System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种加料装置及加料方法制造方法及图纸_技高网

一种加料装置及加料方法制造方法及图纸

技术编号:41257885 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-11 09:17
本申请公开了一种加料装置及加料方法,涉及单晶硅生产制造技术领域。所述加料装置包括加料本体和吸尘组件,所述加料本体具有容纳腔,所述容纳腔用于放置硅料;所述吸尘组件套设于所述加料本体,所述吸尘组件包括吸气盘,所述吸气盘用于抽吸硅粉。本申请能够抽吸硅粉,避免扬起的硅粉掉落而附着在单晶炉的炉脖、导流筒上沿或水冷热屏表面等部位,提高了单晶硅棒的生长质量。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及单晶硅生产制造,尤其涉及一种加料装置及加料方法


技术介绍

1、光伏行业内单晶硅的生产一般采用直拉法,为减少成本,逐步采用连续复投料拉晶工艺。目前,复投料使用的加料器,在复投料过程中,由于硅料在破碎、包装、运输等过程中产生粉末,在硅料快速掉落石英坩埚内的过程中,产生的硅粉会向上扬起,掉落在炉脖、导流筒上沿、水冷热屏表面等地方。在单晶生长的等径过程中,这些硅粉存在掉落的风险,硅粉掉落后会造成单晶硅原子排列结构发生改变,导致单晶硅生长过程的断线。同时,这些硅粉因粘附导流筒等石墨件表面的碳粉等杂质,掉入硅溶液后还会增加单晶硅棒的含碳量,降低单晶硅的品质。


技术实现思路

1、有鉴于此,本申请的目的在于提供了一种加料装置及加料方法,旨在解决现有技术中的技术问题。

2、为实现上述目的,本申请采用的技术方案如下:

3、第一方面,本申请实施例提供了一种加料装置,包括:

4、加料本体,所述加料本体具有容纳腔,所述容纳腔用于放置硅料;

5、吸尘组件,所述吸尘组件套设于所述加料本体,所述吸尘组件包括吸气盘,所述吸气盘用于抽吸硅粉。

6、在第一方面的其中一个实施例中,所述加料本体还包括:

7、桶体,所述桶体具有所述容纳腔;

8、第一法兰,所述第一法兰设置在所述桶体的一端,所述桶体与所述第一法兰固定连接,所述第一法兰用于将所述桶体架于单晶炉的炉脖上。

9、在第一方面的其中一个实施例中,所述吸尘组件包括:

10、支撑部,所述支撑部设置在所述第一法兰背离所述桶体的一侧,所述支撑部架于所述第一法兰上;

11、吸尘部,所述吸尘部套设于所述桶体,所述吸尘部包括吸气盘;

12、连接部,所述连接部穿设于支撑部,所述吸尘部设置在所述连接部远离所述支撑部的一端,所述连接部位于所述支撑部和所述吸尘部之间,所述连接部用于连接所述支撑部和所述吸尘部。

13、在第一方面的其中一个实施例中,所述连接部包括:

14、第一连杆,所述第一连杆依次穿设于所述支撑部和所述桶体,所述第一连杆与所述支撑部连接,所述第一连杆内具有第一气道;

15、第二连杆,所述第二连杆穿设于所述支撑部,所述第二连杆位于所述桶体的外表面,所述第二连杆远离所述支撑部的一端与所述吸尘部连接,所第二连杆内具有第二气道;

16、第三连杆,所述第三连杆穿设于所述支撑部,所述第三连杆位于所述桶体的外表面,所述第三连杆远离所述支撑部的一端与所述吸尘部连接,所述第三连杆内具有第三气道;

17、其中,所述吸气盘设置在所述桶体远离所述第一法兰的一端,所述第一连杆远离所述支撑部的一端与所述吸气盘连接。

18、在第一方面的其中一个实施例中,所述吸气盘具有第一吸气道,所述第一吸气道设置在所述吸气盘背离所述桶体的一侧,所述吸气道与所述第一气道连通。

19、在第一方面的其中一个实施例中,所述吸气盘还设置有第二吸气道,所述第二吸气道环绕所述第一吸气道设置,所述第二吸气道与所述第一气道连通;

