【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种晶圆分选方法及晶圆分选机。
技术介绍
1、在传统的led芯片分选站点，会对每一片的晶圆进行分选作业，而目前主流的分选方法主要是以正抓方式，即抓取合格的芯粒，通过吸嘴将其吸附粘贴到另一张空膜上，然而每片晶圆至少有40kk颗芯粒，且合格芯粒的数量远大于异常芯粒的数量，这样导致每分选一片晶圆，都需要花费大量的时间才能分选完成一张晶圆片。
2、因此，如何快速对晶圆进行分选，是亟需解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种晶圆分选方法及晶圆分选机，旨在解决如何快速对晶圆进行分选的问题。
2、一种晶圆分选方法，包括：
3、响应于移动信号，移动吸嘴至晶圆的待吸附芯粒处，其中，所述待吸附芯粒为异常芯粒；
4、响应于吸附信号，通过吸嘴吸入所述待吸附芯粒；
5、重复上述步骤，直至晶圆上所有的待吸附芯粒均已吸入，完成分选作业。
6、上述晶圆分选方法，通过吸嘴吸入晶圆上的异常芯粒、保留合格的芯粒，快速完成晶圆分选动作，节约了大量的分选时间、大幅度提高了晶圆分选机的产能。同时，通过将异常芯粒吸入至吸嘴内，而不是反复吸附到吸嘴上，较大程度地降低了吸嘴的损耗，提高了吸嘴的使用寿命、降低了生产成本。
7、可选地，晶圆分选方法，还包括：
8、回收吸入的所述待吸附芯粒。
9、上述晶圆分选方法，对吸入的待吸附芯粒进行回收，实现芯粒的
10、可选地，晶圆分选方法，还包括：
11、响应于疏通信号，向吸嘴吹气；
12、其中，所述疏通信号是通过实时检测吸嘴流量，并将所述吸嘴流量与预设流量值进行比较，当所述吸嘴流量小于所述预设流量值时生成的。
13、上述晶圆分选方法，在进行分选工作的同时，还自动对吸嘴进行疏通，防止吸嘴堵塞导致晶圆分选机故障，节约了大量的分选时间、进一步提高了晶圆分选机的产能。
14、基于同样的专利技术构思，本申请还提供一种晶圆分选机，包括：
15、传动部，其响应于移动信号，移动吸嘴至晶圆的待吸附芯粒处，其中，所述待吸附芯粒为异常芯粒；
16、分选设备，其响应于吸附信号，产生吸力，通过吸嘴吸入所述待吸附芯粒。
17、上述晶圆分选机，通过吸嘴吸入晶圆上的异常芯粒、保留合格的芯粒，快速完成晶圆分选动作，节约了大量的分选时间、大幅度提高了晶圆分选机的产能。同时，通过将异常芯粒吸入至吸嘴内，而不是反复吸附到吸嘴上，较大程度地降低了吸嘴的损耗，提高了吸嘴的使用寿命、降低了生产成本。
18、可选地，所述分选设备包括：第一管道、第一电磁阀及真空组件；
19、所述第一管道，设置于吸嘴和所述真空组件之间；
20、所述第一电磁阀，设置于所述第一管道上，所述第一电磁阀及所述真空组件的控制端分别与外部控制器信号连接，接收外部控制器的吸附信号，所述吸附信号包括第一开启信号和第二开启信号；
21、所述第一电磁阀，用于根据所述第一开启信号接通或关闭所述第一管道；
22、所述真空组件，用于根据所述第二开启信号为所述分选设备提供吸力，通过吸嘴及所述第一管道吸入所述待吸附芯粒。
23、可选地，晶圆分选机，还包括：
24、回收设备，设置于所述第一管道和所述真空组件之间，用于回收吸入的所述待吸附芯粒。
25、上述晶圆分选机，对吸入的待吸附芯粒进行回收，实现芯粒的二次回收利用，进一步降低了生产成本。
26、可选地，所述回收设备包括：
27、壳体及滤芯；
28、所述壳体上设置有进气口和出气口，所述进气口的一端与所述第一管道连通，所述出气口与所述真空组件连通；
29、所述滤芯设置于所述壳体内，所述滤芯的入口与所述进气口的另一端连接，用于过滤并容纳吸入的异常芯粒。
30、可选地，晶圆分选机，还包括：
31、疏通设备，与所述第一管道连通，其响应于疏通信号，产生压力，向吸嘴吹气；其中，所述疏通信号是通过实时检测吸嘴流量，并将所述吸嘴流量与预设流量值进行比较，当所述吸嘴流量小于所述预设流量值时生成的。
32、上述晶圆分选机，在进行分选工作的同时，还自动对吸嘴进行疏通，防止吸嘴堵塞导致晶圆分选机故障，节约了大量的分选时间、进一步提高了晶圆分选机的产能。
33、可选地，所述疏通设备包括：依次连通的第二电磁阀、第二管道及空压组件；
34、依次连通的第二电磁阀、第二管道及空压组件；
35、第二电磁阀，设置于所述第一管道和所述第二管道之间，所述第二电磁阀及所述空压组件的控制端分别与外部控制器信号连接，接收外部控制器的疏通信号，所述疏通信号包括第三开启信号和第四开启信号；所述第二电磁阀包括第一状态和第二状态，用于根据所述第三开启信号切换至所述第一状态或所述第二状态；
36、其中，当所述第二电磁阀处于第一状态时，接通所述第一管道和所述真空组件；当所述第二电磁阀处于第二状态时，接通所述第一管道和所述第二管道；
37、所述空压组件，用于根据所述第四开启信号，提供压力并通过所述第二管道和第一管道向所述吸嘴吹气。
38、可选地，晶圆分选机，还包括：
39、流量感应器，设置于所述第一管道内，并与外部控制器信号连接，用于实时传输吸嘴流量至所述外部控制器。
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1.一种晶圆分选方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆分选方法，其特征在于，还包括：
3.如权利要求1或2所述的晶圆分选方法，其特征在于，还包括：
4.一种晶圆分选机，其特征在于，包括：
5.如权利要求4所述的晶圆分选机，其特征在于，所述分选设备包括：第一管道、第一电磁阀及真空组件；
6.如权利要求5所述的晶圆分选机，其特征在于，还包括：
7.如权利要求6所述的晶圆分选机，其特征在于，所述回收设备包括：
8.如权利要求5或6所述的晶圆分选机，其特征在于，还包括：
9.如权利要求8所述的晶圆分选机，其特征在于，所述疏通设备包括：依次连通的第二电磁阀、第二管道及空压组件；
10.如权利要求8所述的晶圆分选机，其特征在于，还包括：
【技术特征摘要】
1.一种晶圆分选方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆分选方法，其特征在于，还包括：
3.如权利要求1或2所述的晶圆分选方法，其特征在于，还包括：
4.一种晶圆分选机，其特征在于，包括：
5.如权利要求4所述的晶圆分选机，其特征在于，所述分选设备包括：第一管道、第一电磁阀及真空组件；
6.如权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海龙，
申请(专利权)人：重庆康佳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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