一种化学气相沉积设备制造技术

本技术涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积设备，反应箱的一侧设置有气体混合器，所述气体混合器的输出端固定安装有进气管，进气管与所述气体混合器连通，所述进气管的侧端固定安装有控制阀，反应箱的一侧固定安装有加热器，所述反应箱位于所述加热器的上方固定安装有温度控制器；所述反应箱的一侧固定安装有排气管，所述排气管的一侧固定安装有过滤箱，所述盖板与所述反应箱之间设置有锁紧结构。本技术所述的一种化学气相沉积设备，连接性强，便于对排出热气进行利用，节约资源，提高负极材料电化学性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气相沉积设备，具体为一种化学气相沉积设备。

技术介绍

1、化学气相沉积法是制备碳包覆复合材料的主要方法之一，它是通过将烃类等碳源气体通入沉积炉内，在高温下碳源气体发生热解，产生的热解碳在待包覆材料表面沉积，最终在待包覆材料表面形成包覆层，从而得到碳包覆复合材料，具有工艺简单、适用于规模化生产等特点。

2、目前的化学气相沉积炉及化学气相沉积设备，如公告号cn209522919u的专利所述，包括：炉体，进料口，出料口，进气口，出气口和设置于炉体内部的搅拌结构，所述原料仓与炉体之间的连接管路内设有输送装置及设置在该连接管路外部的用于驱动该输送装置运转的驱动装置；所述连接管路上设有控制阀，分别用于控制所述连接管路与所述原料仓之间的连通以及所述连接管路与所述炉体之间的连通。

技术实现思路

1、本申请的目的在于解决或至少缓解现有的化学气相沉积设备排出的尾气中含有大量的热气，如直接排放，造成资源浪费的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种化学气相沉积设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种化学气相沉积设备，包括反应箱（1），其特征在于：所述反应箱（1）的顶端设置有盖板（2），所述盖板（2）的上方设置有储料箱（3），所述储料箱（3）的底端固定安装有连通管（4），所述连通管（4）穿过所述盖板（2），并与所述反应箱（1）连通，所述反应箱（1）的一侧设置有气体混合器（5），所述气体混合器（5）的输出端固定安装有进气管（6），所述进气管（6）与所述气体混合器（5）连通，所述进气管（6）的侧端固定安装有控制阀（7），所述反应箱（1）的一侧固定安装有加热器（8），所述反应箱（1）位于所述加热器（8）的上方固定安装有温度控制器（9），所述储料箱（3）的底端固定安装有支撑块（10）...

【技术特征摘要】

1.一种化学气相沉积设备，包括反应箱（1），其特征在于：所述反应箱（1）的顶端设置有盖板（2），所述盖板（2）的上方设置有储料箱（3），所述储料箱（3）的底端固定安装有连通管（4），所述连通管（4）穿过所述盖板（2），并与所述反应箱（1）连通，所述反应箱（1）的一侧设置有气体混合器（5），所述气体混合器（5）的输出端固定安装有进气管（6），所述进气管（6）与所述气体混合器（5）连通，所述进气管（6）的侧端固定安装有控制阀（7），所述反应箱（1）的一侧固定安装有加热器（8），所述反应箱（1）位于所述加热器（8）的上方固定安装有温度控制器（9），所述储料箱（3）的底端固定安装有支撑块（10），所述反应箱（1）的一侧固定安装有排气管（11），所述排气管（11）的一侧固定安装有过滤箱（12），所述盖板（2）与所述反应箱（1）之间设置有锁紧结构（18）。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述锁紧结构（18）包括安装块（1801）、安装槽（1802）、容纳槽（1803）、伸缩杆（1804），所述安装块（1801）固定安装于所述盖板（2）的底端，所述安装槽（1802）开设于所述反应箱（1）的顶端，所述安装块（1801）与所述安装槽（1802）活动插接，所述容纳槽（1803）开设于所述安装块（1801）的一侧，所述伸缩杆（1804）固定安装于所述容纳槽（1803）内。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述锁紧结构（18）包括限位块（1805）、限位槽（1806）、放置槽（1807）、第二弹簧（1808）、活动块（1809）、插杆（1810）和第一弹簧（1811），所述限位块（1805）与所述伸缩杆（1804）固定连接，所述第一弹簧（1811）套设在所述伸缩杆（1804）外，所述第一弹簧（1811）与所述限位块（1805）固定连接，所述限位槽（1806）开设于所述反应箱（1）的两侧，所述限位块（1805）与所述限位槽（...

【专利技术属性】
技术研发人员：李敏锋，杨宇乐，姜志忠，
申请(专利权)人：浙江维思通新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：