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本申请涉及一种基板处理装置、基板转移组件及过滤器。过滤器用于设置于机械臂与抽气管路之间，过滤器包括过滤主体。过滤主体用于过滤掉由机械臂抽送至抽气管路的气体中的溶液，过滤主体设有第一连接部与第二连接部。第一连接部用于与机械臂连通，第二连接部用...
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