【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体测试，尤其涉及一种基于单点的角度校正方法和装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、在光刻、测试、切割和分选工序中，采用线性拟合方法对电机脉冲和旋转角度进行拟合，确定被测单元的旋转角度。这个方法只能满足线性旋转结构，而非线性的旋转结构不能很好的满足线性拟合关系，导致计算的旋转角度与实际旋转角度存在偏差，降低了旋转角度找正的准确性。
技术实现思路
1、本申请实施例的主要目的在于提出一种基于单点的角度校正方法和装置、电子设备及存储介质，旨在提高旋转角度找正的准确性。
2、为实现上述目的，本申请实施例的第一方面提出了一种基于单点的角度校正方法，所述基于单点的角度校正方法包括：
3、获取被测单元的待旋转角度；
4、获取旋转电机的当前旋转脉冲；
5、根据所述当前旋转脉冲对预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的当前旋转角度；所述预设映射关系表通过单个样本点得到；
6、根据所述当前旋转角度和所述待旋转角度，得到所述旋转电机的目标旋转角度；
7、根据所述目标旋转角度对所述预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的目标旋转脉冲；
8、根据所述目标旋转脉冲控制所述旋转电机进行旋转，以对所述被测单元进行角度校正。
9、在一些实施例，所述预设映射关系表根据以下步骤得到：
10、获取标准片；所述标准片包括样本点；
11、基于预设标准模板，移动横轴电机、纵轴电机和旋转电机
12、根据所述横坐标和所述纵坐标，确定所述旋转电机的旋转角度；
13、根据所述旋转脉冲和所述旋转角度构建所述预设映射关系表。
14、在一些实施例，所述基于预设标准模板，移动横轴电机、纵轴电机和旋转电机对所述样本点进行对准，得到所述横轴电机的横坐标、所述纵轴电机的纵坐标以及所述旋转电机的旋转脉冲，包括：
15、基于所述预设标准模板，移动所述横轴电机和所述纵轴电机对所述样本点进行对准，得到标准图像；
16、将所述旋转电机旋转至预设脉冲，对所述样本点进行旋转，得到旋转图像，并将所述预设脉冲作为所述旋转脉冲；
17、根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述横轴电机的第一位移，根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述纵轴电机的第二位移；
18、基于所述预设标准模板，将所述横轴电机移动所述第一位移，将所述纵轴电机移动所述第二位移，以对所述样本点进行对准，得到所述横坐标和所述纵坐标。
19、在一些实施例，所述根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述横轴电机的第一位移，根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述纵轴电机的第二位移，包括：
20、对所述标准图像进行灰度化，得到第一灰度矩阵；
21、对所述旋转图像进行灰度化，得到第二灰度矩阵；
22、计算所述第一灰度矩阵和所述第二灰度矩阵之间的初始灰度差异矩阵；
23、根据所述初始灰度差异矩阵进行位移计算，得到所述第一位移和所述第二位移。
24、在一些实施例，所述根据所述初始灰度差异矩阵进行位移计算，得到所述第一位移和所述第二位移，包括：
25、对所述初始灰度差异矩阵进行元素求和，得到灰度差异数据；
26、根据所述灰度差异数据进行位移计算，得到所述第一位移和所述第二位移。
27、在一些实施例，所述根据所述灰度差异数据进行位移计算，得到所述第一位移和所述第二位移，包括：
28、根据所述灰度差异数据构建目标灰度差异矩阵；
29、获取最小的所述灰度差异数据，得到目标灰度差异；
30、根据所述目标灰度差异在所述目标灰度差异矩阵的列索引，确定所述第一位移；
31、根据所述目标灰度差异在所述目标灰度差异矩阵的行索引，确定所述第二位移。
32、在一些实施例，所述根据所述横坐标和所述纵坐标，确定所述旋转电机的旋转角度，包括：
33、根据所述横坐标和所述纵坐标，确定旋转中心位置；
34、根据所述横坐标、所述纵坐标和所述旋转中心位置，确定所述样本点至所述旋转中心位置的距离；
35、根据所述旋转中心位置、所述距离和所述纵坐标，确定所述旋转角度。
36、为实现上述目的，本申请实施例的第二方面提出了一种基于单点的角度校正装置，所述基于单点的角度校正装置包括：
37、第一获取模块，用于获取被测单元的待旋转角度；
38、第二获取模块，用于获取旋转电机的当前旋转脉冲；
39、第一查询模块，用于根据所述当前旋转脉冲对预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的当前旋转角度；所述预设映射关系表通过单个样本点得到；
40、角度计算模块，用于根据所述当前旋转角度和所述待旋转角度，得到所述旋转电机的目标旋转角度；
