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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于探针测试的固定定位平台。
技术介绍
1、探针卡是一种测试接口工具,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号对芯片参数进行测试。
2、测试时,将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块接触,引出芯片讯号,再配合测试仪器与软件控制达到向芯片写入程序和读出数据,进而判断芯片良率的目的。
3、对于垂直探针卡,测试时探针需要上下移动,如果移动时发生位置横向偏移,造成探针偏离对准位置,则容易使探针碰撞裸芯而损坏,因此需要对探针的移动轨迹进行定位,如果采用常见的轨道或直线驱动设备限定探针的移动轨迹,则定位误差较大。例如,在申请号2019224294700的技术专利《一种探针测试治具》中,利用压块高度沿定位柱移动对探针的移动轨迹进行定位,不仅存在误差较大的问题,而且定位柱难以随待测物的移动进行移动,导致难以对移动型载物台进行定位,限制了该探针测试治具的适用范围。
技术实现思路
1、针对上述问题,本专利技术设计了一种用于探针测试的固定定位平台,以期克服现有技术中探针移动时定位功能较差而容易导致探针损坏的缺陷。
2、本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题:
3、一种用于探针测试的固定定位平台,包括支撑框架和载物平台,所述载物平台能够在支撑框架内滑动,所述用于探针测试的固定定位平台还包括:调节机构,所述调节机构包括调节组件、固定组件、锁紧组件和限位组件,所述调节机构用于对载物平台的位置进行调节、固定;
4、
5、中心轴和测试动力组件,所述测试动力组件安装于支撑框架顶部,所述中心轴设置于测试动力组件下方,所述中心轴用于安装探针,所述测试动力组件用于对探针进行移动,完成探针测试;
6、转动组件,所述转动组件与中心轴和测试动力组件连接,所述转动组件用于转动中心轴,调节中心轴的角度。
7、上述的用于探针测试的固定定位平台,所述调节组件包括下移动柱,所述载物平台两侧均设置有下移动柱,所述下移动柱远离载物平台的一端连接有移动齿条,所述移动齿条设置于支撑框架开设的安装腔内;
8、所述载物平台两侧均固接有上移动柱,所述支撑框架内侧开设有移动槽,所述上移动柱在移动槽内移动。
9、上述的用于探针测试的固定定位平台,所述固定组件包括两个固定齿条,两个所述固定齿条分别设置于支撑框架的安装腔内,两个所述固定齿条上方均设置有偏心轮,所述偏心轮两侧均设置有复位弹簧;
10、所述复位弹簧一端与固定齿条固接,所述复位弹簧另一端与固定齿条内壁连接;
11、其中一个所述偏心轮一端与转动手柄连接,所述转动手柄与支撑框架侧面转动连接;
12、两个所述偏心轮一端均与传动组件连接。
13、所述传动组件包括安装壳体,所述安装壳体安装于支撑框架外侧,所述安装壳体内腔处设置有两个对称分布的传动链轮,两个所述传动链轮通过传动链条传动连接;
14、所述传动链轮侧面与传动链条啮合连接;
15、两个所述传动链条分别连接于两个所述偏心轮一端;
16、其中一个所述传动链轮一侧设置有锁紧组件。
17、所述锁紧组件包括锁紧螺柱,所述锁紧螺柱两端均连接有固定板,两个所述固定板分别安装于安装壳体外侧,所述锁紧螺柱表面滑动连接有滑动板,所述滑动板一端连接有连接弹簧,所述连接弹簧远离滑动板的一端与固定板连接;
18、所述滑动板远离连接弹簧的一侧设置有锁紧螺母,所述锁紧螺母与锁紧螺柱螺纹连接;
19、所述滑动板一侧固接有滑动柱,所述滑动柱远离滑动板的一端固接有锁紧齿条板,所述锁紧齿条板与传动链轮卡合连接;
20、所述连接弹簧套设于锁紧螺柱外侧;
21、所述滑动柱与安装壳体侧面贯穿连接。
22、上述的用于探针测试的固定定位平台,所述限位组件包括单向螺纹柱,所述单向螺纹柱与支撑框架侧面转动连接,所述单向螺纹柱表面螺纹连接有指示板,所述支撑框架靠近指示板两端的内侧均设置有刻度线;
23、所述支撑框架内侧固接有多个限位柱,所述限位柱与指示板贯穿连接。
24、上述的用于探针测试的固定定位平台,所述报警定位组件包括安装板、光源发射端、光源接收端和报警灯,所述载物平台顶部固接有两个对称分布的安装板,所述安装板顶部安装有光源发射端,所述转动组件底部安装有多个光源接收端,所述转动组件侧面安装有报警灯;
25、所述光源发射端、光源接收端和报警灯电性连接。
