【技术实现步骤摘要】
本申请涉及静压转台结构设计，具体而言，涉及一种静压转台机构及具有其的加工设备。
技术介绍
1、液体静压转台是一种利用液体静压原理来实现支撑和传递力矩的转台装置,在液体静压转台中,通过供油系统将润滑油或液压油通过压力管路送入油腔中,油液在油腔内受到压力的作用下,形成一层具有一定厚度的液体静压油膜,利用油膜支撑运动件,并提供力矩传递的支持,因此,液体静压转台具有磨损小、运动精度高、平均无故障时间长、驱动功率小、承载力大、吸振性好以及运动平稳等优点，被广泛应用于高精度加工设备中，如精密加工机床、半导体设备或光学设备等。
2、目前，油膜刚度仅由载荷唯一决定，当转台的刚度不足以承受大的载荷或外部干扰时，或油膜刚度变化较大时，会对静压转台的精度和稳定性产生影响，导致加工或测试结果的误差增大，影响产品质量。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种静压转台机构及具有其的加工设备，以解决现有技术中的液体静压转台承载的载荷力较大时，油膜刚度变大，影响静压转台的工作精度的问题。
2、根据本申请的一个方面，提供了一种静压转台机构，包括：工作台，用于承载工件；基座，设置在工作台的下方，基座的至少部分与工作台贴合；液压腔，设置在基座上，液压腔内用于通入油液，以在基座和工作台之间形成支撑工作台的油膜；负压槽，设置在基座上，负压槽与工作台相对，在负压槽与工作台之间具有负压腔，通过负压腔内的对工作台施加向下的吸力。
3、进一步地，静压转台机构还包括：位移检测部件，设置在基
4、进一步地，位移检测部件为激光位移传感器；和/或，负压调节部件包括真空泵。
5、进一步地，位移检测部件为多个，多个位移检测部件沿基座的周向方向间隔均匀地设置；静压转台机构还包括：控制模块，各个位移检测部件和负压调节部件分别与控制模块连接，控制模块根据各个位移检测部件的检测结果控制负压调节部件调节负压腔内的压力。
6、进一步地，静压转台机构还包括：支撑部件，设置在负压腔内，支撑部件沿负压腔的周向方向延伸，支撑部件的两侧分别与负压腔的底面和工作台贴合；其中，支撑部件的至少部分沿竖直方向可移动地设置。
7、进一步地，支撑部件与负压腔贴合的底面上设置有安装槽，安装槽沿支撑部件的周向方向延伸；静压转台机构还包括：密封圈，密封圈的至少部分设置在安装槽内并与安装槽过盈配合，密封圈可弹性地设置，以推动支撑部件移动。
8、进一步地，液压腔为多个，多个液压腔沿基座的周向方向间隔设置；其中，相邻的两个液压腔之间具有一个或多个负压腔。
9、进一步地，静压转台机构还包括：气体通道，气体通道设置在基座内，气体通道与负压腔连通，负压腔内的气体通过气体通道输出；抽气管路，与气体通道连通，抽气管路上设置有流量调节阀，通过流量调节阀调节抽气管路内的气体流量。
10、进一步地，静压转台机构还包括：油液输送管路，油液输送管路包括输送总管和输出支管，输送总管环绕基座设置，输出支管的两端分别与液压腔和输送总管连通；输出支管为多个，多个输出支管与多个液压腔一一对应地设置。
11、另一方面，本申请还提供了一种加工设备，包括静压转台机构，静压转台机构为上述的静压转台机构。
12、相对于现有技术而言，本申请的技术方案至少具备如下技术效果：
13、本申请中的静压转台机构，能够实现在不同负载条件下的自适应静压支撑。激光位移传感器的实时反馈和plc控制器的计算和控制策略，使得真空预载调节能够根据加工零部件的重量变化实时调整，以保持恰当的预载力，即通过负压腔内的压力变化，平衡由于负载变化引起的油膜刚度的变化，从而实现高精度、高稳定性的转台操作。
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1.一种静压转台机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的静压转台机构，其特征在于，所述静压转台机构还包括：
3.根据权利要求2所述的静压转台机构，其特征在于，所述位移检测部件(3)为激光位移传感器；和/或，
4.根据权利要求2所述的静压转台机构，其特征在于，所述位移检测部件(3)为多个，多个所述位移检测部件(3)沿所述基座(2)的周向方向间隔均匀地设置；所述静压转台机构还包括：
5.根据权利要求1所述的静压转台机构，其特征在于，所述静压转台机构还包括：
6.根据权利要求5所述的静压转台机构，其特征在于，所述支撑部件(23)与所述负压腔(22)贴合的底面上设置有安装槽(230)，所述安装槽(230)沿所述支撑部件(23)的周向方向延伸；所述静压转台机构还包括：
7.根据权利要求1所述的静压转台机构，其特征在于，所述液压腔(20)为多个，多个所述液压腔(20)沿所述基座(2)的周向方向间隔设置；
8.根据权利要求1所述的静压转台机构，其特征在于，所述静压转台机构还包括：
9.根据
10.一种加工设备，包括静压转台机构，其特征在于，所述静压转台机构为权利要求1至9中任一项所述的静压转台机构。
...【技术特征摘要】
1.一种静压转台机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的静压转台机构，其特征在于，所述静压转台机构还包括：
3.根据权利要求2所述的静压转台机构，其特征在于，所述位移检测部件(3)为激光位移传感器；和/或，
4.根据权利要求2所述的静压转台机构，其特征在于，所述位移检测部件(3)为多个，多个所述位移检测部件(3)沿所述基座(2)的周向方向间隔均匀地设置；所述静压转台机构还包括：
5.根据权利要求1所述的静压转台机构，其特征在于，所述静压转台机构还包括：
6.根据权利要求5所述的静压转台机构，其特征在于，所述支撑部件(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘文志，成温伟，陈洪，吕鹤，林元熙，罗星，林鸿榕，
申请(专利权)人：中国机械总院集团海西福建分院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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