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本发明公开了一种晶圆针压测试装置，包括通道电源、控制芯片、控制器电源、上位机和多个针压探测头，各针压探测头之间相互独立设置，各针压探测头包括依次连接的传感器、转换组件和通讯隔离芯片，通道电源的数量与针压探测头的数量一致且一一对应，通道电源为...
该专利属于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽电半导体设备（深圳）股份有限公司授权不得商用。

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