光栅夹持工装及夹持方法技术

本发明专利技术提供一种光栅夹持工装及夹持方法，涉及光刻技术领域。该光栅夹持工装包括夹持组件，夹持组件包括基板，基板的板面沿X向相对的两侧区域均设有条形口，且各条形口均沿X向延伸；基板的第一板面设有调节部件，调节部件的调节端连接有连接臂，连接臂的夹持端设有夹持头，各连接臂一一对应穿过相应的条形口伸出基板的第二板面，夹持头配置为在调节部件的调节下朝向或背离目标光栅移动以卡入或脱离位于目标光栅侧壁的第一卡槽。该光栅夹持工装能够减少夹持及放置目标光栅的过程中对其造成的碰撞损坏，从而确保目标光栅的测量精度及使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻，尤其涉及一种光栅夹持工装及夹持方法。

技术介绍

1、光栅尺测量因其对环境影响不敏感，并且具有测量精度高、运行速度快的特点而广泛应用于光刻机中，其测量精确度直接影响了光刻机的关键尺寸、套刻精度等重要指标。

2、光栅尺使用过程中涉及安装、清洁处理等操作，现有技术一般使用夹持工装夹持光栅尺对其转运、定位等以进行上述操作，然而现有夹持工装夹持及放置光栅尺的过程中容易对其造成碰撞损坏，而影响光栅尺的测量精度及使用寿命。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种光栅夹持工装及夹持方法，以解决现有夹持工装夹持及放置光栅尺的过程中容易对其造成碰撞损坏，而影响光栅尺的测量精度及使用寿命的技术问题。

2、为解决上述问题，本专利技术提供一种光栅夹持工装，包括夹持组件，所述夹持组件包括基板，所述基板的板面沿x向相对的两侧区域均设有条形口，且各所述条形口均沿x向延伸；

3、所述基板的第一板面设有调节部件，所述调节部件的调节端连接有连接臂，所述连接臂的夹持端设有夹持头，各所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光栅夹持工装，其特征在于，包括夹持组件(10)，所述夹持组件(10)包括基板(100)，所述基板(100)的板面沿X向相对的两侧区域均设有条形口(110)，且各所述条形口(110)均沿X向延伸；

2.根据权利要求1所述的光栅夹持工装，其特征在于，所述光栅夹持工装还包括框内孔(410)匹配于目标光栅(20)的定位框座(400)，所述定位框座(400)的顶框面(420)沿X向相对的两侧区域均设有第一导向槽(421)，所述第一导向槽(421)均沿X向延伸，且所述第一导向槽(421)配置为与所述夹持头(320)一一对应配合滑接。

3.根据权利要求2所述的光栅夹持工...

【技术特征摘要】

1.一种光栅夹持工装，其特征在于，包括夹持组件(10)，所述夹持组件(10)包括基板(100)，所述基板(100)的板面沿x向相对的两侧区域均设有条形口(110)，且各所述条形口(110)均沿x向延伸；

2.根据权利要求1所述的光栅夹持工装，其特征在于，所述光栅夹持工装还包括框内孔(410)匹配于目标光栅(20)的定位框座(400)，所述定位框座(400)的顶框面(420)沿x向相对的两侧区域均设有第一导向槽(421)，所述第一导向槽(421)均沿x向延伸，且所述第一导向槽(421)配置为与所述夹持头(320)一一对应配合滑接。

3.根据权利要求2所述的光栅夹持工装，其特征在于，所述定位框座(400)包括第一半框(430)和第二半框(440)，所述第一半框(430)和所述第二半框(440)两者相向的侧端面中，其中一者的侧端面设有定位销(431)，另一者的侧端面设有插接孔(441)，所述定位销(431)配合插接于所述插接孔(441)。

4.根据权利要求2或3所述的光栅夹持工装，其特征在于，所述第一板面(120)设有把手(500)和多个分散排布的支腿(600)，且所述支腿(600)高于所述把手(500)。

5.根据权利要求4所述的光栅夹持工装，其特征在于，所述定位框座(400)的顶框面(420)沿y向相对的两侧区域均设有第二导向槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹凯，李冰，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：