【技术实现步骤摘要】
本技术涉及制造和检验治具领域，特别是涉及一种微纳光栅阴极组件检验治具。
技术介绍
1、微纳光栅阴极组件作为半导体制造、光电子、材料研究等领域的重要组成部件，由于微纳光栅阴极组件侧面边缘的毛刺及崩边会产生尖端放电的现象，从而导致设备故障影响其正常使用，所以针对微纳光栅阴极组件侧面边缘的质量检验要求日益提高。在现有技术中若想观察到微纳光栅阴极组件侧面边缘有无毛刺或崩边，通常采用检测人员使用指尖轻握待检测的微纳光栅阴极组件，在显微镜下旋转进行侧面观察，使用此方法检验时，待检测的微纳光栅阴极组件的位置不固定，重复性差，在检验中需要频繁对待检测微纳光栅阴极组件的侧面边缘进行对焦，对待检测微纳光栅阴极组件侧面边缘有无毛边及其裂纹的检验效率低下。中国专利cn 218995182 u公开了一种微纳光栅阴极组件检验治具，该治具使用一种带有凹槽的圆柱体治具，使用时将待检测的微纳光栅阴极组件水平放置于治具内进行观察，根据该专利提供的治具与方法，在进行检测时待检测微纳光栅阴极组件的表面正对显微镜，用于观察待检测的微纳光栅阴极组件的表面质量问题，但该治具对待检测的微纳光栅阴极组件边缘的观察相对困难，且不能同时对多个待检测的微纳光栅阴极组件进行检验，所以对待检测微纳光栅阴极组件侧面边缘有无毛边及其裂纹的检验效率低下的问题仍然存在。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种微纳光栅阴极组件检验治具，以解决上述现有技术存在的问题，提高待检测的微纳光栅阴极组件周面边缘的检验效率。
2、为实现上述目的，本
3、本技术提供一种微纳光栅阴极组件检验治具，包括盛片治具和滚片件，所述盛片治具沿其第一方向开设有多个盛片空腔，各所述盛片空腔用于盛放待检测的微纳光栅阴极组件，所述盛片空腔具有第一开口和第二开口，一个微纳光栅阴极组件能够从所述第一开口插入至一个所述盛片空腔中并置于所述盛片空腔中，同时微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口露出，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够凸出于所述第一开口，所述盛片治具远离所述第一开口的一端沿其第一方向开设有固定腔，所述固定腔与所述第二开口连通，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口伸入至所述固定腔中，所述滚片件能够从所述固定腔的开口伸入至所述固定腔中并与各待检测的微纳光栅阴极组件相接触，转动所述滚片件，所述滚片件能够带动各待检测微纳光栅阴极组件在所述盛片空腔内转动。
4、优选的，各所述第一开口和所述第二开口垂直于所述盛片治具的第一方向的两侧边沿均设置有倒角。
5、优选的，所述固定腔的开口位于所述盛片治具在所述第一方向上的一个侧壁，所述盛片治具具有一用于与检测平台接触的支撑底面，且所述固定腔远离所述盛片空腔的一侧延伸至所述支撑底面并形成下取出口，所述下取出口与外界连通，所述滚片件能够通过所述下取出口进入固定腔。
6、优选的，所述固定腔在垂直于所述第一方向上的截面为拱门形，所述固定腔的拱形部分与所述盛片空腔连通。
7、优选的，所述滚片件包括定位部和接触部，所述定位部与所述接触部固定连接，所述定位部与所述接触部为直径不同的同轴线圆柱杆，所述定位部的直径小于所述接触部的直径，所述盛片治具在第一方向上远离所述固定腔的开口的侧壁上开设有定位孔，所述定位孔与所述固定腔连通，所述定位部能够从所述固定腔中穿过所述定位部并在所述定位部内转动，所述接触部不能穿过所述定位孔，所述接触部用于与微纳光栅阴极组件的侧面接触。
8、优选的，各所述盛片空腔能够使其内部放置的各待检测组件的圆心位于第一直线上，所述第一直线平行于所述第一方向，所述固定腔设置于经过所述第一直线并垂直于所述支撑底面的平面的一侧。
9、优选的，所述盛片空腔设置为使放置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件周向边沿最接近所述支撑底面的点至所述第一开口的垂直距离为微纳光栅阴极组件直径的1/3-1/2。
10、优选的，所述承载凹槽数量为10～15个。
11、优选的，所述盛片治具和所述滚片件均为一体成型。
12、优选的，所述盛片治具和所述滚片件的材质均为聚四氟乙烯材料。
13、本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
14、本技术提供一种微纳光栅阴极组件检测治具，通过将待检测微纳光栅阴极组件沿垂直于其自身轴线的方向从第一开口插入至盛片空腔内对待检测微纳光栅阴极组件的侧面进行观察，检验时将盛片治具放置于检测平台上，相较于手持微纳光栅阴极组件检测来说，放置在盛片治具中的微纳光栅阴极组件的观察位置更稳定，且在检验中时一次对焦就能够对多组待检测的微纳光栅阴极组件进行观察；伸入至固定腔中的滚片件能够与各待检测的微纳光栅阴极组件相接触，且转动滚片件能够带动各待检测微纳光栅阴极组件在盛片空腔内转动，调整好观察焦距后，只需要搓动滚片件即可旋转盛片空腔内的待检测微纳光栅阴极组件从而能够对待检测微纳光栅阴极组件一个侧面的所有位置进行检验，取代了频繁的手动调整和调整焦距，提高了对待检测微纳光栅阴极组件侧面边缘毛边及崩边的检验效率。
