【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体，具体涉及一种具有截留功能的mo源供给系统。
技术介绍
1、金属有机化合物化学气相沉积(mocvd)是利用金属有机化合物进行热分解反应生长薄膜的一种气相外延技术。金属有机物源(mo源)是mocvd工艺所使用的核心原料。
2、mo源存储于mo源钢瓶中，载气进入mo源钢瓶后通过鼓泡效应，将mo源以饱和蒸汽的形式从钢瓶中输出，或输送至反应室参与热分解反应，或通过真空泵被抽走。在异常情况下，mo源可能以液体的形式从钢瓶中输出，使得与mo源钢瓶相连通的各类控制器件或真空器件(尤其是真空泵)被污染。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是解决液态mo源对各类控制器件、真空器件或管线造成污染的问题。
2、为了达到上述目的，本专利技术提供了一种具有截留功能的mo源供给系统，包括：
3、mo源存储单元，包括进气端和出气端；
4、载气主路，其与所述mo源存储单元的进气端连通，用以通入载气；
5、出气主路，其第一端与所述mo源存储单元的出气端连通，第二端与输气管路和排气管路连通，所述输气管路和所述排气管路上分别设置有输气管路阀和排气管路阀；其中，通过所述输气管路为反应室供应mo源；
6、截留瓶，包括进气管路和出气管路，其中，所述进气管路和所述出气管路上分别设置有进气管路阀和出气管路阀，所述出气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶底部一定距离；
7、截留进路，其上设置有截留进路阀，其第一端与所述排气管路连通，第
8、截留出路，其上设置有截留出路阀，其第一端与所述出气管路的瓶外端连通，第二端与所述排气尾路连通，通过所述排气尾路进行废气排出。
9、可选地，还包括载气旁路，所述载气主路上设置有所述载气主路阀，所述出气主路上设置有所述出气主路阀，所述载气旁路的第一端在所述载气主路阀的上游与所述载气主路连通，所述载气旁路的第二端在所述出气主路阀的下游与所述出气主路连通，所述载气旁路上设有载气旁路阀。
10、可选地，还包括空载支路；所述空载支路的第一端在所述载气旁路的上游与所述载气主路连通，所述空载支路上设置有空载支路阀；
11、所述空载支路的第二端连通所述输气管路和/或所述排气管路，或
12、所述空载支路的第二端连通所述出气主路。
13、可选地，所述出气主路的第二端分流为第一出气支路和第二出气支路后与输气管路和排气管路连通；所述第一出气支路和所述第二出气支路上分别设置有第一出气支路阀和第二出气支路阀。
14、可选地，所述第一出气支路的第二端分流为第三出气支路和第四出气支路，所述第三出气支路与所述输气管路连通，所述第四出气支路与所述排气管路连通；所述第三出气支路和所述第四出气支路上分别设有阀门；
15、所述第二出气支路的第二端分流为第五出气支路和第六出气支路，所述第五出气支路与所述输气管路连通，所述第六出气支路与所述排气管路连通，所述第五出气支路和所述第六出气支路上分别设有阀门。
16、可选地，所述空载支路包括第一空载支路和第二空载支路，所述载气主路通过所述第一空载支路与所述第一出气支路连通，通过所述第二空载支路与所述第二出气支路连通，所述第一空载支路和所述第二空载支路上分别设置有第一空载支路阀和第二空载支路阀。
17、可选地，所述输气管路阀包括第一输气管路阀和第二输气管路阀，所述排气管路阀包括第一排气管路阀和第二排气管路阀；其中，所述第一输气管路阀用于控制所述第一出气支路与所述输气管路的连通，所述第二输气管路用于控制所述第二出气支路与所述输气管路的连通；所述第一排气管路阀用于控制所述第一出气支路与所述排气管路的连通，所述第二排气管路阀用于控制所述第二出气支路与所述排气管路的连通。
18、可选地，还包括截留旁路，所述截留旁路的第一端在所述截留进路阀的上游与所述截留进路连通，所述截留旁路的第二端在所述截留出路阀的下游与所述截留出路连通，所述截留旁路上设有截留旁路阀。
19、可选地，所述截留瓶的进气管路和出气管路位于所述截留瓶的顶部，所述进气管路的瓶内端端口位于所述截留瓶底部。
20、可选地，所述截留瓶的进气管路和出气管路位于所述截留瓶的顶部，所述进气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶底部一定距离。
21、可选地，所述截留瓶的进气管路和出气管路位于所述截留瓶的底部，所述进气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶顶部一定距离，所述出气管路的瓶内端端口位于所述截留瓶的顶部。
