【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及旋转溅射靶材的焊接加工方法，具体为一种溅射靶材焊接加工设备及方法。
技术介绍
1、旋转溅射靶材是在溅射镀膜过程中使用的一种装置，其设计目的是为了在真空环境中以较高效率和均匀性沉积薄膜。与传统的平面靶材相比，旋转靶材提供了一些独特的优势。
2、在旋转溅射镀膜系统中，靶材是圆柱形而不是平板形状，并且在溅射过程中持续旋转。这样，离子源可以连续轰击靶材的一个较大表面区域，从而增加溅射材料的利用率，并且因为材料是从一个形状更为统一的源头沉积的，因此沉积的膜也会更均匀。
3、而在旋转溅射靶材成型过程中，粉末冶金方式又是常用的成型方式，粉末冶金方式是指将材料粉末通过高压压制成型，接着在特定的温度下进行烧结，以形成致密的圆柱体。
4、对于粉末冶金方式成型旋转溅射靶材，中国船舶重工集团公司第七二五研究所于2018年03月21日申请了申请号为201810236095.5的专利技术专利(下称对比文献一)，该专利中公开了一种旋转靶材的等静压成型模具，包括弹性外模、刚性内模和端塞，刚性内模设置在弹性外模内腔中，弹性外模与刚性内模之间管形模腔的两端分别设有端塞，端塞朝向管形模腔的一侧与待成型粉料之间设有能够随弹性外模收缩形变而与待成型粉料一起被径向压缩的塑性过渡层，塑性过渡层与端塞相接的一面为圆锥形凹面，端塞上设有与圆锥形凹面配合相接的锥形凸起。通过塑性过渡层解决了喇叭状形变和密度不均问题；刚性支撑套和定位装置使粉料填充更均匀，圆弧状金属夹板和柔性层相结合使弹性夹持装置始终紧紧包裹管状素坯，使管状素坯形状规
5、此外，先导薄膜材料有限公司于2022年08月12日申请了申请号为202210969566.x的专利技术专利(下称对比文献二)，具体公开了一种旋转靶材成型模具及旋转靶材的成型方法，该旋转靶材成型模具包括弹性外筒体，所述弹性外筒体的内部设置有刚性模芯；所述刚性模芯的顶部设置有第一弹性封堵组件，所述刚性模芯的底部设置有第二弹性封堵组件，所述第一弹性封堵组件和第二封堵组件结构相同；所述弹性外筒体上设置有切换机构。
6、虽然，上述的两种专利技术专利均分别给出了一种用于针对旋转溅射靶材加工用的成型模具，但是对于上述提及的对此文献一，在完成旋转溅射靶材的成型粉料的装填后，需要将外侧的刚性支撑套拆卸更换弹性夹持装置，在等静压过程中，维持弹性外模的收缩，保持旋转溅射靶材形状的规则，整个过程操作十分的繁琐。
7、而对于上述提及的对此文献二，虽然无需进行拆卸更换，但是在等静压过程中，滑动支撑机构无法进行收缩，维持对弹性外模的限位支撑，很难保证旋转溅射靶材形状的规则。
8、因此，针对于上述的技术方案，本申请希望能够提出一种不用更换刚性支撑套，就能在等静压过程中，维持对弹性外模的收缩支撑，简化操作，保持成型旋转溅射靶材形状的规则。
技术实现思路
1、针对以上问题，本专利技术提供了一种溅射靶材焊接加工设备及方法，通过在弹性外模的外侧壁向外依次排列有与该弹性外模同轴设置的收缩模、等静压模及刚性支撑模，利用刚性支撑模在填充成型份料时，对弹性外模进行支撑，而在等静压时，利用收缩模对弹性外模进行限位支撑，而等静压模则用于对弹性外模施加等静压，并且等静压模对收缩模的均匀收缩进行限位，还对收缩模的刚性进行补充，维持旋转溅射靶材形状的规则。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种溅射靶材焊接加工设备，包括同轴设置的弹性外模与刚性内模，所述弹性外模与所述刚性内模之间形成容纳待成型粉料的管形模腔，该管形模腔的两端通过密封塞进行密封；
4、围绕所述弹性外模的外侧壁向外依次排列有与该弹性外模同轴设置的收缩模、等静压模及刚性支撑模，所述弹性外模、收缩模、等静压模及刚性支撑模均置于支撑座上；
5、所述收缩模为带状可收缩结构，且该收缩模围绕所述弹性外模同轴收缩；
6、所述等静压模围绕所述收缩模设置，该等静压模为可膨胀收缩的囊状结构，且该等静压模内充入等静压介质膨胀后，挤压所述弹性外模收缩；
