一种晶圆浸泡晃动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆浸泡晃动装置，包括浸泡槽本体、晶圆放置提篮和晃动驱动机构；浸泡槽本体的宽度方向两侧内壁均设置有一直线滑槽，每个直线滑槽上均滑动连接有一直线滑台，且两个直线滑台的同侧端部通过固定杆连接；晶圆放置提篮的相对两侧表面均设置有一搭接杆，两个直线滑台的上表面均配合设置有一搭接槽，晃动驱动机构包括转动驱动组件和曲柄，且转动驱动组件的输出端连接有转轴穿过浸泡槽本体并通过曲柄与一直线滑台连接，本实用新型专利技术不仅能方便晶圆放置提篮搭放，且在晃动驱动机构的驱动下，晶圆放置提篮能实现晃动，这样在提高晶圆浸泡效果的情况下，还能减少晶圆的浸泡时间，使用效果较佳。使用效果较佳。使用效果较佳。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆浸泡晃动装置


[0001]本技术涉及晶圆清洗
，尤其涉及一种晶圆浸泡晃动装置。

技术介绍

[0002]半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道)和封装(后道)测试，随着先进封装技术的渗透，出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节，称为中道。在这三道加工环节中最复杂的是晶圆制造和封装。
[0003]晶圆生产线可以分成7个独立的生产区域：扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光、金属化。在这几个生产区都放置有若干的晶圆清洗设备，以满足不同工艺过程中的清洗要求。在某些工艺制程中因特殊的工艺要求,需将晶圆浸泡在化学品里面一段时间，然后取出进行下一步的工艺。目前，晶圆在浸泡槽内的浸泡时间大约为30分钟，如果可以缩短晶圆的浸泡时间，将会大幅提高晶圆的清洗效率，为了解决该问题，所以本技术公开了一种晶圆浸泡晃动装置。

