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本发明涉及旋转溅射靶材的焊接加工方法技术领域，具体为一种溅射靶材焊接加工设备及方法，包括同轴设置的弹性外模与刚性内模，弹性外模与刚性内模之间形成容纳待成型粉料的管形模腔，围绕弹性外模的外侧壁向外依次排列有与该弹性外模同轴设置的收缩模、等静压...
该专利属于光微半导体材料（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光微半导体材料（宁波）有限公司授权不得商用。

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