【技术实现步骤摘要】
本申请涉及测量，尤其涉及一种内径测量装置及内径测量方法。
技术介绍
1、在单晶硅的生产过程中，需要作为导热载体的导热坩埚和作为熔料容器的熔料坩埚，通过将装满硅料的熔料坩埚放置于导热坩埚内部来对硅材料进行加热熔化。在投料过程中，熔料坩埚和导热坩埚的尺寸匹配问题十分关键。导热坩埚尺寸过小会导致熔料坩埚装不进去或出现卡顿，容易造成熔料坩埚破裂；导热坩埚尺寸过大，熔料坩埚装进去会出现两者之间缝隙过大，导致熔料过程中熔料坩埚变形严重。因此，需要对坩埚的尺寸进行精准测量，现提供一种内径测量装置及内径测量方法。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供了一种内径测量装置及内径测量方法，旨在解决现有技术，坩埚匹配不当，导致单晶硅生产中，坩埚损坏的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种内径测量装置，包括：
4、固定组件，所述固定组件包括承载平台，所述承载平台用于放置待测工件；
5、测量组件，所述测量组件包括相对设置的两个测距机构，所述测距机构包括测量臂、第一测量块、第二测量块和测距仪，所述测量臂与所述待测工件的轴线平行设置，所述第一测量块和所述第二测量块均与所述测量臂垂直设置，且所述第一测量块和所述第二测量块分别设置于所述测量臂的两端，所述第一测量块远离所述测量臂的一端端面与所述第二测量块远离所述测量臂的一端端面齐平，所述测距仪安装于所述第二测量块远离所述测量臂的一端。
6、
7、所述测距仪设置有接收器，所述接收器用于接收所述激光。
8、在第一方面的其中一个实施例中，所述承载平台设置有限位器，所述限位器用于抵紧所述待测工件的外侧壁。
9、在第一方面的其中一个实施例中，所述固定组件还包括升降件，所述承载平台安装于所述升降件的一端。
10、在第一方面的其中一个实施例中，所述固定组件还包括旋转台，所述旋转台与所述升降件远离所述承载平台的一端连接，所述旋转台与所述承载平台同轴设置。
11、在第一方面的其中一个实施例中，所述测量组件包括支撑平台，所述支撑平台与所述承载平台同轴设置，所述支撑平台设有滑动件，所述测量臂安装于滑动件。
12、在第一方面的其中一个实施例中，所述内径测量装置还包括夹持组件，所述夹持组件包括机械臂、夹具和第二激光探测器，所述夹具和所述第二激光探测器均安装于所述机械臂的作业端。
13、第二方面，本申请实施例还提供了一种内径测量方法，包括：
14、将待测工件放置于承载平台，并使所述待测工件与所述承载平台的轴线对齐；
15、测量臂伸入所述待测工件的内部，并使第一测量块远离所述测量臂的一端与所述待测工件的内臂抵接，相对设置的两个测距仪同时测出两者之间的间距。
16、在第二方面的其中一个实施例中，所述内径测量方法还包括：
17、在进行初次测量后，升降件带动所述承载平台与所述待测工件下降，测量组件对所述待测工件的不同高度内径进行测量。
18、在第二方面的其中一个实施例中，所述内径测量方法还包括：
19、每次测量过程中，旋转台带动所述承载平台与所述待测工件以每预设角度进行一次旋转，测距仪在每次旋转中测得所述待测工件的内径数据。
20、相对于现有技术，本申请的有益效果是：本申请提供内径测量装置及内径测量方法，可用于坩埚的内径测量。内径测量装置包括固定组件和测量组件，固定组件包括承载平台，承载平台用于放置待测工件，测量组件包括相对设置的两个测距机构，测距机构包括测量臂、第一测量块、第二测量块和测距仪，第一测量块和第二测量块分别设置于测量臂的两端，第一测量块远离测量臂的一端端面与第二测量块远离测量臂的一端端面齐平，测距仪安装于第二测量块远离测量臂的一端。如此一来，将坩埚放置于承载平台，并将坩埚的轴线与承载平台的轴线重合，然后通过调节坩埚与测距机构的相对位置，使第一测量块伸入坩埚的内部，第一测量块与坩埚的内壁抵紧，由于第二测量块与第一测量块齐平，此时两个测距仪的间距即为所测部位的坩埚内径。本申请整体结构精简，测量数据准确，以满足后续的单晶硅生产保障。
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1.一种内径测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的内径测量装置，其特征在于，所述第一测量块设置有第一激光探测器，所述第一激光探测器发射探测激光，所述激光射向所述测距仪；
3.根据权利要求1所述的内径测量装置，其特征在于，所述承载平台设置有限位器，所述限位器用于抵紧所述待测工件的外侧壁。
4.根据权利要求3所述的内径测量装置，其特征在于，所述固定组件还包括升降件，所述承载平台安装于所述升降件的一端。
5.根据权利要求4所述的内径测量装置，其特征在于，所述固定组件还包括旋转台，所述旋转台与所述升降件远离所述承载平台的一端连接，所述旋转台与所述承载平台同轴设置。
6.根据权利要求1所述的内径测量装置，其特征在于，所述测量组件包括支撑平台，所述支撑平台与所述承载平台同轴设置，所述支撑平台设有滑动件，所述测量臂安装于滑动件。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的内径测量装置，其特征在于，所述内径测量装置还包括夹持组件，所述夹持组件包括机械臂、夹具和第二激光探测器，所述夹具和所述第二激光探测器均安装于所述
8.一种内径测量方法，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的内径测量方法，其特征在于，所述内径测量方法还包括：
10.根据权利要求9所述的内径测量方法，其特征在于，所述内径测量方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种内径测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的内径测量装置，其特征在于，所述第一测量块设置有第一激光探测器，所述第一激光探测器发射探测激光，所述激光射向所述测距仪；
3.根据权利要求1所述的内径测量装置，其特征在于，所述承载平台设置有限位器，所述限位器用于抵紧所述待测工件的外侧壁。
4.根据权利要求3所述的内径测量装置，其特征在于，所述固定组件还包括升降件，所述承载平台安装于所述升降件的一端。
5.根据权利要求4所述的内径测量装置，其特征在于，所述固定组件还包括旋转台，所述旋转台与所述升降件远离所述承载平台的一端连接，所述旋转台与所述承载平台同轴设...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹凯，莫磊，康斌，李殿喜，张国宏，张德林，
申请(专利权)人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司，
类型：发明
国别省市：
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