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1.一种微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：包括盛片治具和滚片件，所述盛片治具沿其第一方向开设有多个盛片空腔，各所述盛片空腔用于盛放待检测的微纳光栅阴极组件，所述盛片空腔具有第一开口和第二开口，一个微纳光栅阴极组件能够从所述第一开口插入至一个所述盛片空腔中并置于所述盛片空腔中，同时微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口露出，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够凸出于所述第一开口，所述盛片治具远离所述第一开口的一端沿其第一方向开设有固定腔，所述固定腔与所述第二开口连通，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口伸入至所述固定腔中，所述滚片件能够从所述固定腔的开口伸入至所述固定腔中并与各待检测的微纳光栅阴极组件相接触，转动所述滚片件，所述滚片件能够带动各待检测微纳光栅阴极组件在所述盛片空腔内转动。
2.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：各所述第一开口和所述第二开口垂直于所述盛片治具的第一方向的两侧边沿均设置有倒角。
3.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述
4.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述固定腔在垂直于所述第一方向上的截面为拱门形，所述固定腔的拱形部分与所述盛片空腔连通。
5.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述滚片件包括定位部和接触部，所述定位部与所述接触部固定连接，所述定位部与所述接触部为直径不同的同轴线圆柱杆，所述定位部的直径小于所述接触部的直径，所述盛片治具在第一方向上远离所述固定腔的开口的侧壁上开设有定位孔，所述定位孔与所述固定腔连通，所述定位部能够从所述固定腔中穿过所述定位部并在所述定位部内转动，所述接触部不能穿过所述定位孔，所述接触部用于与微纳光栅阴极组件的侧面接触。
6.根据权利要求4所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：各所述盛片空腔能够使其内部放置的各待检测组件的圆心位于第一直线上，所述第一直线平行于所述第一方向，所述固定腔设置于经过所述第一直线并垂直于所述支撑底面的平面的一侧。
7.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述盛片空腔设置为使放置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件周向边沿最接近所述支撑底面的点至所述第一开口的垂直距离为微纳光栅阴极组件直径的1/3-1/2。
8.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述承载凹槽数量为10～15个。
9.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述盛片治具和所述滚片件均为一体成型。
10.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述盛片治具和所述滚片件的材质均为聚四氟乙烯材料。
...【技术特征摘要】
1.一种微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：包括盛片治具和滚片件，所述盛片治具沿其第一方向开设有多个盛片空腔，各所述盛片空腔用于盛放待检测的微纳光栅阴极组件，所述盛片空腔具有第一开口和第二开口，一个微纳光栅阴极组件能够从所述第一开口插入至一个所述盛片空腔中并置于所述盛片空腔中，同时微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口露出，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够凸出于所述第一开口，所述盛片治具远离所述第一开口的一端沿其第一方向开设有固定腔，所述固定腔与所述第二开口连通，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口伸入至所述固定腔中，所述滚片件能够从所述固定腔的开口伸入至所述固定腔中并与各待检测的微纳光栅阴极组件相接触，转动所述滚片件，所述滚片件能够带动各待检测微纳光栅阴极组件在所述盛片空腔内转动。
2.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：各所述第一开口和所述第二开口垂直于所述盛片治具的第一方向的两侧边沿均设置有倒角。
3.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述固定腔的开口位于所述盛片治具在所述第一方向上的一个侧壁，所述盛片治具具有一用于与检测平台接触的支撑底面，且所述固定腔远离所述盛片空腔的一侧延伸至所述支撑底面并形成下取出口，所述下取出口与外界连通，所述滚片件能够通过所述下取出口进入固定腔。
4.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述固定腔在垂直于所述第一方...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雍期，庞忠诚，
申请(专利权)人：杭州邦齐州科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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