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本发明实施例提供了一种基板处理系统及其基板搬运装置，其中所述基板处理系统，包括储放匣及基板搬运装置。储放匣具有多个用以储放基板的容置空间，且这些容置空间是沿一排列方向彼此层叠。基板搬运装置包括主体、承载单元以及至少一个基板突出感测器。承载单...
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