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本技术涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积设备，反应箱的一侧设置有气体混合器，所述气体混合器的输出端固定安装有进气管，进气管与所述气体混合器连通，所述进气管的侧端固定安装有控制阀，反应箱的一侧固定安装有加热器，所述反应箱位于所...
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