一种真空镀膜机的传动系统技术方案

技术编号:41269041 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-11 09:24
本技术涉及真空镀膜机的技术领域,特别是涉及一种真空镀膜机的传动系统,其通过支撑机构对工件进行固定,之后通过第一传动机构对工件进行翻转,同时通过真空镀膜机主体对工件进行真空镀膜,从而提高镀膜效果和设备的实用性;包括真空镀膜机主体;还包括第一传动机构和多组支撑机构,第一传动机构安装于真空镀膜机主体上,多组支撑机构均安装于第一传动机构上;所述支撑机构对工件进行固定,第一传动机构对多组支撑机构进行支撑机构进行翻转,真空镀膜机主体对工件进行真空镀膜。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜机的,特别是涉及一种真空镀膜机的传动系统


技术介绍

1、空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,真空镀膜过程中需要对工件进行翻转,方便提高镀膜的均匀性和全面性。

2、现有的真空镀膜机如公告号为cn211339679u的技术专利中公开的一种真空度恒定的真空镀膜机和公告号为cn213172553u的技术专利中公开的一种真空镀膜机的传动系统等,在真空镀膜过程中,可实现对工件的翻转,但是翻转效果较差,使得镀膜死角较多,导致实用性较差,因此需要对现有的设备进行改善。


技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本技术提供一种通过支撑机构对工件进行固定,之后通过第一传动机构对工件进行翻转,同时通过真空镀膜机主体对工件进行真空镀膜,从而提高镀膜效果和设备的实用性的一种真空镀膜机的传动系统。

2、本技术的一种真空镀膜机的传动系统,包括真空镀膜机主体;还包括第一传动机构和多组支撑机构,第一传动机构安装于真空镀膜机主体上,多组支撑机构均安装于第一传动机构上;

3、所述支撑机构对工件进行固定,第一传动机构对多组支撑机构进行支撑机构进行翻转,真空镀膜机主体对工件进行真空镀膜;

4、通过支撑机构对工件进行固定,之后通过第一传动机构对工件进行翻转,同时通过真空镀膜机主体对工件进行真空镀膜,从而提高镀膜效果和设备的实用性

5、优选的,所述第一传动机构包括驱动装置、齿环、支撑架和多组翻转机构,驱动机构安装于真空镀膜机主体的顶部,齿环的顶端转动安装于真空镀膜机主体内的顶部,支撑架固定安装于齿环的底端,多组翻转机构均安装于支撑架上;通过驱动机构驱动齿环转动,多组翻转机构围绕齿环公转,同时多组翻转机构进行自转,方便真空镀膜机主体对工件进行全面镀膜,从而提高设备的实用性。

6、优选的,所述驱动装置包括正反转电机和齿轮,正反转电机安装于真空镀膜机主体的顶端,正反转电机的输出轴延伸至真空镀膜机主体的内部,齿轮的顶端与正反转电机输出轴的底端相连接,并且齿轮的侧端与齿环的侧端啮合连接;打开正反转电机,经齿轮与齿环啮合传动,驱动齿环旋转,从而提高设备的实用性。

7、优选的,所述翻转机构包括第一连杆、第二连杆、第一锥齿轮和框架,所述真空镀膜机主体内的顶端设置有支撑柱,支撑柱的底端设置有第二锥齿轮,并且支撑柱位于齿环的中部,第二连杆的一端转动安装于支撑架上,第二连杆的另一端固定安装于框架的一端,第一连杆的一端固定安装于框架的另一端,第一锥齿轮安装于第一连杆的另一端上,并且第一锥齿轮的侧端与第二锥齿轮的侧端啮合连接;齿环旋转时,通过第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传动,驱动框架翻转,从而提高设备的实用性。

8、优选的,所述支撑机构包括两组夹具和第二传动机构,两组夹具均转动安装于框架中,第二传动机构安装于一组夹具上;通过两组夹具对工件进行固定,之后通过第二传动再次对工件进行翻转,从而提高设备的实用性。