26、上述的用于探针测试的固定定位平台,所述测试动力组件包括支撑柱,所述支撑框架顶部固接有多个支撑柱,多个所述支撑柱顶端与支撑顶板底部连接,所述支撑顶板底部安装有液压升降缸,所述液压升降缸底端与转动组件顶部连接,所述转动组件内侧安装有中心轴;
27、所述转动组件包括固定框和转动电机,所述固定框的截面呈倒u型结构,所述固定框一侧固接有转动电机,所述转动电机的输出端与中心轴连接,所述中心轴端面与转动电机侧面转动连接。
28、上述的用于探针测试的固定定位平台,所述中心轴外侧安装有多个拆装组件,所述拆装组件包括拆装壳体,所述中心轴外侧设置有多个拆装壳体,所述拆装壳体内侧转动连接有双向螺纹柱,所述双向螺纹柱表面螺纹连接有两个对称分布的调节板,所述调节板靠近中心轴的一侧固接有l型板,所述中心轴开设有多个t型安装槽,所述l型板设置于t型安装槽内,所述拆装壳体通过l型板与中心轴连接;
29、所述双向螺纹柱一端螺纹连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮侧面啮合连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮顶部固接转动轴,所述转动轴与拆装壳体远离中心轴的一侧贯穿连接;
30、所述转动轴远离第二锥齿轮的一端开设有异形凹槽;
31、所述拆装壳体内壁固接有多个定位柱,所述定位柱与调节板贯穿连接;
32、所述拆装壳体远离中心轴的一侧安装有多个探针组。
33、所述中心轴外侧设置有防护组件,所述防护组件包括安装柱,所述安装柱两端分别与固定框贯穿连接,所述安装柱两端分别固接有防脱板,所述安装柱侧面固接有防护罩带;
34、所述防护罩带两端均与安装柱固接;
35、所述固定框开设有倒u型轨道口,所述轨道口上部位置开设有两个对称分布的半圆孔,所述半圆孔的直径大于安装柱的直径。
36、本专利技术的有益效果在于:报警定位组件可以随载物平台移动,使报警定位组件可以适应载物平台的移动,且在探针测试时利用报警定位组件可以对探针的移动轨迹进行定位,当探针的移动轨迹发生偏移时进行报警,避免探针因外置偏移发生碰撞而导致被撞断,从而增加探针的使用寿命,降低探针测试时探针的使用成本,同时降低探针测试仪器停机维护的概率。
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1.一种用于探针测试的固定定位平台,包括支撑框架(1)和载物平台(2),所述载物平台(2)能够在支撑框架(1)内滑动,其特征在于,所述用于探针测试的固定定位平台还包括:调节机构,所述调节机构包括调节组件(3)、固定组件(4)、锁紧组件(5)和限位组件(6),所述调节机构用于对载物平台(2)的位置进行调节、固定;
2.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述调节组件(3)包括下移动柱(31),所述载物平台(2)两侧均设置有下移动柱(31),所述下移动柱(31)远离载物平台(2)的一端连接有移动齿条(32),所述移动齿条(32)设置于支撑框架(1)开设的安装腔内;
3.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述固定组件(4)包括两个固定齿条(41),两个所述固定齿条(41)分别设置于支撑框架(1)的安装腔内,两个所述固定齿条(41)上方均设置有偏心轮(42),所述偏心轮(42)两侧均设置有复位弹簧(43);
4.如权利要求3所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述传动组件(45)包括安装壳体(45
5.如权利要求4所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述锁紧组件(5)包括锁紧螺柱(51),所述锁紧螺柱(51)两端均连接有固定板(52),两个所述固定板(52)分别安装于安装壳体(451)外侧,所述锁紧螺柱(51)表面滑动连接有滑动板(53),所述滑动板(53)一端连接有连接弹簧(54),所述连接弹簧(54)远离滑动板(53)的一端与固定板(52)连接;
6.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述限位组件(6)包括单向螺纹柱(61),所述单向螺纹柱(61)与支撑框架(1)侧面转动连接,所述单向螺纹柱(61)表面螺纹连接有指示板(62),所述支撑框架(1)靠近指示板(62)两端的内侧均设置有刻度线(63);