22、可选地，所述截留瓶的进气管路位于所述截留瓶的底部，所述截留瓶的出气管路位于所述截留瓶的顶部，所述进气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶顶部一定距离，所述出气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶底部一定距离。
23、可选地，所述截留瓶倾斜一角度安装。
24、可选地，所述mo源存储单元内承载三甲基镓、三乙基镓、三甲基铝、二茂镁或三甲基铟中的任意一种。
25、可选地，还包括设置于所述截留瓶中的冷却网，所述冷却网用于回收进入所述截留瓶的mo源。
26、可选地，所述进气管路的瓶内端端口低于所述出气管路的瓶内端端口，并且所述冷却网位于所述进气管路的瓶内端端口和所述出气管路的瓶内端端口之间。
27、可选地，还包括半导体制冷器，所述半导体制冷器的冷端接触所述冷却网，以使所述冷却网降温。
28、本专利技术的有益效果为：
29、(1)本专利技术提供的mo源供给系统在排气管路处设置截留瓶，通过截留瓶收集异常溢出的液体，防止液体污染下游器件和管线。
30、(2)在截留瓶内设有冷却网，通过半导体制冷器使承载mo源的冷却网降温，增加mo源的回收。
31、(3)本专利技术的截留瓶可以直接安装在现有的设备上，无需额外更换或调整设备，成本低，安装过程简单，兼容性强。
32、(4)本专利技术的两条出气支路能够适应不同工艺对mo源流量大小的需要，并设置两条空载支路吹扫管线，使管线始终保持非静止状态。
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1.一种具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，还包括载气旁路，所述载气主路上设置有所述载气主路阀，所述出气主路上设置有所述出气主路阀，所述载气旁路的第一端在所述载气主路阀的上游与所述载气主路连通，所述载气旁路的第二端在所述出气主路阀的下游与所述出气主路连通，所述载气旁路上设有载气旁路阀。
3.如权利要求2所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，还包括空载支路；所述空载支路的第一端在所述载气旁路的上游与所述载气主路连通，所述空载支路上设置有空载支路阀；
4.如权利要求3所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述出气主路的第二端分流为第一出气支路和第二出气支路后与输气管路和排气管路连通；所述第一出气支路和所述第二出气支路上分别设置有第一出气支路阀和第二出气支路阀。
5.如权利要求4所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述第一出气支路的第二端分流为第三出气支路和第四出气支路，所述第三出气支路与所述输气管路连通，所述第四出气支路与所述排
6.如权利要求4所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述空载支路包括第一空载支路和第二空载支路，所述载气主路通过所述第一空载支路与所述第一出气支路连通，通过所述第二空载支路与所述第二出气支路连通，所述第一空载支路和所述第二空载支路上分别设置有第一空载支路阀和第二空载支路阀。
7.如权利要求6所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述输气管路阀包括第一输气管路阀和第二输气管路阀，所述排气管路阀包括第一排气管路阀和第二排气管路阀；其中，所述第一输气管路阀用于控制所述第一出气支路与所述输气管路的连通，所述第二输气管路用于控制所述第二出气支路与所述输气管路的连通；所述第一排气管路阀用于控制所述第一出气支路与所述排气管路的连通，所述第二排气管路阀用于控制所述第二出气支路与所述排气管路的连通。
8.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，还包括截留旁路，所述截留旁路的第一端在所述截留进路阀的上游与所述截留进路连通，所述截留旁路的第二端在所述截留出路阀的下游与所述截留出路连通，所述截留旁路上设有截留旁路阀。
9.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述截留瓶的进气管路和出气管路位于所述截留瓶的顶部，所述进气管路的瓶内端端口位于所述截留瓶底部。
