多束激光二极管制造技术

本发明专利技术提供多束激光二极管，该多束激光二极管在结下组装的情况下能够改善散热特性。对激光二极管元件的突出条分别提供接触电极，并且提供焊盘电极并避开突出条和接触电极。接触电极和焊盘电极通过配线电极连接，并且接触电极覆盖有第一绝缘膜。由此，能够实现电连接而不直接将接触电极与焊料层接合。在第一绝缘膜上提供由金属构成的导热层，导热层与焊料层接合，并且由此甚至在结下组装的情况下也能够改善散热特性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及从一个发光装置辐射多束激光的多束激光二极管。
技术介绍
在多束激光二极管中，所希望的是有利于散热的结下(junction-down) 组装。然而，在光束间隔很小的情况下，电极的宽度和焊料层的宽度变得很 小，并且由于下述原因难于实现结下组装。就是说，在结下组装中，在元件 侧提供条状的接触电极，并且在基台(支撑)侧提供与元件侧类似的条状的 焊料层。通过将接触电极与焊料层接合，获得电接触。在该方法中，根据焊 料接合的安装精度，例如，存在下面的问题1、泄漏；2、散热特性下降； 以及3、给条施加不均匀的焊料接合应力。1、泄漏产生于在接合中焊料延伸到相邻的接触电极的情况。随着 节距的变小或者光束数量的变大，这样的泄漏变为很大的缺点。2、散热特 性下降由光束间焊料接合的差别引起。由于电极的宽度和焊料层的宽度变 得较小，安装精度的公差范围变得很小。因此，即使安装位置略微移位，与 焊料的接合状态根据每个像素而不同。3、给条施加不均匀的焊料接合应 力也由安装位置移位引起。如果焊料接合而相对于条留下位移，则给条施 加不均的接合应力，这影响偏振特性和可靠性。为了解决前述缺点，例如，在日本未本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多束激光二极管，包括：　激光二极管元件，具有多个突出条；　接触电极，分别提供给该多个突出条；　多个焊盘电极，提供在该激光二极管元件的形成有该多个突出条的面上并避开该多个突出条；　配线电极，将该接触电极连接到该多个 焊盘电极的一个或多个；　第一绝缘膜，在该接触电极上；以及　导热层，由提供在该第一绝缘膜上的金属构成。

【技术特征摘要】
JP 2008-8-22 214701/081、一种多束激光二极管，包括激光二极管元件，具有多个突出条；接触电极，分别提供给该多个突出条；多个焊盘电极，提供在该激光二极管元件的形成有该多个突出条的面上并避开该多个突出条；配线电极，将该接触电极连接到该多个焊盘电极的一个或多个；第一绝缘膜，在该接触电极上；以及导热层，由提供在该第一绝缘膜上的金属构成。2、 根据权利要求1所述的多束激光二极管，其中该第一绝缘膜由选自 由A1N、 SiC、金刚石、BN、 Si02和SiN组成的组中的一种或者多种构成。3、 根据权利要求2所述的多束激光二极管，其中该接触电极相对于该 突出条具有对称的宽度。4、 根据权利要求3所述的多束激光二极管，其中该配线电极将该接触 电极连接到该多个焊盘电极的一个或者多个而跳过其它的接触电极，并且该 其它的接触电极通过第二绝缘膜与该配线电极绝缘。5、 根据权利要求4所述的多束激光二极管，其中该第二绝缘膜由选自 由A1N、 SiC、金刚石、BN、 Si02和SiN组成的组中的一种或者多种构成。6、 根据权利要求3所述的多束激光二极管，其中该配线电极将该接触 电极连接到该多个焊盘电极的一个或者多个而跳过其它的接触电极，并且该 配线电极形成在该激光二极管元件中的高电阻区域中。7、 根据权利要求6所述的多束激光二极管，其中该高电阻区域是提供 有离子注入和去除p...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤慎也，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]