9、优选的,所述第二传动机构包括卷线轴和卷线轮,卷线轴安装于框架上,卷线轴的输出端与一组夹具相连接,并且卷线轴的内部卷装有钢丝,卷线轮套装于支撑柱上;将卷线轴中钢丝的一端固定安装于卷线轮上,齿环旋转时,将卷线轴中的钢丝缠绕至卷线轮上,使卷线轴带动两组夹具转动,之后齿环再反向旋转,使卷线轴将钢丝卷起,通过卷线轴带动两组夹具反向转动,从而提高设备的实用性。

10、与现有技术相比本技术的有益效果为:通过支撑机构对工件进行固定,之后通过第一传动机构对工件进行翻转,同时通过真空镀膜机主体对工件进行真空镀膜,从而提高镀膜效果和设备的实用性。

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【技术保护点】

1.一种真空镀膜机的传动系统,包括真空镀膜机主体(1);其特征在于,还包括第一传动机构和多组支撑机构,第一传动机构安装于真空镀膜机主体(1)上,多组支撑机构均安装于第一传动机构上;

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述第一传动机构包括驱动装置、齿环(2)、支撑架(3)和多组翻转机构,驱动机构安装于真空镀膜机主体(1)的顶部,齿环(2)的顶端转动安装于真空镀膜机主体(1)内的顶部,支撑架(3)固定安装于齿环(2)的底端,多组翻转机构均安装于支撑架(3)上。

3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述驱动装置包括正反转电机(4)和齿轮(5),正反转电机(4)安装于真空镀膜机主体(1)的顶端,正反转电机(4)的输出轴延伸至真空镀膜机主体(1)的内部,齿轮(5)的顶端与正反转电机(4)输出轴的底端相连接,并且齿轮(5)的侧端与齿环(2)的侧端啮合连接。

4.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述翻转机构包括第一连杆(6)、第二连杆(7)、第一锥齿轮(8)和框架(9),所述真空镀膜机主体(1)内的顶端设置有支撑柱(10),支撑柱(10)的底端设置有第二锥齿轮(11),并且支撑柱(10)位于齿环(2)的中部,第二连杆(7)的一端转动安装于支撑架(3)上,第二连杆(7)的另一端固定安装于框架(9)的一端,第一连杆(6)的一端固定安装于框架(9)的另一端,第一锥齿轮(8)安装于第一连杆(6)的另一端上,并且第一锥齿轮(8)的侧端与第二锥齿轮(11)的侧端啮合连接。

5.如权利要求4所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述支撑机构包括两组夹具(12)和第二传动机构,两组夹具(12)均转动安装于框架(9)中,第二传动机构安装于一组夹具(12)上。

6.如权利要求5所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述第二传动机构包括卷线轴(13)和卷线轮(14),卷线轴(13)安装于框架(9)上,卷线轴(13)的输出端与一组夹具(12)相连接,并且卷线轴(13)的内部卷装有钢丝,卷线轮(14)套装于支撑柱(10)上。

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【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜机的传动系统,包括真空镀膜机主体(1);其特征在于,还包括第一传动机构和多组支撑机构,第一传动机构安装于真空镀膜机主体(1)上,多组支撑机构均安装于第一传动机构上;

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述第一传动机构包括驱动装置、齿环(2)、支撑架(3)和多组翻转机构,驱动机构安装于真空镀膜机主体(1)的顶部,齿环(2)的顶端转动安装于真空镀膜机主体(1)内的顶部,支撑架(3)固定安装于齿环(2)的底端,多组翻转机构均安装于支撑架(3)上。

3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述驱动装置包括正反转电机(4)和齿轮(5),正反转电机(4)安装于真空镀膜机主体(1)的顶端,正反转电机(4)的输出轴延伸至真空镀膜机主体(1)的内部,齿轮(5)的顶端与正反转电机(4)输出轴的底端相连接,并且齿轮(5)的侧端与齿环(2)的侧端啮合连接。

4.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的传动系统,其特征在于,所述翻转机构包括第一连杆(6...

【专利技术属性】
技术研发人员:李长栋魏俊杰唐恒贞姜甸超
申请(专利权)人:山东沐东真空科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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