技术实现思路

[0004]技术目的：为了解决
技术介绍
中存在的不足，所以本技术公开了一种晶圆浸泡晃动装置。
[0005]技术方案：一种晶圆浸泡晃动装置，包括浸泡槽本体、晶圆放置提篮和晃动驱动机构，所述浸泡槽本体的顶部长度方向两侧均设置有一托架，所述晶圆放置篮的顶部安装有T形支架，且所述T形支架可拆卸搭接在两个托架上；
[0006]所述浸泡槽本体的宽度方向两侧内壁均设置有一直线滑槽，每个所述直线滑槽上均滑动连接有一直线滑台，且两个直线滑台的同侧端部通过固定杆连接；
[0007]所述晶圆放置提篮的相对两侧表面均设置有一搭接杆，两个直线滑台的上表面均配合设置有一搭接槽，且在晶圆放置提篮被放进浸泡槽本体内部时，两根搭接杆可分别搭接在一搭接槽上；
[0008]所述晃动驱动机构包括转动驱动组件和曲柄，所述转动驱动组件设置在浸泡槽本体的一侧外表面，且所述转动驱动组件的输出端连接有转轴穿过浸泡槽本体并通过曲柄与一直线滑台连接。
[0009]进一步的是，所述托架为Y形结构。
[0010]进一步的是，所述直线滑槽为T形滑槽，所述直线滑台为与T形滑槽相适配的T形滑台。
[0011]进一步的是，所述浸泡槽本体的一侧表面安装有轴承座，且所述转轴穿过轴承座并通过曲柄与一直线滑台连接。
[0012]进一步的是，所述转动驱动组件包括输出端连接有减速器的伺服电机，所述伺服电机及减速器均设置在浸泡槽本体的一侧外表面，且所述转轴与减速器的输出端连接。
[0013]本技术实现以下有益效果：
[0014]本技术不仅能方便晶圆放置提篮搭放，且在晃动驱动机构的驱动下，晶圆放置提篮能实现晃动，这样在提高晶圆浸泡效果的情况下，还能减少晶圆的浸泡时间，使用效果较佳。
附图说明
[0015]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并于说明书一起用于解释本公开的原理。
[0016]图1为本技术公开的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术公开的托架结构示意图；
[0018]图3为本技术公开的搭接杆与搭接槽示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]实施例
[0021]参考图1
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3，一种晶圆浸泡晃动装置，包括浸泡槽本体10、晶圆放置提篮20和晃动驱动机构40，浸泡槽本体的顶部长度方向两侧均设置有一托架30，晶圆放置篮的顶部安装有T形支架22，且T形支架可拆卸搭接在两个托架上；
[0022]浸泡槽本体的宽度方向两侧内壁均设置有一直线滑槽60，每个直线滑槽上均滑动连接有一直线滑台70，且两个直线滑台的同侧端部通过固定杆80连接；
[0023]晶圆放置提篮的相对两侧表面均设置有一搭接杆21，两个直线滑台的上表面均配合设置有一搭接槽71，且在晶圆放置提篮被放进浸泡槽本体内部时，两根搭接杆可分别搭接在一搭接槽上；
[0024]晃动驱动机构包括转动驱动组件41和曲柄42，转动驱动组件设置在浸泡槽本体的一侧外表面，且转动驱动组件的输出端连接有转轴413穿过浸泡槽本体并通过曲柄与一直线滑台连接。
[0025]在其中一个实施例中，托架为Y形结构，在晶圆放置提篮放置后，T形支架的顶部两端分别搭接在一托架的顶部。
[0026]在其中一个实施例中，直线滑槽为T形滑槽，直线滑台为与T形滑槽相适配的T形滑台。
[0027]在其中一个实施例中，浸泡槽本体的一侧表面安装有轴承座50，且转轴穿过轴承座并通过曲柄与一直线滑台连接，能使转轴平稳的转动，进而曲柄带动一直线滑台在直线滑槽上滑动，这样晶圆放置提篮便可在浸泡槽本体内进行晃动。
[0028]在其中一个实施例中，转动驱动组件包括输出端连接有减速器412的伺服电机411，伺服电机及减速器均设置在浸泡槽本体的一侧外表面，且转轴与减速器的输出端连接，在伺服电机与减速器的配合下，转轴可实现转动，从而转轴在与曲柄配合带动一直线滑台移动。
[0029]本技术的工作原理，操作人员将晶圆放置提篮顶部的T形支架搭接在两个托
架上，并晶圆放置提篮两侧所设置的搭接杆将搭接在两个直线滑台的搭接槽上，在晶圆放置提篮内的晶圆浸泡过程中，转动驱动组件将驱动转轴与曲柄配合带动一直线滑台移动，且由于两个直线滑台通过固定杆连接，所以两个直线滑台都将移动，此时晶圆放置提篮便可实现晃动。
[0030]上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的是让熟悉该
的技术人员能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此来限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆浸泡晃动装置，其特征在于，包括浸泡槽本体、晶圆放置提篮和晃动驱动机构，所述浸泡槽本体的顶部长度方向两侧均设置有一托架，所述晶圆放置篮的顶部安装有T形支架，且所述T形支架可拆卸搭接在两个托架上；所述浸泡槽本体的宽度方向两侧内壁均设置有一直线滑槽，每个所述直线滑槽上均滑动连接有一直线滑台，且两个直线滑台的同侧端部通过固定杆连接；所述晶圆放置提篮的相对两侧表面均设置有一搭接杆，两个直线滑台的上表面均配合设置有一搭接槽，且在晶圆放置提篮被放进浸泡槽本体内部时，两根搭接杆可分别搭接在一搭接槽上；所述晃动驱动机构包括转动驱动组件和曲柄，所述转动驱动组件设置在浸泡槽本体的一侧外表面，且所述转动驱动组件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志刚，王静强，徐福兴，黄锡钦，陈亮，
申请(专利权)人：昆山基侑电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：