20、第三吸气道,所述第三吸气道设置在所述第二吸气道背离所述第一吸气道的一侧,所述第三吸气道环绕所述第二吸气道设置,所述第三吸气道与所述第一气道连通。

21、在第一方面的其中一个实施例中,所述吸尘部还包括第二法兰,所述第二法兰套设于所述桶体上,所述第二法兰可在所述桶体上滑动,所述第二法兰设置在所述第二连杆远离所述第一法兰的一端,以及所述第二法兰位于所述第三连杆远离所述第一法兰的一端。

22、在第一方面的其中一个实施例中,所述第二法兰具有第四气道,所述第四气道与所述第三气道连通;

23、所述第二法兰背离所述桶体的一面设置有第四吸气口,所述第四吸气口与所述第四气道连通,以及所述第二法兰背离所述第一法兰的一面设置有第五吸气口,所述第五吸气口与所述第四气道连通。

24、在第一方面的其中一个实施例中,所述第二法兰还设置有第五气道,所述第五气道位于所述第四气道靠近所述第一法兰的一侧,所述第五气道与所述第二气道连通;

25、所述第二法兰还设置有吹气口,所述吹气口设置在所述第二法兰背离所述桶体的一面,所述吹气口位于所述第四吸气口靠近所述第一法兰的一侧,所述吹气口与所述第五气道连通。

26、第二方面,本申请实施例提供了一种加料方法,使用上述任一实施例中所述的加料装置,所述加料方法包括:

27、将所述硅料装入所述容纳腔中;

28、下降所述吸尘组件,使得所述加料本体靠近石英坩埚的一端打开,所述硅料从所述容纳腔中掉落至所述石英坩埚中,并通过所述吸尘组件抽吸出主炉室中的所述硅粉。

29、相对于现有技术,本申请的有益效果是:本申请提出一种加料装置及加料方法。其中,所述加料装置包括加料本体和吸尘组件,所述加料本体具有容纳腔,所述容纳腔用于放置硅料;所述吸尘组件套设于所述加料本体,所述吸尘组件包括吸气盘,所述吸气盘用于抽吸硅粉。本申请通过吸尘组件以及吸尘组件中的吸气盘将主炉室中上扬的硅粉抽吸出主炉室,从而避免了扬起的硅粉掉落而附着在单晶炉的炉脖、导流筒上沿或水冷热屏表面等部位,从而提高了单晶硅棒的生长质量。

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【技术保护点】

1.一种加料装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述加料本体还包括:

3.根据权利要求2所述的加料装置,其特征在于,所述吸尘组件包括:

4.根据权利要求3所述的加料装置,其特征在于,所述连接部包括:

5.根据权利要求4所述的加料装置,其特征在于,所述吸气盘具有第一吸气道,所述第一吸气道设置在所述吸气盘背离所述桶体的一侧,所述吸气道与所述第一气道连通。

6.根据权利要求5所述的加料装置,其特征在于,所述吸气盘还设置有第二吸气道,所述第二吸气道环绕所述第一吸气道设置,所述第二吸气道与所述第一气道连通;

7.根据权利要求4所述的加料装置,其特征在于,所述吸尘部还包括第二法兰,所述第二法兰套设于所述桶体上,所述第二法兰可在所述桶体上滑动,所述第二法兰设置在所述第二连杆远离所述第一法兰的一端,以及所述第二法兰位于所述第三连杆远离所述第一法兰的一端。

8.根据权利要求7所述的加料装置,其特征在于,所述第二法兰具有第四气道,所述第四气道与所述第三气道连通;

9.根据权利要求8所述的加料装置,其特征在于,所述第二法兰还设置有第五气道,所述第五气道位于所述第四气道靠近所述第一法兰的一侧,所述第五气道与所述第二气道连通;

10.一种加料方法,其特征在于,使用权利要求1至9中任一项所述的加料装置,所述加料方法包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种加料装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述加料本体还包括:

3.根据权利要求2所述的加料装置,其特征在于,所述吸尘组件包括:

4.根据权利要求3所述的加料装置,其特征在于,所述连接部包括:

5.根据权利要求4所述的加料装置,其特征在于,所述吸气盘具有第一吸气道,所述第一吸气道设置在所述吸气盘背离所述桶体的一侧,所述吸气道与所述第一气道连通。

6.根据权利要求5所述的加料装置,其特征在于,所述吸气盘还设置有第二吸气道,所述第二吸气道环绕所述第一吸气道设置,所述第二吸气道与所述第一气道连通;

7.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:邹凯莫磊张国宏康斌李殿喜张德林周文东杜明田栋东李长营
申请(专利权)人:甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
类型:发明
国别省市:

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