【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体，具体涉及一种压力容器异常溢出检测系统。
技术介绍
1、金属有机化合物化学气相沉积(mocvd)是利用金属有机化合物进行热分解反应生长薄膜的一种气相外延技术。金属有机物源(mo源)是mocvd工艺所使用的核心原料。液态的mo源存储于mo源钢瓶中，载气通过管道进入mo源钢瓶，经过mo源时产生鼓泡效应，mo源在鼓泡过程中大量蒸发，形成mo源的饱和蒸汽，mo源以气态形式被载气输送出mo源钢瓶。
2、在故障情况下，mo源以液态形式溢出钢瓶，使得与mo源钢瓶相连通的各类控制器件或真空器件被污染。若液态的mo源沉积于管路中，被不知情的操作人员暴露于空气，易燃的mo源自燃后可能引发火灾或造成人身伤害。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种成本低、效率高的压力容器异常溢出检测系统。
2、为了达到上述目的，本专利技术提供了一种压力容器异常溢出检测系统，包括：
3、容器，用于承载液体，包括进气端和出气端；
4、进气管路，与所述容器的进气端连通，用以通入载气；
5、出气管路，与所述容器的出气端连通；
6、及
7、温度传感单元，包括设置于所述进气管路上的第一温度传感器，通过所述第一温度传感器的温度变化判断压力容器是否异常溢出。
8、可选地，所述第一温度传感器的温度变化超过0.3℃时，判断所述压力容器异常溢出。
9、可选地，所述温度传感单元还包括设置于所述出气管路上的第二温
10、可选地，所述第二温度传感器的温度变化超过0.3℃时，判断所述压力容器异常溢出。
11、可选地，所述载气为氮气或氢气。
12、可选地，所述容器为钢瓶，所述液体为液态mo源。
13、可选地，所述钢瓶置于恒温水浴槽中，使所述钢瓶内的液态mo源温度恒定。
14、可选地，所述恒温水浴槽的温度低于室温，所述液态mo源为三甲基镓。
15、可选地，所述第二管路上设有加热装置。
16、可选地，所述温度传感器为热电阻传感器或热电偶传感器。
17、可选地，还包括报警装置，当所述温度传感器的温度变化超过阈值时，所述报警装置发出警报。
18、可选地，还包括设于所述进气管路上的进气阀和设于所述出气管路上的出气阀。
19、可选地，还包括：异常管路，所述异常管路的一端在所述进气阀的上游与所述进气管路连接，另一端在所述出气阀的下游与所述出气管路连接；
20、异常阀，设于所述异常管路；
21、以及
22、控制单元，在所述温度传感器的温度变化超过阈值时，所述控制单元控制所述进气阀、所述出气阀关闭，所述异常阀开启，使所述载气依次吹扫所述进气管路、所述异常管路和所述出气管路。
23、可选地，还包括：
24、排气管路，所述排气管路的一端在所述异常管路与所述出气管路连接处的下游与所述出气管路连接；
25、排气阀，设于所述排气管路上；
26、以及
27、工艺阀，设于所述出气阀下游；
28、其中，所述温度传感器的温度变化超过阈值时，所述控制单元控制所述排气阀开启及所述工艺阀关闭，使所述载气由所述排气管路排出。
29、可选地，所述温度传感器的温度保持在阈值内至少1分钟后，
30、控制单元控制所述载气由所述进气管路进入所述容器，再从所述出气管路排出；
31、或
32、控制单元控制使用所述压力容器异常溢出检测系统的机台停机。
33、本专利技术的有益效果为：
34、(1)本专利技术利用气体和液体具有不同的比热容及与管路的传热效率，将管路内不可视的液体溢出情况转化为能直接检测到的温度值，以温度波动范围作为判断容器内是否有液体异常溢出的标准，检测结果方便快捷。
35、(2)由于气体和液体的比热容差距很大，因此，即使溢出的液体量很少，也会使温度在较大的范围内波动，检测的灵敏度高。
36、(3)本专利技术通过温度传感器测量温度波动范围，可以直接将温度传感器安装在现有的设备上，无需额外更换或调整设备，成本低，安装过程简单，兼容性强。
37、(4)本专利技术提供的检测系统还包括异常管路和排气管路，出现异常后，利用载气沿异常管路和排气管路吹扫管线，能迅速将异常溢出的液体排出至系统外并进行尾气处理。
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1.一种压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述第一温度传感器的温度变化超过0.3℃时，判断所述压力容器异常溢出。
3.如权利要求1所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述温度传感单元还包括设置于所述出气管路上的第二温度传感器，通过所述第二温度传感器的温度变化判断所述压力容器是否异常溢出。
4.如权利要求3所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述第二温度传感器的温度变化超过0.3℃时，判断所述压力容器异常溢出。
5.如权利要求1所述的液体压力容器，其特征在于，所述载气为氮气或氢气。
6.如权利要求1-5任意一项所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述容器为钢瓶，所述液体为液态MO源。
7.如权利要求6所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述钢瓶置于恒温水浴槽中，使所述钢瓶内的液态MO源温度恒定。
8.如权利要求7所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述恒温水浴槽的温度低于室温，所述液态MO
9.如权利要求7所述的液体压力容器，其特征在于，所述第二管路上设有加热装置。
10.如权利要求1所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述温度传感器为热电阻传感器或热电偶传感器。
11.如权利要求1所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，还包括报警装置，当所述温度传感器的温度变化超过阈值时，所述报警装置发出警报。
12.如权利要求1所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，还包括设于所述进气管路上的进气阀和设于所述出气管路上的出气阀。
13.如权利要求12所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，还包括：
14.如权利要求13所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，还包括：
15.如权利要求13或14所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述温度传感器的温度保持在阈值内至少1分钟后，
...【技术特征摘要】
1.一种压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述第一温度传感器的温度变化超过0.3℃时，判断所述压力容器异常溢出。
3.如权利要求1所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述温度传感单元还包括设置于所述出气管路上的第二温度传感器，通过所述第二温度传感器的温度变化判断所述压力容器是否异常溢出。
4.如权利要求3所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述第二温度传感器的温度变化超过0.3℃时，判断所述压力容器异常溢出。
5.如权利要求1所述的液体压力容器，其特征在于，所述载气为氮气或氢气。
6.如权利要求1-5任意一项所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述容器为钢瓶，所述液体为液态mo源。
7.如权利要求6所述的压力容器异常溢出检测系统，其特征在于，所述钢瓶置于恒温水浴槽中，使所述钢瓶内的液态mo源温度恒定。
8.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭泉泳，张昭，王治平，
申请(专利权)人：南昌中微半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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