【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种光阻输运系统。
技术介绍
1、在半导体领域中，绕不开光刻工艺中的涂胶环节，涂胶的情况直接影响到产品的良率。通常情况下，当喷涂到晶圆表面的光阻中带有气泡，在光阻甩开平铺和接下来的烘烤环节，气泡会发生炸裂，从而导致膜厚不均匀导致影响良率，严重的情况可能会造成晶圆报废。传统的半导体设备的光阻输运系统结构如图1所示，包括光阻输运管路l1、排出管路l2，以及依次设置在光阻输运管路中的光阻瓶1、暂存器2、过滤器3、供应泵4和回吸阀门5，光阻瓶1中的光阻通过光阻输运管路l1输运至向晶圆7上方的喷嘴6。上述气体输运系统的工作流程包括如下步骤：当供应泵4做300cc净化(purge)后，电磁阀v1会自动开启并将过滤器3和供应泵4过出的气泡排至排出管路l2，但最终从供应泵4出来后的光阻是否依旧有气泡仍不能完全确认，只能通过工作人员肉眼确认管路或喷嘴喷涂状态，然后重新检测光阻输运管路中的颗粒度，直到检测结果通过，方可恢复机台生产。日常npw(非产品的监控片)在监控光阻中颗粒或膜厚超出范围值时停机检查，然后手动操作排泡，但通常按照工艺和质量管理部门的要求，必须做完手动排泡后，重新使用npw监控结果正常后方可恢复生产。所以该方法依赖人工主观判断是否存在气泡，可靠性不足，且因停机检查导致影响生产效率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种光阻输运系统，用以精准检测出光阻气泡的同时完成排泡，提高晶圆的良率。
2、本技术提供一种光阻输运系统，包括光阻输运管路、排
3、所述光阻输运管路中的过滤器，用于对气泡和颗粒杂质进行过滤；所述光阻输运管路中的供应泵用于驱动光阻在光阻输运管路中输运并可再次过滤气泡和颗粒杂质，所述过滤器和供应泵过滤出的气泡和颗粒杂质通过所述排出管路排出。
4、一种可能的实施例中，当所述传感器检测到所述光阻输运管路中不存在气泡时，控制器被配置保持所述第一阀门和第二阀门处于关闭状态，使得所述光阻瓶中的光阻通过光阻输运管路输运至晶圆上方的喷嘴。
5、另一种可能的实施例中，所述回流管路中在第二阀门的旁侧设有单向阀，用于阻止光阻输运管路中光阻通过回流管路流向第一阀门。
6、其它可能的实施例中，所述传感器为光学传感器、超声波传感器或电容传感器。
7、又一种实施例中，所述光学传感器包括投光部和受光部；所述受光部连接有光纤放大器，受光部接收到的光信号随后转换为数字信号并发送至控制器；控制器被配置在所述数字信号超出设定阈值时，开启所述第一阀门和第二阀门。
8、其它可能的实施例中，所述控制器被配置在工作模式时，对所述传感器的检测结果作出响应；所述控制器被配置休眠模式时，对所述传感器的检测结果不作出响应。
9、一种可能的实施例中，所述暂存器、过滤器和供应泵均通过电磁阀与排出管路相连通。
10、其它可能的实施例中，所述第一阀门和所述第二阀门为三通阀。
11、又一种可能的实施例中，所述回吸阀门用于开启和关闭喷嘴喷涂，以及控制回吸的速度和高度。所述暂存器用于维持光阻输运管路始终存在光阻。
12、本技术提供的光阻输运系统的有益效果在于：该系统中的传感器能够精确检测供应管路中气泡是否存在，控制器能够根据检测结果控制回流管路回流有气泡的光阻再次执行过滤排泡动作，相比直接排掉有气泡的光阻的现有方案，一定程度上可以节省光阻，另一方面相比停机排泡，本实施例能够在提高产品良率的同时减少机台停机时间，提升生产效率。
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1.一种光阻输运系统，其特征在于，包括光阻输运管路、排出管路、回流管路，以及依次设置在光阻输运管路中的光阻瓶、暂存器、过滤器、供应泵、传感器和回吸阀门；
2.根据权利要求1所述的光阻输运系统，其特征在于，当所述传感器检测到所述光阻输运管路中不存在气泡时，控制器被配置保持所述第一阀门和第二阀门处于关闭状态，使得所述光阻瓶中的光阻通过光阻输运管路输运至晶圆上方的喷嘴。
3.根据权利要求1所述的光阻输运系统，其特征在于，所述回流管路中在第二阀门的旁侧设有单向阀，用于阻止光阻输运管路中光阻通过回流管路流向第一阀门。
4.根据权利要求1至3任一项所述的光阻输运系统，其特征在于，所述传感器为光学传感器、超声波传感器或电容传感器。
5.根据权利要求4所述的光阻输运系统，其特征在于，所述光学传感器包括投光部和受光部；所述受光部连接有光纤放大器；受光部接收到的光信号随后转换为数字信号并发送至控制器；
6.根据权利要求1至3任一项所述的光阻输运系统，其特征在于，所述控制器被配置在工作模式时，对所述传感器的检测结果作出响应；所述控制器被配置休
7.根据权利要求1至3任一项所述的光阻输运系统，其特征在于，所述暂存器、过滤器和供应泵均通过电磁阀与排出管路相连通。
8.根据权利要求1至3任一项所述的光阻输运系统，其特征在于，所述第一阀门和所述第二阀门均为三通阀。
9.根据权利要求1至3任一项所述的光阻输运系统，其特征在于，所述回吸阀门用于开启和关闭喷嘴喷涂，以及控制回吸的速度和高度。
10.根据权利要求1至3任一项所述的光阻输运系统，其特征在于，所述暂存器用于维持光阻输运管路始终存在光阻。
...【技术特征摘要】
1.一种光阻输运系统，其特征在于，包括光阻输运管路、排出管路、回流管路，以及依次设置在光阻输运管路中的光阻瓶、暂存器、过滤器、供应泵、传感器和回吸阀门；
2.根据权利要求1所述的光阻输运系统，其特征在于，当所述传感器检测到所述光阻输运管路中不存在气泡时，控制器被配置保持所述第一阀门和第二阀门处于关闭状态，使得所述光阻瓶中的光阻通过光阻输运管路输运至晶圆上方的喷嘴。
3.根据权利要求1所述的光阻输运系统，其特征在于，所述回流管路中在第二阀门的旁侧设有单向阀，用于阻止光阻输运管路中光阻通过回流管路流向第一阀门。
4.根据权利要求1至3任一项所述的光阻输运系统，其特征在于，所述传感器为光学传感器、超声波传感器或电容传感器。
5.根据权利要求4所述的光阻输运系统，其特征在于，所述光学传感器包括投光部和受光部；所述受光部...
【专利技术属性】
技术研发人员：李阳，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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