【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机的，特别是涉及一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。
2、现有技术中申请号为cn202123321328.8的中国技术专利涉及一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括镀膜机本体、通槽、转盘、拼接门和定位孔等，能够更改弧源的数量，安装不同数量的弧源。
3、但是上述装置在实际使用中还存在以下问题：第一，上述装置在镀膜机门上开槽安装机械结构，对镀膜机门的密封性造成影响，从而对设备加工过程中内部真空度造成影响；第二，上述装置的弧源位置固定，对于不同物体进行镀膜时不具备位置调节能力，对不同体积外形的物件镀膜的适应性不足。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术提供一种通过横移装置对弧源位置进行调节，以适应不同外形的物品；通过固定装置对横移装置进行固定，减少生产过程中横移装置晃动或位移对镀膜效果的影响；通过拼装门对弧源进行固定，并便于拆卸更换；通过密封门对密封仓内部进行密封，减少密封仓内热量的散失并保证密封仓内部的真空度，提高了装置的实用性的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。
2、本技术的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括密封仓、底座、热风机和主机，密封仓的下端面上安装有底座，密封仓的上端面后部安装有热风机和主
3、优选的，横移装置包括限位轨和滑动隔板，密封仓内侧面前部安装有多组限位轨，滑动隔板通过多组限位轨安装在密封仓内部，拼装门安装在滑动隔板上；根据生产需要调节滑动隔板在限位轨上的位置，从而改变弧源的位置，提高了装置的实用性。
4、优选的，固定装置包括安装板、螺母座、螺杆和橡胶垫片，滑动隔板的前端面上下分别安装有一组安装板，安装板上安装有螺母座，螺杆通过自身螺纹与螺母座连接，螺杆贴近密封仓内侧面的一端上安装有橡胶垫片，橡胶垫片与限位轨贴近；在横移装置完成位置调节后，转动两组螺杆使橡胶垫片压紧所接触的限位轨，从而对滑动隔板的位置进行固定，减少生产过程中滑动隔板自身晃动或位置对镀膜效果造成的影响，提高了装置的实用性，通过橡胶垫片减少压紧限位轨过程中对限位轨表面造成的损伤。
5、优选的，拼装门包括隔离门、弧源部、卡槽和螺纹孔，滑动隔板上通过合页安装有隔离门，隔离门的后端面上安装有卡槽，弧源部上安装有多组弧源，弧源部能够插入到卡槽中，弧源部的左右两侧面上部均设置有螺纹孔，卡槽通过螺纹孔和螺栓对弧源部的位置进行固定；通过隔离门将滑动隔板的前后两部分进行分隔，便于设备维护和物体的取放，通过卡槽对弧源部的位置进行固定，并便于弧源部的安装和拆卸，提高了装置的实用性。
6、优选的，密封门包括密封板、连接螺栓和密封胶圈，密封仓的前端面上安装有密封板，密封板通过多组连接螺栓与密封仓的前端面连接固定，密封仓内侧面前部设置有环形挡板，密封板的后端面上安装有密封胶圈；通过连接螺栓将密封板固定在密封仓的前端面上，并使密封胶圈压紧密封仓内前部的弧形挡板，从而使密封仓内部实现密封，减少生产过程中空气渗入对密封仓内部真空度的影响。
7、优选的，密封板的前端面上设置有观察窗；通过观察窗便于操作人员对密封仓内部进行观察。
8、优选的，观察窗上安装有两组钢化玻璃，两组钢化玻璃之间进行抽真空处理，并对两组螺杆之间空间进行密封；通过对两组钢化玻璃之间进行抽真空处理，减少了设备生产过程中密封仓内部热量的散失，提高了装置的实用性
9、与现有技术相比本技术的有益效果为：通过横移装置对弧源位置进行调节，以适应不同外形的物品；通过固定装置对横移装置进行固定，减少生产过程中横移装置晃动或位移对镀膜效果的影响；通过拼装门对弧源进行固定，并便于拆卸更换；通过密封门对密封仓内部进行密封，减少密封仓内热量的散失并保证密封仓内部的真空度，提高了装置的实用性。
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1.一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括密封仓(1)、底座(2)、热风机(3)和主机(4)，密封仓(1)的下端面上安装有底座(2)，密封仓(1)的上端面后部安装有热风机(3)和主机(4)；其特征在于，还包括横移装置、固定装置、拼装门和密封门，横移装置安装在密封仓(1)中，固定装置安装在横移装置上，拼装门安装在横移装置上，密封门安装在密封仓(1)上。
2.如权利要求1所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于，横移装置包括限位轨(5)和滑动隔板(6)，密封仓(1)内侧面前部安装有多组限位轨(5)，滑动隔板(6)通过多组限位轨(5)安装在密封仓(1)内部，拼装门安装在滑动隔板(6)上。
3.如权利要求2所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于，固定装置包括安装板(7)、螺母座(8)、螺杆(9)和橡胶垫片(10)，滑动隔板(6)的前端面上下分别安装有一组安装板(7)，安装板(7)上安装有螺母座(8)，螺杆(9)通过自身螺纹与螺母座(8)连接，螺杆(9)贴近密封仓(1)内侧面的一端上安装有橡胶垫片(10)，橡胶垫片(10)与限位轨(5)贴近。<...
【技术特征摘要】
1.一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括密封仓(1)、底座(2)、热风机(3)和主机(4)，密封仓(1)的下端面上安装有底座(2)，密封仓(1)的上端面后部安装有热风机(3)和主机(4)；其特征在于，还包括横移装置、固定装置、拼装门和密封门，横移装置安装在密封仓(1)中，固定装置安装在横移装置上，拼装门安装在横移装置上，密封门安装在密封仓(1)上。
2.如权利要求1所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于，横移装置包括限位轨(5)和滑动隔板(6)，密封仓(1)内侧面前部安装有多组限位轨(5)，滑动隔板(6)通过多组限位轨(5)安装在密封仓(1)内部，拼装门安装在滑动隔板(6)上。
3.如权利要求2所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于，固定装置包括安装板(7)、螺母座(8)、螺杆(9)和橡胶垫片(10)，滑动隔板(6)的前端面上下分别安装有一组安装板(7)，安装板(7)上安装有螺母座(8)，螺杆(9)通过自身螺纹与螺母座(8)连接，螺杆(9)贴近密封仓(1)内侧面的一端上安装有橡胶垫片(10)，橡胶垫片(10)与限位轨(5)贴近。
4.如权利要求2所述的一种安装有弧源的真空镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏俊杰，魏承亚，高峰，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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