【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆夹具，具体为一种用于晶圆测试的夹具。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆；在晶圆加工过程中，需要对其进行测试，而测试过程中为确保晶圆稳定性，都需要用到夹具进行固定；
2、申请号：cn202221065168.7，名为“一种晶圆测试夹具”包括有橡胶垫、放置板、夹紧块、滑动块、齿条、转轴和齿轮等，通过半圆形夹具对晶圆进行定位；
3、申请号：cn202121515537.3，名为“一种晶圆测试夹具”包括：一箱体，箱体内横向设有至少一托盘，各托盘表面设有至少一晶圆放置层，箱体的垂直于托盘且相对设置的至少一组侧面之间设有通风通道。
4、但是，上述夹具需要用户手动调节与晶圆之间的间距，且夹具为半圆形，难以适配不同尺寸的晶圆；托盘处不具备风机牵引结构，使晶圆仍然存在受风不均问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种用于晶圆测试的夹具。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于晶圆测试的夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的现有夹具需要用户手动调节与晶圆之间的间距，且夹具为半圆形，难以适配不同尺寸的晶圆的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆测试的夹具，包括：晶圆定位台与测试放置箱，且晶圆定位台位于测试放置箱的内部；
3、还包括：>
4、放置槽，其设置在所述晶圆定位台上表面的中间位置处，所述放置槽的内部设置有托板，所述托板的上表面放置有晶圆本体，所述托板下表面的两侧均设置有安装件，所述安装件的下方安装有第二电动伸缩杆；
5、第一电动伸缩杆，其通过螺丝可拆卸式地安装在所述晶圆定位台的外壁上，且其设置有四个，四个所述第一电动伸缩杆环形间隔分布在所述放置槽的四周，所述第一电动伸缩杆的伸缩端设置有夹块。
6、优选的，所述夹块的外壁上粘接有橡胶块。
7、优选的，所述晶圆定位台的两侧均设置有l型板，且l型板通过螺丝与测试放置箱的内壁可拆卸式安装，所述l型板的外壁上安装有抽拉轨，且晶圆定位台通过抽拉轨与l型板滑动连接。
8、优选的，所述l型板前端面的外壁上设置有阻尼转轴，所述阻尼转轴的一端活动安装有限位板。
9、优选的，所述托板的下方设置有风机，所述风机的外壁设置有网罩，所述风机的下方设置有进气网口，且进气网口位于晶圆定位台下表面外壁的中间位置处。
10、优选的，所述托板外壁的中间位置处设置有若干通孔。
11、优选的，所述测试放置箱两侧的外壁上均设置有多个箱体网口，且多个所述箱体网口分布在相邻晶圆定位台之间。
12、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
13、1、本技术通过设置放置槽、第一电动伸缩杆、夹块、托板、第二电动伸缩杆起到定位晶圆的效果，具体地，晶圆本体放置在放置槽内的托板上，利用第二电动伸缩杆带动托板进行升降移动，通过升降移动调节托板在放置槽内的深度，使晶圆本体受到放置槽处的深度影响而不易脱出，利用第二电动伸缩杆将晶圆本体向上留出供夹块定位的晶圆厚度，其余晶圆分布嵌入槽内，使其能够适配不同厚度的晶圆，第一电动伸缩杆带动夹块进行伸缩移动，在其伸展时，夹块会被推动至晶圆本体外壁处，四个夹块环状间隔分布在晶圆本体四周，使晶圆本体受力均匀，被有效夹持固定，四角夹持相较于两侧的半圆夹持更加容易适配不同尺寸的晶圆，后续脱出过程中，第一电动伸缩杆带动夹块回缩，第二电动伸缩杆向上伸展，使托板将晶圆本体嵌入部分顶出，使用户无需手动扣动即可拿取晶圆，避免划伤损坏晶圆，整个设备自动化程度高，用户使用起来方便，无需用户手动调节。
14、2、利用抽拉轨能够方便用户抽出晶圆定位台进行拿取与放置操作，在晶圆定位台放置在测试放置箱内部时，可通过转动阻尼转轴带动限位板进行竖向放置，使限位板限制抽拉轨处移动，提高晶圆定位台放置时的稳定性，在需要使用抽拉轨时，只需要将限位板转动放下即可，方便用户使用。
15、3、风机用于牵引风至每个晶圆定位台的托板处，受牵引的风通过通孔进入到上方的晶圆处，使晶圆受风更加的均匀。
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1.一种用于晶圆测试的夹具，包括晶圆定位台(1)与测试放置箱(14)，且晶圆定位台(1)位于测试放置箱(14)的内部；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述夹块(5)的外壁上粘接有橡胶块(6)。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述晶圆定位台(1)的两侧均设置有L型板(15)，且L型板(15)通过螺丝与测试放置箱(14)的内壁可拆卸式安装，所述L型板(15)的外壁上安装有抽拉轨(16)，且晶圆定位台(1)通过抽拉轨(16)与L型板(15)滑动连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述L型板(15)前端面的外壁上设置有阻尼转轴(17)，所述阻尼转轴(17)的一端活动安装有限位板(18)。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述托板(7)的下方设置有风机(9)，所述风机(9)的外壁设置有网罩(11)，所述风机(9)的下方设置有进气网口(10)，且进气网口(10)位于晶圆定位台(1)下表面外壁的中间位置处。
6.根据
7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述测试放置箱(14)两侧的外壁上均设置有多个箱体网口(19)，且多个所述箱体网口(19)分布在相邻晶圆定位台(1)之间。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆测试的夹具，包括晶圆定位台(1)与测试放置箱(14)，且晶圆定位台(1)位于测试放置箱(14)的内部；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述夹块(5)的外壁上粘接有橡胶块(6)。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述晶圆定位台(1)的两侧均设置有l型板(15)，且l型板(15)通过螺丝与测试放置箱(14)的内壁可拆卸式安装，所述l型板(15)的外壁上安装有抽拉轨(16)，且晶圆定位台(1)通过抽拉轨(16)与l型板(15)滑动连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于：所述l型板(15)前端面的外壁上设置有阻尼...
【专利技术属性】
技术研发人员：李倚明，李宇翔，
申请(专利权)人：苏州奥正智精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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