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本实用新型公开了一种晶圆浸泡晃动装置，包括浸泡槽本体、晶圆放置提篮和晃动驱动机构；浸泡槽本体的宽度方向两侧内壁均设置有一直线滑槽，每个直线滑槽上均滑动连接有一直线滑台，且两个直线滑台的同侧端部通过固定杆连接；晶圆放置提篮的相对两侧表面均设置...
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