晶圆针压测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆针压测试装置，包括通道电源、控制芯片、控制器电源、上位机和多个针压探测头，各针压探测头之间相互独立设置，各针压探测头包括依次连接的传感器、转换组件和通讯隔离芯片，通道电源的数量与针压探测头的数量一致且一一对应，通道电源为与其对应的针压探测头的传感器和转换组件供电；各针压探测头的通讯隔离芯片与控制芯片电连接，控制器电源为控制芯片供电；控制芯片与上位机电连接，并将各针压探测头的数字信号发送给上位机。本发明专利技术将模拟电压信号转化为数字信号，再通过通讯隔离芯片传输数字信号，进一步降低噪声和干扰，从而使得多个针压探测头同时检测时，各通道之间不会存在串扰，提高了检测结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种晶圆针压测试装置。

技术介绍

1、晶圆片上分布着数万甚至上百万颗晶圆，在晶圆封装成芯片之前需要进行电性能测试，以分选不同良率的等级品。为了正确测试电性能，必须测控探针的针压，使之跟被侧晶圆之间接触良好且不损伤晶圆。

2、现有技术中对于针压测控，尤其是晶圆探针或针卡的针压测控，通常通过单通道进行针压测试，晶圆针压信号是极其敏感的微小的电压模拟差分信号，极易受到干扰，且极不稳定；因此在多通道情况下，特别是多个探针信号在同一块电路板上同时处理时，它们之间极易相互串扰，从而严重影响各自针压测试的准确性及稳定度，导致检测结果不准确。

技术实现思路

1、本专利技术的主要目的在于提供一种晶圆针压测试装置，旨在解决现有的多通道检测情况下，各通道之间会存在通道串扰，导致检测结果不准确的问题。

2、为实现上述目的，本专利技术提供一种晶圆针压测试装置，包括：

3、多个针压探测头，多个所述针压探测头之间相互独立设置，各所述针压探测头包括依次连接的传感器、转换组件和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆针压测试装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的晶圆针压测试装置，其特征在于，所述转换组件包括模拟信号处理电路和模数转换芯片，所述模拟信号处理电路用于滤除所述模拟信号的信号噪声后，将所述模拟信号发送至所述模数转换芯片，所述模数转换芯片用于将接收到的所述模拟信号转化为数字信号。

3.如权利要求2所述的晶圆针压测试装置，其特征在于，所述模数转换芯片的输入信号选型为差分式，所述模数转换芯片的数据精度不低于24位，出码率为6.25Hz～51.2KHz，所述模数转换芯片内还设置有放大倍数为1～128的可编放大器。

4.如权利要求2所述的晶圆针...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆针压测试装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的晶圆针压测试装置，其特征在于，所述转换组件包括模拟信号处理电路和模数转换芯片，所述模拟信号处理电路用于滤除所述模拟信号的信号噪声后，将所述模拟信号发送至所述模数转换芯片，所述模数转换芯片用于将接收到的所述模拟信号转化为数字信号。

3.如权利要求2所述的晶圆针压测试装置，其特征在于，所述模数转换芯片的输入信号选型为差分式，所述模数转换芯片的数据精度不低于24位，出码率为6.25hz～51.2khz，所述模数转换芯片内还设置有放大倍数为1～128的可编放大器。

4.如权利要求2所述的晶圆针压测试装置，其特征在于，所述控制芯片与各所述模数转换芯片之间通过spi协议通讯连接。

5.如权利要求1所述的晶圆针压测试装置，其特征在于，所有所述通道电源的电压一致，所有所述通道电源的电流一致。

6.如权利要求1至5中...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗国清，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：