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本发明提供一种光栅夹持工装及夹持方法，涉及光刻技术领域。该光栅夹持工装包括夹持组件，夹持组件包括基板，基板的板面沿X向相对的两侧区域均设有条形口，且各条形口均沿X向延伸；基板的第一板面设有调节部件，调节部件的调节端连接有连接臂，连接臂的夹持...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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