二端，其中所述第一端连接至所述主体，且所述第二端相对于所述第一端，所述承载单元适于在一待机位置与至少一工作位置之间移动；以及至少一基板突出感测器，配置于所述承载单元上并位于所述第二端，且所述基板突出感测器具有一第一感测面，与所述承载面朝向同一方向。2. 如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述主体包括一校 正平台，具有一第一侧边与一第二侧边，所述第一侧边相对于所述第二侧边， 而所述承载单元从所述工作位置移至所述待机位置时，是经由所述第二侧边 朝向所述第一侧边移动。3. 如权利要求2所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置 还包括多个破片感测器，配置于所述校正平台上，并邻近所述第二侧边。4. 如权利要求3所述的基板搬运装置，其特征在于，所述这些破片感测 器是大致平行所述第二侧边而间隔排列。5. 如权利要求2所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置 还包括至少一位置校正单元，配置于所述校正平台旁，并位于所述第一侧边 与所述第二侧边之间。6. 如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置 还包括至少一位置校正感测器，配置于所述承载单元的所述承载面上，并邻近所述第一端o7. 如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置 还包括一映射感测器，配置于所述承载单元的所述第二端，且所述映射感测 器具有一第二感测面，大致垂直于所述基板突出感测器的所述第一感测面。8. 如权利要求7所述的基板搬运装置，其特征在于，所述映射感测器是 嵌设于所述承载单元的所述第二端。9. 一种基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置包括一承载单元，适于在一待机位置与至少一工作位置之间移动，并具有一承载面及彼此相对的一第一端与一第二端；一主体，连接至所述承载单元的所述第一端，且所述主体包括一校正平 台，具有一第一侧边与一第二侧边，所述第一侧边相对于所述第二侧边，而所述承载单元从所述工作位置移至所述待机位置时，是经由所述第二侧边朝 向所述第一侧边移动；以及多个破片感测器，配置于所述校正平台上，并邻近所述第二侧边。10. 如权利要求9所述的基板搬运装置，其特征在于，所述这些破片感测 器是大致平行所述第二侧边而间隔排列。11. 如权利要求9所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置 还包括至少一位置校正单元，配置于所述校正平台旁，并位于所述第一侧边 与所述第二侧边之间。12. 如权利要求9所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置还包括至少一位置校正感测器，配置于所述承载单元的所述承载面上，并邻 近所述第一端。13. 如权利要求9所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置还包括一映射感测器，配置于所述承载单元的所述第二端，且所述映射感测 器具有一第二感测面，大致垂直于所述承载单元的所述承载面。14. 如权利要求13所述的基板搬运装置，其特征在于，所述映射感测器 是嵌设于所述承载单元的所述第二端。15. —种基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统包括 一储放匣，具有多个容置空间，用以储放多个基板，其中所述这些容置空间沿一排列方向层叠于彼此，而所述这些基板分别位于对应的所述这些容置空间其中之一内；以及一基板搬运装置，包括一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉伦，黄训志，张为捷，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]