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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及x射线探测器成像领域,特别是涉及一种图像分界处的处理方法及装置。
技术介绍
1、x射线数字成像是对工件质量进行检测的一种常规无损检测技术。在tdi(timedelay integration,tdi)探测器实际应用中,由于检测物体积大或检测物需放大一定比例,导致探测器的检测宽度不足,因此需要通过晶圆拼接来增加探测器的检测范围,但晶圆拼接后会导致图像分界。针对这一问题,一般采用多项式函数拟合图像分界处的灰度差异,然后根据拟合参数对待校正图像进行校正,但对于tdi探测器图像分界的校正效果不够理想。主要原因在于:
2、(1)tdi探测器的图像是连续的,校正后会出现图像帧与帧之间分界;
3、(2)若图像分界处左右或上下的灰度差异是渐变的(不是整体上的灰度差异),会导致校正效果不加;
4、(3)分界处图像背景与物体的过渡区域,校正后仍有分界现象;
5、(4)tdi探测器检测速度很快,对算法速度要求高。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点,本专利技术的目的在于提供一种图像分界处的处理方法及装置,用于解决现有技术中由于晶圆拼接导致tdi探测器的图像出现分界现象的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的,本专利技术提供一种图像分界处的处理方法,至少包括如下步骤:
3、获取tdi探测器的原始图像,并对初始图像进行处理得到图像分界处的参数信息;
4、根据图像分界处的参数信息得到图像分界处的初始补
5、对所述初始补偿值进行处理得到更新补偿值;
6、对初始图像中帧与帧之间的更新补偿值进行处理得到校正补偿值;
7、基于校正补偿值对初始图像进行处理得到校正图像。
8、可选地,所述参数信息包括灰度差和梯度。
9、可选地,对初始图像进行处理得到图像分界处的参数信息包括:
10、获取晶圆分界处两侧的灰度值和梯度变化;
11、根据晶圆分界处两侧的灰度值确定初始图像中图像分界处的灰度差;
12、根据晶圆分界处的梯度变化确定初始图像中图像分界处的梯度。
13、可选地,所述梯度变化为相邻列的差值。
14、可选地,根据图像分界处的灰度差和图像分界处的梯度计算得到图像分界处的初始补偿值。
15、可选地,对所述初始补偿值进行处理得到更新补偿值的过程包括:
16、首先,对所述初始补偿值中的异常值进行剔除得到中间补偿值;
17、然后,对所述中间补偿值进行滤波处理得到更新补偿值。
18、可选地,对初始图像中帧与帧之间的更新补偿值进行处理得到校正补偿值的过程为:对初始图像中帧与帧之间的更新补偿值做重叠处理;并重叠处理后进行权重处理得到校正补偿值。
19、可选地,基于校正补偿值对初始图像的图像分界处灰度进行补偿处理得到校正图像。
20、为实现上述目的及其他相关目的,本专利技术还提供一种图像分界处的处理装置,包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的程序,所述处理器执行所述程序时,实现上述的图像分界处的处理方法的步骤。
21、如上所述,本专利技术的一种图像分界处的处理方法及装置,具有以下有益效果:
22、本专利技术提出的一种图像分界处的处理方法及装置,至少包括如下步骤:获取tdi探测器的原始图像,并对初始图像进行处理得到图像分界处的参数信息;根据图像分界处的参数信息得到图像分界处的初始补偿值;对所述初始补偿值进行处理得到更新补偿值;对初始图像中帧与帧之间的更新补偿值进行处理得到校正补偿值;基于校正补偿值对初始图像进行处理得到校正图像。本专利技术能够减小甚至消除晶圆拼接导致的图像分界现象。
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1.一种图像分界处的处理方法,其特征在于,至少包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,所述参数信息包括灰度差和梯度。
3.根据权利要求2所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,对初始图像进行处理得到图像分界处的参数信息包括:
4.根据权利要求3所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,所述梯度变化为相邻列的差值。
5.根据权利要求3所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,根据图像分界处的灰度差和图像分界处的梯度计算得到图像分界处的初始补偿值。
6.根据权利要求5所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,对所述初始补偿值进行处理得到更新补偿值的过程包括:
7.根据权利要求6所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,对初始图像中帧与帧之间的更新补偿值进行处理得到校正补偿值的过程为:对初始图像中帧与帧之间的更新补偿值做重叠处理;并重叠处理后进行权重处理得到校正补偿值。
8.根据权利要求7所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,基于校正补偿值对初始图像的图像分界处灰度进行补偿处
9.一种图像分界处的处理装置,其特征在于,包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的程序,所述处理器执行所述程序时,实现权利要求1-8任一项所述的图像分界处的处理方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种图像分界处的处理方法,其特征在于,至少包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,所述参数信息包括灰度差和梯度。
3.根据权利要求2所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,对初始图像进行处理得到图像分界处的参数信息包括:
4.根据权利要求3所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,所述梯度变化为相邻列的差值。
5.根据权利要求3所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,根据图像分界处的灰度差和图像分界处的梯度计算得到图像分界处的初始补偿值。
6.根据权利要求5所述的图像分界处的处理方法,其特征在于,对所述初始补...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾晓东,林言成,华永祥,张楠,
申请(专利权)人:上海奕瑞光电子科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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