7.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述报警定位组件(7)包括安装板(71)、光源发射端(72)、光源接收端(73)和报警灯(74),所述载物平台(2)顶部固接有两个对称分布的安装板(71),所述安装板(71)顶部安装有光源发射端(72),所述转动组件(10)底部安装有多个光源接收端(73),所述转动组件(10)侧面安装有报警灯(74);
8.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述测试动力组件(9)包括支撑柱(91),所述支撑框架(1)顶部固接有多个支撑柱(91),多个所述支撑柱(91)顶端与支撑顶板(92)底部连接,所述支撑顶板(92)底部安装有液压升降缸(93),所述液压升降缸(93)底端与转动组件(10)顶部连接,所述转动组件(10)内侧安装有中心轴(8);
9.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述中心轴(8)外侧安装有多个拆装组件(11),所述拆装组件(11)包括拆装壳体(111),所述中心轴(8)外侧设置有多个拆装壳体(111),所述拆装壳体(111)内侧转动连接有双向螺纹柱(112),所述双向螺纹柱(112)表面螺纹连接有两个对称分布的调节板(113),所述调节板(113)靠近中心轴(8)的一侧固接有L型板(114),所述中心轴(8)开设有多个T型安装槽,所述L型板(114)设置于T型安装槽内,所述拆装壳体(111)通过L型板(114)与中心轴(8)连接;
10.如权利要求9所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述中心轴(8)外侧设置有防护组件(12),所述防护组件(12)包括安装柱(121),所述安装柱(121)两端分别与固定框(101)贯穿连接,所述安装柱(121)两端分别固接有防脱板(122),所述安装柱(121)侧面固接有防护罩带(123);
...【技术特征摘要】
1.一种用于探针测试的固定定位平台,包括支撑框架(1)和载物平台(2),所述载物平台(2)能够在支撑框架(1)内滑动,其特征在于,所述用于探针测试的固定定位平台还包括:调节机构,所述调节机构包括调节组件(3)、固定组件(4)、锁紧组件(5)和限位组件(6),所述调节机构用于对载物平台(2)的位置进行调节、固定;
2.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述调节组件(3)包括下移动柱(31),所述载物平台(2)两侧均设置有下移动柱(31),所述下移动柱(31)远离载物平台(2)的一端连接有移动齿条(32),所述移动齿条(32)设置于支撑框架(1)开设的安装腔内;
3.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述固定组件(4)包括两个固定齿条(41),两个所述固定齿条(41)分别设置于支撑框架(1)的安装腔内,两个所述固定齿条(41)上方均设置有偏心轮(42),所述偏心轮(42)两侧均设置有复位弹簧(43);
4.如权利要求3所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述传动组件(45)包括安装壳体(451),所述安装壳体(451)安装于支撑框架(1)外侧,所述安装壳体(451)内腔处设置有两个对称分布的传动链轮(452),两个所述传动链轮(452)通过传动链条(453)传动连接;
5.如权利要求4所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述锁紧组件(5)包括锁紧螺柱(51),所述锁紧螺柱(51)两端均连接有固定板(52),两个所述固定板(52)分别安装于安装壳体(451)外侧,所述锁紧螺柱(51)表面滑动连接有滑动板(53),所述滑动板(53)一端连接有连接弹簧(54),所述连接弹簧(54)远离滑动板(53)的一端与固定板(52)连接;
6.如权利要求1所述的用于探针测试的固定定位平台,其特征在于,所述限位组件(6)包括单向螺纹柱(61),所述单向螺纹柱(61)与支撑框架(1)侧面转动连接,所述单向螺...
【专利技术属性】
技术研发人员:江波,
申请(专利权)人:苏州迪克微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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