【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体设备，特别是涉及一种基板处理装置、基板转移组件及过滤器。
技术介绍
1、随着半导体技术的发展，半导体工艺机台的种类也越来越多。半导体工艺机台通常是通过机械臂完成基板的运送工作。其中，机械臂大多采用真空吸附的方式来吸附基板并将基板运送至预设工位，机械臂设有负压通道，并通过负压通道与抽气管路连通。抽气管路工作时，便能实现机械臂的负压吸附功能；抽气管路停止工作时，机械臂相应松开基板。
2、相关技术中，机械臂在使用一段时间后，抽气管路容易发生堵塞或者腐蚀缺陷，从而需要对半导体工艺机台进行停机检查，甚至需要对整个机台进行拆卸，因此会导致半导体工艺机台的停机时间过长，进而导致生产效率的下降。
技术实现思路
1、基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种基板处理装置、基板转移组件及过滤器，它能够有效防止抽气管路的堵塞与腐蚀缺陷，从而能提高生产效率。
2、一种过滤器，所述过滤器用于设置于机械臂与抽气管路之间，所述过滤器包括：
3、过滤主体，用于过滤掉由所述机械臂抽送至所述抽气管路的气体中的溶液，所述过滤主体设有第一连接部与第二连接部，所述第一连接部用于与所述机械臂连通，所述第二连接部用于与所述抽气管路连通。
4、在其中一个实施例中，所述过滤主体包括气液分离件，所述气液分离件设置于所述第一连接部与所述第二连接部之间的气流通路中。
5、在其中一个实施例中，所述过滤主体还包括颗粒过滤件，所述颗粒过滤件与所述气液分离件沿抽气方向依
6、在其中一个实施例中，所述气液分离件包括透析膜、过滤网、过滤棉中的至少一种；和/或，所述颗粒过滤件包括过滤膜、过滤网、过滤棉、活性炭层中的至少一种。
7、在其中一个实施例中，所述过滤主体还包括壳体；所述气液分离件设置于所述壳体内并将所述壳体的腔室分成排气空间与储液空间，所述排气空间位于所述储液空间的上方；所述第一连接部与所述储液空间连通，所述第二连接部与所述排气空间连通。
8、在其中一个实施例中，所述过滤主体还设有排液部，所述排液部用于排出所述过滤主体过滤的溶液；所述排液部与所述储液空间连通。
9、在其中一个实施例中，所述过滤器还包括单向阀；所述单向阀设置于所述壳体的内部，所述第一连接部与所述气液分离件均设置于所述单向阀的上侧，所述排液部位于所述单向阀的下侧。
10、在其中一个实施例中，所述过滤器还包括设置于所述排液部上的开关阀；所述开关阀设为开关控制阀。
11、在其中一个实施例中，所述过滤主体设有第三连接部，所述第三连接部用于与清洗液提供装置相连，所述第三连接部还与所述储液空间连通。
12、在其中一个实施例中，所述储液空间的底部设有口径沿液体流动方向逐渐减小的汇聚通道，所述汇聚通道与所述排液部连通。
13、一种基板转移组件，所述基板转移组件包括所述的过滤器，所述基板转移组件还包括机械臂与抽气管路，所述机械臂的一端用于吸附基板，所述机械臂的另一端与所述第一连接部连通，所述第二连接部与所述抽气管路连通。
14、一种基板处理装置，所述基板处理装置包括所述的基板转移组件，还包括抽气泵，所述抽气泵与所述抽气管路连通。
15、在其中一个实施例中，所述基板处理装置还包括清洗管路与设置于所述清洗管路上的水泵，所述过滤主体设有第三连接部，所述第三连接部与所述清洗管路连通。
16、在其中一个实施例中，所述基板处理装置还包括控制器；所述控制器分别与所述抽气泵、所述水泵电性连接。
17、上述的过滤器及基板转移组件，过滤器组装至机械臂与抽气管路之间后，过滤主体能过滤掉由机械臂抽送至抽气管路的气体中的溶液，从而能防止残留于基板表面上的溶液通过机械臂抽吸进入到抽气管路中，也就能有效防止抽气管路的堵塞与腐蚀缺陷，从而能提高生产效率。
18、上述的基板处理装置，抽气泵工作时，用于抽取机械臂的负压通道内的空气，以使得吸盘吸附晶圆。此外，带有溶液的气体通过负压通道进入到过滤主体内部，过滤主体能过滤掉由机械臂抽送至抽气管路的气体中的溶液，从而能防止残留于基板表面上的溶液通过机械臂抽吸进入到抽气管路中，也就能有效防止抽气管路的堵塞与腐蚀缺陷，从而能提高生产效率。
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1.一种过滤器，其特征在于，所述过滤器用于设置于机械臂与抽气管路之间，所述过滤器包括：
2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体包括气液分离件，所述气液分离件设置于所述第一连接部与所述第二连接部之间的气流通路中。
3.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体还包括颗粒过滤件，所述颗粒过滤件与所述气液分离件沿抽气方向依次布置于所述气流通路中。
4.根据权利要求3所述的过滤器，其特征在于，所述气液分离件包括透析膜、过滤网、过滤棉中的至少一种；和/或，所述颗粒过滤件包括过滤膜、过滤网、过滤棉、活性炭层中的至少一种。
5.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体还包括壳体；所述气液分离件设置于所述壳体内并将所述壳体的腔室分成排气空间与储液空间，所述排气空间位于所述储液空间的上方；所述第一连接部与所述储液空间连通，所述第二连接部与所述排气空间连通。
6.根据权利要求5所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体还设有排液部，所述排液部用于排出所述过滤主体过滤的溶液；所述排液部与所述储液空间连通。<...
【技术特征摘要】
1.一种过滤器，其特征在于，所述过滤器用于设置于机械臂与抽气管路之间，所述过滤器包括：
2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体包括气液分离件，所述气液分离件设置于所述第一连接部与所述第二连接部之间的气流通路中。
3.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体还包括颗粒过滤件，所述颗粒过滤件与所述气液分离件沿抽气方向依次布置于所述气流通路中。
4.根据权利要求3所述的过滤器，其特征在于，所述气液分离件包括透析膜、过滤网、过滤棉中的至少一种；和/或，所述颗粒过滤件包括过滤膜、过滤网、过滤棉、活性炭层中的至少一种。
5.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体还包括壳体；所述气液分离件设置于所述壳体内并将所述壳体的腔室分成排气空间与储液空间，所述排气空间位于所述储液空间的上方；所述第一连接部与所述储液空间连通，所述第二连接部与所述排气空间连通。
6.根据权利要求5所述的过滤器，其特征在于，所述过滤主体还设有排液部，所述排液部用于排出所述过滤主体过滤的溶液；所述排液部与所述储液空间连通。
7.根据权利要求6所述的过滤器，其特征在于，所述过滤器还包括单向阀；所述单向阀设置于所述壳体的内部，所述第一连接部与所述气液分离件均设置于所述单向阀的上侧，所述排液部位于所述单向...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨铭，
申请(专利权)人：湖北江城芯片中试服务有限公司，
类型：发明
国别省市：
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