【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及计算机处理,具体而言,涉及一种点云数据处理方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、在tft-lcd产品生产过程中,cf生产中的ps(photo spacer),其作用是用来维持cf和tft的gap的柱子,向由这些形成的空间注入液晶。这些柱子高度需要进行控制。被测柱体在um级别。被测目标的检测精度需要控制在nm级别,测量过程中接触测量会影响产品质量,采用非接触测量的方式。
2、目前对半导体领域产品质量管控,采用白光干涉检测方式。测量工件的高度,以监测生产工艺中的质量问题。白光干涉仪扫描工件时,x、y轴方向,在步进机构驱动下,形成可控分辨率网格采样点云数据。
3、但现有的tft-lcd产品质量检测方式直接在点云数据的基础上进行高度测量,然后将处于预设高度范围内的连通域均视为目标测量区域,这样的高度测量由于点云数据的噪声、周边环境的影响等因素,存在测量结果不精确的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请实施例的目的在于提供一种点云数据处理方法、装置
...【技术保护点】
1.一种点云数据处理方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S2包括:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3包括:
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,将所述待检图像中,数量最多的所述像素值对应的像素点作为第二目标像素点,所述第二目标像素点对应的所述三维点的所述高度值作为目标高度值,根据所述目标高度值,通过预设图像重构策略,对所述待检图像进行图像重构,得到重构后的待检图像,包括:
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,根据所述第一参考子区域和所述第二参考子区
...【技术特征摘要】
1.一种点云数据处理方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤s2包括:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤s3包括:
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,将所述待检图像中,数量最多的所述像素值对应的像素点作为第二目标像素点,所述第二目标像素点对应的所述三维点的所述高度值作为目标高度值,根据所述目标高度值,通过预设图像重构策略,对所述待检图像进行图像重构,得到重构后的待检图像,包括:
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,根据所述第一参考子区域和所述第二参考子区域中的每个像素点对应的高度值,确定所述待检测目标在所述第一参考子区域的一侧、与所述第二参考子区域所在的另一侧的高度差,并根据所述高度差矫正所述重构后的待检图像,得到...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘永丰,刘欣,王爽,
申请(专利权)人:北京兆维智能装备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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