7、所述刚性支撑模围绕所述等静压模设置，所述管形模腔填充待成型粉料时，所述刚性支撑模对所述弹性外模提供刚性支撑限位。
8、弹性外模是模具的包套，在等静压过程中收缩以压实粉料，其材质通常为氯丁橡胶、聚氨酯、硅橡胶、聚氯乙烯中的任意一种，而刚性支撑模用于形成管状旋转靶材的中心孔，其材质较硬，通常为金属材质，密封塞的邵氏硬度应大于50度，其材质通常为氯丁橡胶、聚氨酯、硅橡胶、聚氯乙烯中的任意一种，可以很好的保证密封效果。
9、作为改进，所述收缩模包括带体及连接头；
10、所述带体为钛合金材料、碳纤维材料或peek材料中的任一种，该带体的一端与所述连接头固定连接，且该带体的另一活动端部穿过所述连接头设置；
11、所述连接头呈刚性设置，该连接头的中部开设有贯穿的卡口，所示带体的活动端部穿过所述卡口设置。
12、钛合金材料、碳纤维材料或peek材料均是即具有韧性又具有刚性的材料，因此，带体可以具备弯曲环绕收缩的特性，可以随弹性外模同步进行收缩，同时带体自身又具备很强的刚性，不会发生变形，可以很好的维持对弹性外模的支撑。
13、作为改进，所述带体的活动端部设置有与该活动端部垂直设置的限位部。
14、限位部用于带动带体进行拉动，使得带体进行收缩，而连接头则用于对带体进行限位，保持带体环状的规则。
15、作为改进，所述等静压模包括囊体及翻边；
16、所述囊体呈开口的圆环形设置，该囊体的环向开口处两端分别设置有进口，且该囊体的内部中空设置有用于填充等静压介质的填充腔；
17、所述翻边设置于对应的所述进口处，该翻边位于所述进口靠近所述刚性支撑模的一侧，且该翻边连接所述进口与所述刚性支撑模，所述翻边弹性伸缩设置。
18、囊体采用具有膨胀收缩性且耐高温的硅橡胶制备，囊体内充入等静压介质后，囊体就会膨胀，对弹性外模进行挤压，而翻边则用于拉动，打开囊体的进口，便于等静压介质的快速进入。
19、作为改进，所述刚性支撑模包括固定支撑环及活动块；
20、所述固定支撑环呈开口的圆环形设置，该固定支撑环的开口部位与所述囊体的开口部位正对；
21、所述活动块设置于所述固定支撑环的开口处，该活动块与所述固定支撑环拼接形成完整的支撑环，且该活动块与所述翻边连接设置，所述活动块沿所述带体的活动端部活动设置。
22、刚性支撑模采用刚性的金属材料制备，固定支撑环及活动块拼接组装形成刚性支撑模，刚性支撑模对弹性外模进行限位支撑时，等静压模被挤压呈扁平状，刚性支撑模、等静压模、收缩模及弹性外模完全重叠。
23、作为改进，所述刚性支撑模的外部套设有介质筒，该介质筒与所述刚性支撑模之间形成介质腔，介质本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种溅射靶材焊接加工设备，包括同轴设置的弹性外模(1)与刚性内模(2)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
7.根据权利要求5所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
8.根据权利要求5所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
9.根据权利要求1所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
10.一种基于权利要求1-9任一项所述的溅射靶材焊接加工设备的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材焊接加工设备，包括同轴设置的弹性外模(1)与刚性内模(2)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材焊接加工设备，其特征在于：
【专利技术属性】
技术研发人员：吕培聪，黄天乐，董利达，
申请(专利权)人：光微半导体材料宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：
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