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本技术提供了一种晶圆转运装置，包括吸附臂和伸缩组件，所述吸附臂用于吸附晶圆；所述伸缩组件包括活动连接的第一伸缩件和第二伸缩件，所述第二伸缩件与所述吸附臂连接，所述第二伸缩件相对所述第一伸缩件朝向或远离所述吸附臂方向运动，以带动所述吸附臂伸长...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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