【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，尤其涉及一种晶圆转运装置。
技术介绍
1、在晶圆制备过程中，若有个别的晶圆的晶背脏污或翘曲度(bom)值大，则会导致光刻设备真空报警。因上道工艺问题或产品问题，未及时找出原因，光刻设备将频繁真空报警，如此会严重影响生产能力和设备的性能。光刻设备真空报警时，因其真空吸力变小，如果继续运转晶圆，则会存在破片的风险，因此当光刻设备真空报警时需要手动取出异常的晶圆。
2、现在处理的方式是先找到对应的真空控制管，并手动将其拔下来或折起，关闭卡盘真空，然后打开侧门，操作人员探身进入设备中将晶圆从卡盘上手动取出。但手动取出晶圆存在以下问题：
3、(1)手动取出晶圆的风险高，取片过程中不能碰到机械臂、卡盘和透镜等关键部件，若不小心碰到卡盘、透镜和条形反射镜等部件，就会造成设备长时间故障；
4、(2)因卡盘在发生真空报警时的位置不固定，承载台有可能在最外面，有可能在最里面，取片难度直线上升，对需要进入设备中取片的操作人员不友好；
5、(3)手动取出晶圆难度大，耗时长，目前处理光刻设备真空报警每次都需要至少2小时，严重影响了设备的正常运行时间，降低了产能；
6、(4)目前市面上采用的晶圆夹具长度短，增加了操作难度，且需要操作者手动发力捏取晶圆，操作不当会导致晶圆碎片或晶圆污染，更甚者会导致机台折损，使机台的使用寿命大大缩短。
7、因此，有必要提供一种新型的晶圆转运装置以解决现有技术中存在的手动取出晶圆操作难度大，耗时长，风险高等问题。
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1、本技术的目的在于提供一种晶圆转运装置，以解决现有技术中手动取出晶圆操作难度大，耗时长，风险高等问题。
2、为实现上述目的，本技术的所述晶圆转运装置包括吸附臂和伸缩组件，所述吸附臂用于吸附晶圆；所述伸缩组件包括活动连接的第一伸缩件和第二伸缩件，所述第二伸缩件与所述吸附臂连接，所述第二伸缩件相对所述第一伸缩件朝向或远离所述吸附臂方向运动，以带动所述吸附臂伸长或缩短。
3、本技术的所述晶圆转运装置的有益效果在于：通过所述伸缩组件包括活动连接的第一伸缩件和第二伸缩件，所述第二伸缩件与所述吸附臂连接，所述第二伸缩件相对所述第一伸缩件朝向或远离所述吸附臂方向运动，以带动所述吸附臂伸长或缩短，即在使用该晶圆转运装置时可以手动操作使所述第二伸缩件相对所述第一伸缩件朝向或远离所述吸附臂方向运动，从而延长或缩短该晶圆转运装置，使得可根据实际情况手动改变该晶圆转运装置的长度，适用于因卡盘在发生真空报警时的位置不固定的情况，操作人员无需再通过钻入光刻机设备内部而取出晶圆，且一个人可以操作，降低了操作难度，减少了取片的时间，保证了设备的正常运行时间，同时减少或避免了因人员操作不当会导致晶圆碎片或晶圆污染，降低设备折损率，延长设备使用寿命，而且可以避免操作人员碰到机械臂、卡盘、透镜和条形反射镜等精密部件，缩短了宕机时间。
4、优选的，所述伸缩组件还包括操作组件，所述第一伸缩件为传动杆，所述第二伸缩件为从动杆，所述操作组件与所述传动杆连接以控制所述传动杆转动，所述传动杆与所述从动杆螺纹连接，使所述从动杆随所述传动杆转动而转动以实现朝向或远离所述吸附臂方向运动。其有益效果在于：螺纹连接简单方便，使得所述传动杆能稳定高效地带动所述从动杆进行转动，从而使所述从动杆实现朝向或远离所述吸附臂方向运动。
5、优选的，所述操作组件包括把手件、主动轮和从动轮，所述把手件与所述主动轮固定连接，所述主动轮和所述从动轮啮合，所述从动轮与所述传动杆固定连接。其有益效果在于：所述操作组件操作简单、省力稳定。
6、优选的，所述晶圆转运装置还包括缓冲件，所述缓冲件一端与所述吸附臂固定连接，另一端与所述第二伸缩件连接。其有益效果在于：缓冲件对吸附臂起到缓冲作用，以防止第二伸缩件朝向或远离所述吸附臂方向运动时冲击力过大而导致吸附臂上的晶圆掉落，有利于吸附臂稳定地进行伸长或缩短运动。
7、优选的，所述晶圆转运装置还包括限位件，所述限位件为中空结构，所述缓冲件活动贯穿于所述限位件，且所述限位件朝向所述吸附臂的一端设有对所述吸附臂进行限位的第一限位部，所述限位件朝向所述伸缩组件的一端设有对所述第二伸缩件进行限位的第二限位部。其有益效果在于：以防止误操作而导致所述吸附臂过渡缩短而损伤晶圆，以及防止误操作而导致所述吸附臂过渡伸长而碰到机械臂、卡盘、透镜和条形反射镜等精密部件。
8、优选的，所述晶圆转运装置还包括真空管路，所述吸附臂包括晶圆吸附部和连接杆，所述连接杆为中空结构，所述真空管路贯穿设置于所述连接杆并与所述晶圆吸附部连接，以使所述吸附臂真空吸附晶圆。其有益效果在于：使得在手取晶圆过程中直接通过真空吸附晶圆，避免对晶圆造成损伤和污染，且不需要操作者手动发力捏取晶圆，降低了取放和转移晶圆的难度。
9、优选的，所述晶圆转运装置还包括真空过滤器，所述真空过滤器设置于所述真空管路，且所述真空过滤器与所述真空管路可拆卸连接。其有益效果在于：晶圆取出完成后，真空过滤器会将原晶圆的污染物过滤，防止其污染真空管路以及对后续转移的晶圆造成交叉污染。
10、优选的，所述晶圆吸附部设有若干与所述真空管路连通的通孔，且所述通孔的表面设有垫圈。其有益效果在于：若干个所述通孔有利于稳定牢固的吸附晶圆，通过垫圈可以降低与晶圆的接触面积，可以有效降低对晶圆的污染，以及降低因操作不当导致的晶圆碎片风险。
11、优选的，所述晶圆转运装置还包括外壳，所述连接杆、所述传动杆、所述从动杆均为中空结构且活动设置于所述外壳的腔体内，所述真空管路依次贯穿所述外壳、所述传动杆、所述从动杆和所述连接杆设置。其有益效果在于：设计巧妙，结构紧凑，占用空间小，能有效避免碰到机械臂、卡盘、透镜和条形反射镜等精密部件。
