【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，尤其涉及一种机械手夹爪清洗干燥装置。
技术介绍
1、在晶圆清洗过程中，要利用机械手抱起晶舟在各个药液槽及水槽内进行清洗，在此期间机械手的夹爪会接触到药液和水，而药液和水会残留在夹爪上，且不同的药液接触会形成交叉污染，酸碱药液接触会有结晶，在水内清洗后如果没有把水吹干，再去上料区取货，会把水滴到上料区，导致线缆短路或者感应器失灵等情况。
2、为了解决上述问题，本技术公开了一种机械手夹爪清洗干燥装置。
技术实现思路
1、为克服现有技术的不足，本技术公开了一种机械手夹爪清洗干燥装置。
2、为实现上述目的，本技术通过以下技术方案实现：一种机械手夹爪清洗干燥装置，包括高度方向两侧敞开设置的箱体，所述箱体的上部至少架设有一清洗干燥机构；
3、所述清洗干燥机构包括两块分别设于箱体长度方向两侧的组装板；
4、两块组装板之间设置有两根等高的吹风管，两块组装板之间还设置有两根等高的喷淋管，且两根吹风管设在两根喷淋管的上方，两根吹风管和两根喷淋管之间形成有让机械手夹爪升降穿过的空当；
5、两根吹风管的相对一侧分别开设有数条吹风槽；
6、两根喷淋管的相对一侧分别开设有数组喷淋孔。
7、进一步的是，所述箱体由四块板件拼接而成，位于箱体长度方向两侧的两块板件均为半截板，两块组装板分别固定在两块半截板的外侧。
8、进一步的是，两根吹风管和两根喷淋管的长度方向两端分别安装有半径相同的套管a和套管b，且
9、进一步的是，两块组装板的宽度方向两侧侧边分别开设有两个等高的第一u形卡槽，两块组装板的宽度方向两侧侧边还分别开设有两个等高的第二u形卡槽，两个第一u形卡槽设在两个第二u形卡槽的下方，每根吹风管的套管a和套管b分别卡设在两块组装板同侧的两个第一u形卡槽中，每根喷淋管的套管a和套管b分别卡设在两块组装板同侧的两个第二u形卡槽中。
10、进一步的是，两根吹风管的相对一侧分别开设有3条吹风槽。
11、进一步的是，两根喷淋管的相对一侧分别开设有3组喷淋孔。
12、进一步的是，所述箱体的宽度方向两侧均设置有固定基板，所述固定基板的长度方向两侧均设置有腰形孔。
13、进一步的是，所述固定基板与箱体之间设置有加强筋。
14、进一步的是，所述箱体的上部架设有两个清洗干燥机构，所述箱体的两块半截板之间连接有隔板将两个清洗干燥机构隔开。
15、进一步的是，所述隔板的高度与两块半截板的高度相一致。
16、本技术实现以下有益效果：
17、在晶舟上料区设置本技术的机械手夹爪清洗干燥装置能对夹爪进行清洗及干燥，且清洗效果能达到无药液残留及无水残留，从而避免了线缆短路或者感应器失灵等情况。
18、至于本技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
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1.一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，包括高度方向两侧敞开设置的箱体，所述箱体的上部至少架设有一清洗干燥机构；
2.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，所述箱体由四块板件拼接而成，位于箱体长度方向两侧的两块板件均为半截板，两块组装板分别固定在两块半截板的外侧。
3.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，两根吹风管和两根喷淋管的长度方向两端分别安装有半径相同的套管a和套管b，且所述套管a的一端敞开设置，所述套管b的两端敞开设置。
4.根据权利要求3所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，两块组装板的宽度方向两侧侧边分别开设有两个等高的第一U形卡槽，两块组装板的宽度方向两侧侧边还分别开设有两个等高的第二U形卡槽，两个第一U形卡槽设在两个第二U形卡槽的下方，每根吹风管的套管a和套管b分别卡设在两块组装板同侧的两个第一U形卡槽中，每根喷淋管的套管a和套管b分别卡设在两块组装板同侧的两个第二U形卡槽中。
5.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，两根吹风管的相对一
6.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，两根喷淋管的相对一侧分别开设有3组喷淋孔。
7.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，所述箱体的宽度方向两侧均设置有固定基板，所述固定基板的长度方向两侧均设置有腰形孔。
8.根据权利要求7所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，所述固定基板与箱体之间设置有加强筋。
9.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，所述箱体的上部架设有两个清洗干燥机构，所述箱体的两块半截板之间连接有隔板将两个清洗干燥机构隔开。
10.根据权利要求9所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，所述隔板的高度与两块半截板的高度相一致。
...【技术特征摘要】
1.一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，包括高度方向两侧敞开设置的箱体，所述箱体的上部至少架设有一清洗干燥机构；
2.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，所述箱体由四块板件拼接而成，位于箱体长度方向两侧的两块板件均为半截板，两块组装板分别固定在两块半截板的外侧。
3.根据权利要求1所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，两根吹风管和两根喷淋管的长度方向两端分别安装有半径相同的套管a和套管b，且所述套管a的一端敞开设置，所述套管b的两端敞开设置。
4.根据权利要求3所述的一种机械手夹爪清洗干燥装置，其特征在于，两块组装板的宽度方向两侧侧边分别开设有两个等高的第一u形卡槽，两块组装板的宽度方向两侧侧边还分别开设有两个等高的第二u形卡槽，两个第一u形卡槽设在两个第二u形卡槽的下方，每根吹风管的套管a和套管b分别卡设在两块组装板同侧的两个第一u形卡槽中，每根喷淋管的套管a和套管b分...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡兴华，周志刚，王静强，徐福兴，
申请(专利权)人：昆山基侑电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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