【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及旋转溅射靶材的焊接加工方法，具体为一种溅射靶材焊接加工设备及方法。
技术介绍
1、旋转溅射靶材是在溅射镀膜过程中使用的一种装置，其设计目的是为了在真空环境中以较高效率和均匀性沉积薄膜。与传统的平面靶材相比，旋转靶材提供了一些独特的优势。
2、在旋转溅射镀膜系统中，靶材是圆柱形而不是平板形状，并且在溅射过程中持续旋转。这样，离子源可以连续轰击靶材的一个较大表面区域，从而增加溅射材料的利用率，并且因为材料是从一个形状更为统一的源头沉积的，因此沉积的膜也会更均匀。
3、而在旋转溅射靶材成型过程中，粉末冶金方式又是常用的成型方式，粉末冶金方式是指将材料粉末通过高压压制成型，接着在特定的温度下进行烧结，以形成致密的圆柱体。
4、对于粉末冶金方式成型旋转溅射靶材，中国船舶重工集团公司第七二五研究所于2018年03月21日申请了申请号为201810236095.5的专利技术专利(下称对比文献一)，该专利中公开了一种旋转靶材的等静压成型模具，包括弹性外模、刚性内模和端塞，刚性内模设置在弹性外模内腔中，弹...
【技术保护点】
1.一种溅射靶材焊接加工设备，包括同轴设置的弹性外模(1)与刚性内模(2)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
7.根据权利要求5所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
8.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材焊接加工设备，包括同轴设置的弹性外模(1)与刚性内模(2)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
【专利技术属性】
技术研发人员：吕培聪，黄天乐，董利达，
申请(专利权)人：光微半导体材料宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：
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