12、优选的，所述缓冲件为弹簧。其有益效果在于：结构简单、价廉易得、缓冲效果好。
13、优选的，所述晶圆转运装置还包括外壳和探照灯，所述探照灯设置于所述外壳的外壁，且所述探照灯为黄光灯。其有益效果在于：探照灯既能在取出晶圆时提供照明，又能防止对晶圆造成影响。
14、优选的，所述晶圆转运装置还包括真空控制阀和真空吸附开关按钮，所述真空控制阀设置于所述真空管路，所述真空吸附开关按钮与所述真空控制阀连接以控制所述真空控制阀的开闭。其有益效果在于：所述晶圆转运装置在不使用时可以通过真空吸附开关按钮关闭真空供应，节省了能耗，延长了晶圆转运装置的使用寿命。
15、优选的，所述晶圆转运装置还包括外壳和防滑手胶，所述防滑手胶套设于至少部分所述外壳的外壁。其有益效果在于：方便操作人员通过防滑手胶握持所述晶圆转运装置进行晶圆取放和转移，有利于稳定取放和转移晶圆。
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1.一种晶圆转运装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆转运装置，其特征在于，所述伸缩组件还包括操作组件，所述第一伸缩件为传动杆，所述第二伸缩件为从动杆，所述操作组件与所述传动杆连接以控制所述传动杆转动，所述传动杆与所述从动杆螺纹连接，使所述从动杆随所述传动杆转动而转动以实现朝向或远离所述吸附臂方向运动。
3.根据权利要求2所述的晶圆转运装置，其特征在于，所述操作组件包括把手件、主动轮和从动轮，所述把手件与所述主动轮固定连接，所述主动轮和所述从动轮啮合，所述从动轮与所述传动杆固定连接。
4.根据权利要求1所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括缓冲件，所述缓冲件一端与所述吸附臂固定连接，另一端与所述第二伸缩件连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括限位件，所述限位件为中空结构，所述缓冲件活动贯穿于所述限位件，且所述限位件朝向所述吸附臂的一端设有对所述吸附臂进行限位的第一限位部，所述限位件朝向所述伸缩组件的一端设有对所述第二伸缩件进行限位的第二限位部。
6.根据权利要求2所述的晶圆转运装
7.根据权利要求6所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括真空过滤器，所述真空过滤器设置于所述真空管路，且所述真空过滤器与所述真空管路可拆卸连接。
8.根据权利要求6所述的晶圆转运装置，其特征在于，所述晶圆吸附部设有若干与所述真空管路连通的通孔，且所述通孔的表面设有垫圈。
9.根据权利要求6所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括外壳，所述连接杆、所述传动杆、所述从动杆均为中空结构且活动设置于所述外壳的腔体内，所述真空管路依次贯穿所述外壳、所述传动杆、所述从动杆和所述连接杆设置。
10.根据权利要求4所述的晶圆转运装置，其特征在于，所述缓冲件为弹簧。
11.根据权利要求1所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括外壳和探照灯，所述探照灯设置于所述外壳的外壁，且所述探照灯为黄光灯。
12.根据权利要求6所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括真空控制阀和真空吸附开关按钮，所述真空控制阀设置于所述真空管路，所述真空吸附开关按钮与所述真空控制阀连接以控制所述真空控制阀的开闭。
13.根据权利要求1所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括外壳和防滑手胶，所述防滑手胶套设于至少部分所述外壳。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆转运装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆转运装置，其特征在于，所述伸缩组件还包括操作组件，所述第一伸缩件为传动杆，所述第二伸缩件为从动杆，所述操作组件与所述传动杆连接以控制所述传动杆转动，所述传动杆与所述从动杆螺纹连接，使所述从动杆随所述传动杆转动而转动以实现朝向或远离所述吸附臂方向运动。
3.根据权利要求2所述的晶圆转运装置，其特征在于，所述操作组件包括把手件、主动轮和从动轮，所述把手件与所述主动轮固定连接，所述主动轮和所述从动轮啮合，所述从动轮与所述传动杆固定连接。
4.根据权利要求1所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括缓冲件，所述缓冲件一端与所述吸附臂固定连接，另一端与所述第二伸缩件连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括限位件，所述限位件为中空结构，所述缓冲件活动贯穿于所述限位件，且所述限位件朝向所述吸附臂的一端设有对所述吸附臂进行限位的第一限位部，所述限位件朝向所述伸缩组件的一端设有对所述第二伸缩件进行限位的第二限位部。
6.根据权利要求2所述的晶圆转运装置，其特征在于，还包括真空管路，所述吸附臂包括晶圆吸附部和连接杆，所述连接杆为中空结构，所述真空管路贯穿设置于所述连接杆并与...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，王润冬，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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