41、第二查询模块，用于根据所述目标旋转角度对所述预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的目标旋转脉冲；
42、控制模块，用于根据所述目标旋转脉冲控制所述旋转电机进行旋转，以对所述被测单元进行角度校正。
43、为实现上述目的，本申请实施例的第三方面提出了一种电子设备，所述电子设备包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述第一方面所述的基于单点的角度校正方法。
44、为实现上述目的，本申请实施例的第四方面提出了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述第一方面所述的基于单点的角度校正方法。
45、本申请提出的基于单点的角度校正方法、基于单点的角度校正装置、电子设备及计算机可读存储介质，通过获取被测单元的待旋转角度，获取旋转电机的当前旋转脉冲，以基于当前旋转脉冲和待旋转角度确定被测单元的最终旋转角度。为了降低旋转角度计算的复杂度，根据当前旋转脉冲对预设映射关系表进行查询，得到旋转电机的当前旋转角度，通过查表法而非线性拟合法确定电机旋转脉冲对应的旋转角度，使得这种旋转角度计算方法同时适用于线性旋转结构和非线性旋转结构，不需要关注具体结构，解决了非线性情况下旋转角度计算不正确的问题。同时，本申请不需要使用拟合公式，降低了计算和理解的难度，使旋转找正过程变得方便、快捷。根据当前旋转角度和待旋转角度得到旋转电机的目标旋转角度。根据目标旋转角度对预设映射关系表进行查询，得到旋转电机的目标旋转脉冲，以确定正确的电机旋转脉冲，使被测单元能够被旋转到正确的位置。根据目标旋转脉冲控制旋转电机进行旋转，以对被测单元进行角度校正，提高了旋转角度找正的准确性。
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1.基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述预设映射关系表根据以下步骤得到：
3.根据权利要求2所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述基于预设标准模板，移动横轴电机、纵轴电机和旋转电机对所述样本点进行对准，得到所述横轴电机的横坐标、所述纵轴电机的纵坐标以及所述旋转电机的旋转脉冲，包括：
4.根据权利要求3所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述横轴电机的第一位移，根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述纵轴电机的第二位移，包括：
5.根据权利要求4所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述根据所述初始灰度差异矩阵进行位移计算，得到所述第一位移和所述第二位移，包括：
6.根据权利要求5所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述根据所述灰度差异数据进行位移计算，得到所述第一位移和所述第二位移，包括：
7.根据权利要求2至6任一项所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述根据所述
8.基于单点的角度校正装置，其特征在于，所述装置包括：
9.电子设备，其特征在于，所述电子设备包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7任一项所述的基于单点的角度校正方法。
10.计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7任一项所述的基于单点的角度校正方法。
...【技术特征摘要】
1.基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述预设映射关系表根据以下步骤得到：
3.根据权利要求2所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述基于预设标准模板，移动横轴电机、纵轴电机和旋转电机对所述样本点进行对准，得到所述横轴电机的横坐标、所述纵轴电机的纵坐标以及所述旋转电机的旋转脉冲，包括：
4.根据权利要求3所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述横轴电机的第一位移，根据所述旋转图像和所述标准图像确定所述纵轴电机的第二位移，包括：
5.根据权利要求4所述的基于单点的角度校正方法，其特征在于，所述根据所述初始灰度差异矩阵进行位移计算，得到所述第一位移和所述第二位...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴贵阳，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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