【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆用暂存保护装置，具体为一种待测试晶圆用暂存保护装置。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，如申请号为202023311654.6名为一种晶圆存放箱，包括箱体，箱体的内腔通过隔板设置有存放腔，存放腔的侧壁铰接有开关门，箱体的侧壁开设有装配槽，装配槽内滑动连接有真空笔放置架，真空笔放置架的内腔装配有与装配槽相卡接的定位机构，真空笔放置架内开设有卡槽，卡槽内卡接有真空笔。通过存放腔内的存放架可以同时存放多片晶圆，在箱体的侧壁卡接有真空笔放置架，通过真空笔放置架内的真空笔可以用于对存放腔内晶圆的拿取，真空笔放置架可以通过定位机构进行位置的调节，通过真空笔对晶圆进行拿取更加方便，减少人为造成的晶圆磨损。
2、上述装置在使用的过程中晶圆存放箱在工作人员从存放箱中取出晶圆时，过程较为麻烦，不太满足晶圆暂时存放得目的；所以我们提出了一种待测试晶圆用暂存保护装置，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种待测试晶圆用暂存保护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有晶圆存放箱在工作人员从存放箱中取出晶圆时，过程较为麻烦，不太满足晶圆暂时存放得目的的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案
3、优选的，所述晶圆排出滑槽内设置有晶圆放置块，所述晶圆放置块与晶圆排出滑槽限位连接，所述晶圆放置块设置在顶块上方相对应位置。
4、优选的，所述晶圆暂存盒上设置有旋转连接合页，所述旋转连接合页固定端与晶圆暂存盒螺栓连接。
5、优选的，所述旋转连接合页活动端上设置有暂存盒盖，所述暂存盒盖与旋转连接合页活动端螺栓连接。
6、优选的，所述暂存盒盖上设置有磁吸锁块，所述磁吸锁块设置在晶圆出口相对应位置，所述磁吸锁块与暂存盒盖粘连连接。
7、优选的，所述暂存盒盖上设置有晶圆固定结构，所述晶圆固定结构与暂存盒盖粘连连接，所述晶圆固定结构设置在晶圆放置块相对应位置。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
9、1、本技术通过在晶圆暂存盒内设置有晶圆收集滑槽,晶圆收集滑槽与晶圆暂存盒为一体设置，晶圆收集滑槽一端设置有晶圆排出滑槽，晶圆排出滑槽与晶圆暂存盒为一体设置，还包括晶圆出口，晶圆出口设置在晶圆排出滑槽的一端上，晶圆出口与晶圆排出滑槽为一体设置，晶圆暂存盒上开设有限位槽，限位槽与晶圆暂存盒为一体设置，限位槽内设置有连接杆，连接杆与限位槽抵接，连接杆上设置有顶块，顶块设置在连接杆中段上，顶块与连接杆焊接连接，晶圆排出滑槽内设置有晶圆放置块，晶圆放置块与晶圆排出滑槽限位连接，晶圆放置块设置在顶块上方相对应位置，旋转连接合页活动端上设置有暂存盒盖，暂存盒盖与旋转连接合页活动端螺栓连接，暂存盒盖上设置有磁吸锁块，磁吸锁块设置在晶圆出口相对应位置，磁吸锁块与暂存盒盖粘连连接，暂存盒盖上设置有晶圆固定结构，晶圆固定结构与暂存盒盖粘连连接，晶圆固定结构设置在晶圆放置块相对应位置，将晶圆放置在晶圆暂存盒内时，将晶圆放置到晶圆收集滑槽内，晶圆顺着滑槽自然落下，滑落到晶圆放置块上，再合上暂存盒盖，晶圆固定结构套住晶圆，放置晶圆在暂存盒内随意滑动，如果需要将晶圆取出时，只需抬起连接杆，使顶块将晶圆顶起，然后倾斜晶圆暂存盒使晶圆从晶圆排出滑槽一端的晶圆出口滑出，有效地避免了现有晶圆存放箱在工作人员从存放箱中取出晶圆时，过程较为麻烦，不太满足晶圆暂时存放得目的的问题。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种待测试晶圆用暂存保护装置，包括晶圆暂存盒(1)，所述晶圆暂存盒(1)内设置有晶圆收集滑槽(6),所述晶圆收集滑槽(6)与晶圆暂存盒(1)为一体设置，所述晶圆收集滑槽(6)一端设置有晶圆排出滑槽(7)，所述晶圆排出滑槽(7)与晶圆暂存盒(1)为一体设置；
2.根据权利要求1所述的一种待测试晶圆用暂存保护装置，其特征在于：所述晶圆排出滑槽(7)内设置有晶圆放置块(5)，所述晶圆放置块(5)与晶圆排出滑槽(7)限位连接，所述晶圆放置块(5)设置在顶块(4)上方相对应位置。
3.根据权利要求1所述的一种待测试晶圆用暂存保护装置，其特征在于：所述晶圆暂存盒(1)上设置有旋转连接合页(9)，所述旋转连接合页(9)固定端与晶圆暂存盒(1)螺栓连接。
4.根据权利要求3所述的一种待测试晶圆用暂存保护装置，其特征在于：所述旋转连接合页(9)活动端上设置有暂存盒盖(10)，所述暂存盒盖(10)与旋转连接合页(9)活动端螺栓连接。
5.根据权利要求4所述的一种待测试晶圆用暂存保护装置，其特征在于：所述暂存盒盖(10)上设置有磁吸锁块(11)，所述
6.根据权利要求4所述的一种待测试晶圆用暂存保护装置，其特征在于：所述暂存盒盖(10)上设置有晶圆固定结构(12)，所述晶圆固定结构(12)与暂存盒盖(10)粘连连接，所述晶圆固定结构(12)设置在晶圆放置块(5)相对应位置。
...【技术特征摘要】
1.一种待测试晶圆用暂存保护装置，包括晶圆暂存盒(1)，所述晶圆暂存盒(1)内设置有晶圆收集滑槽(6),所述晶圆收集滑槽(6)与晶圆暂存盒(1)为一体设置，所述晶圆收集滑槽(6)一端设置有晶圆排出滑槽(7)，所述晶圆排出滑槽(7)与晶圆暂存盒(1)为一体设置；
2.根据权利要求1所述的一种待测试晶圆用暂存保护装置，其特征在于：所述晶圆排出滑槽(7)内设置有晶圆放置块(5)，所述晶圆放置块(5)与晶圆排出滑槽(7)限位连接，所述晶圆放置块(5)设置在顶块(4)上方相对应位置。
3.根据权利要求1所述的一种待测试晶圆用暂存保护装置，其特征在于：所述晶圆暂存盒(1)上设置有旋转连接合页(9)，所述旋转连接合页(9)固定端与晶圆暂存盒(1)螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：李倚明，李宇翔，
申请(专利权)人：苏州奥正智精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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