10.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述截留瓶的进气管路和出气管路位于所述截留瓶的顶部，所述进气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶底部一定距离。
11.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述截留瓶的进气管路和出气管路位于所述截留瓶的底部，所述进气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶顶部一定距离，所述出气管路的瓶内端端口位于所述截留瓶的顶部。
12.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述截留瓶的进气管路位于所述截留瓶的底部，所述截留瓶的出气管路位于所述截留瓶的顶部，所述进气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶顶部一定距离，所述出气管路的瓶内端端口距离所述截留瓶底部一定距离。
13.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述截留瓶倾斜一角度安装。
14.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述MO源存储单元内承载三甲基镓、三乙基镓、三甲基铝、二茂镁或三甲基铟中的任意一种。
15.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，还包括设置于所述截留瓶中的冷却网，所述冷却网用于回收进入所述截留瓶的MO源。
16.如权利要求1所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，所述进气管路的瓶内端端口低于所述出气管路的瓶内端端口，并且所述冷却网位于所述进气管路的瓶内端端口和所述出气管路的瓶内端端口之间。
17.如权利要求16所述的具有截留功能的MO源供给系统，其特征在于，还包括半导体制冷器，所述半导体制冷器的冷端接触所述冷却网，以使所述冷却网降温。
...【技术特征摘要】
1.一种具有截留功能的mo源供给系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的具有截留功能的mo源供给系统，其特征在于，还包括载气旁路，所述载气主路上设置有所述载气主路阀，所述出气主路上设置有所述出气主路阀，所述载气旁路的第一端在所述载气主路阀的上游与所述载气主路连通，所述载气旁路的第二端在所述出气主路阀的下游与所述出气主路连通，所述载气旁路上设有载气旁路阀。
3.如权利要求2所述的具有截留功能的mo源供给系统，其特征在于，还包括空载支路；所述空载支路的第一端在所述载气旁路的上游与所述载气主路连通，所述空载支路上设置有空载支路阀；
4.如权利要求3所述的具有截留功能的mo源供给系统，其特征在于，所述出气主路的第二端分流为第一出气支路和第二出气支路后与输气管路和排气管路连通；所述第一出气支路和所述第二出气支路上分别设置有第一出气支路阀和第二出气支路阀。
5.如权利要求4所述的具有截留功能的mo源供给系统，其特征在于，所述第一出气支路的第二端分流为第三出气支路和第四出气支路，所述第三出气支路与所述输气管路连通，所述第四出气支路与所述排气管路连通；所述第三出气支路和所述第四出气支路上分别设有阀门；
6.如权利要求4所述的具有截留功能的mo源供给系统，其特征在于，所述空载支路包括第一空载支路和第二空载支路，所述载气主路通过所述第一空载支路与所述第一出气支路连通，通过所述第二空载支路与所述第二出气支路连通，所述第一空载支路和所述第二空载支路上分别设置有第一空载支路阀和第二空载支路阀。
7.如权利要求6所述的具有截留功能的mo源供给系统，其特征在于，所述输气管路阀包括第一输气管路阀和第二输气管路阀，所述排气管路阀包括第一排气管路阀和第二排气管路阀；其中，所述第一输气管路阀用于控制所述第一出气支路与所述输气管路的连通，所述第二输气管路用于控制所述第二出气支路与所述输气管路的连通；所述第一排气管路阀用于控制所述第一出气支路与所述排气管路的连通，所述第二排气管路阀用于控制所述第二出气支路与所述排气管路的连通。
8.如权利要求1所述的具有截留功能的m...
【专利技术属性】
技术研发人员：王治平，张昭，郭泉泳，
申请(专利权)人：南昌中微半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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