【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆传输设备领域，尤其涉及一种晶圆夹持装置。
技术介绍
1、随着在半导体芯片生产过程中，任何晶圆表面刮伤或缺陷都会对芯片质量产生很大影响，所以目前芯片生产设备机台内部晶圆传送基本都是依靠高精度机械设备，然而机械设备在使用过程中会因损耗、部分损坏等异常不能正常传送晶圆，晶圆在机台内部的安全自动传送就会中断而导致工程师需手动运输晶圆至安全区域，容易造成晶圆正反面放反、掉落或碰撞等问题，造成晶圆的异常。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种晶圆夹持装置，所述晶圆夹持装置取放晶圆快捷方便，并能进入高温、高危等区域，降低晶圆的异常率。
2、为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：
3、本申请提供一种晶圆夹持装置，包括：基座；
4、驱动组件，位于基座内；
5、滑动组件，位于基座内且与驱动组件连接；
6、推动组件，固定在滑动组件的一端；及
7、夹持组件，与基座连接，用于放置晶圆；
8、其中，驱动组件驱动滑动组件沿第一方向滑动，滑动组件带动推动组件沿第一方向移动，推动组件在滑动组件的作用下夹紧或释放晶圆。
9、在本申请一可选实施例中，滑动组件包括滑动件及滑道，滑道的至少部分固定在基座内且沿第一方向延伸，滑动件的两端分别与两个滑道滑动连接；
10、其中，推动组件与滑动件的一端固定连接。
11、在本申请一可选实施例中，滑动件包括滑动支架及丝杆，滑动支架的两端分别与两
12、在本申请一可选实施例中，滑动支架包括第一滑动杆、第二滑动杆和支撑杆，第一滑动杆的两端和第二滑动杆的两端分别与两个滑道滑动连接，第一滑动杆与第二滑动杆相对平行，支撑杆连接于第一滑动杆和第二滑动杆之间，其中，丝杆的一端沿第一方向穿过第一滑动杆，提供滑动件沿第一方向移动的力。
13、在本申请一可选实施例中，滑道上设有第一限位部和第二限位部，第一限位部位于第一滑动杆和第二滑动杆之间，用于限制滑动件沿第一方向滑动的距离；第二限位部位于第一滑动杆远离第二滑动杆的一端，用于限制滑动件沿第一方向相反方向滑动的距离。
14、在本申请一可选实施例中，推动组件与滑动件弹性连接。
15、在本申请一可选实施例中，推动组件包括弹性件、第一推杆和第二推杆，第一推杆的两端分别与两个滑道滑动连接，弹性件的两端分别连接第一推杆和第二滑动杆，第二推杆沿第一方向与第一推杆垂直连接，第二推杆能够在滑动组件的作用下夹紧或释放晶圆。
16、在本申请一可选实施例中，夹持组件包括放置部和夹持部，放置部的一端与基座连接，多个夹持部设于放置部的两端；其中，
17、夹持部远离放置部的一侧凸设有固定部，晶圆放置于夹持部上并抵接固定部，第二推杆在滑动组件的作用下协同固定部夹紧或释放晶圆。
18、在本申请一可选实施例中，一种晶圆夹持装置还包括：
19、控制组件，设于驱动组件远离推动组件的一端；控制组件包括控制器，控制器被配置为控制驱动组件的运动。
20、在本申请一可选实施例中，一种晶圆夹持装置还包括：
21、多个位置传感器，设于基座内，被配置为感应推动组件夹紧或释放晶圆时推动组件的位置。
22、本申请提供的晶圆夹持装置包括至少以下有益效果：所述晶圆夹持装置的驱动组件驱动滑动组件沿第一方向滑动，滑动组件带动推动组件沿第一方向移动，推动组件在滑动组件的作用下夹紧或释放晶圆，晶圆放置在夹持组件上，起到提高晶圆取放效率的作用，提高晶圆拿取的良率，该夹持组件能进入高温、高危等区域，降低人力成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆夹持装置，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑动组件包括滑动件及滑道，所述滑道的至少部分固定在所述基座内且沿所述第一方向延伸，所述滑动件的两端分别与两个所述滑道滑动连接；
3.如权利要求2所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑动件包括滑动支架及丝杆，所述滑动支架的两端分别与两个所述滑道滑动连接，所述丝杆的一端与所述驱动组件连接，另一端沿所述第一方向穿过部分所述滑动支架，所述驱动组件驱动所述丝杆旋转，所述丝杆带动所述滑动支架在所述滑道上移动。
4.如权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑动支架包括第一滑动杆、第二滑动杆和支撑杆，所述第一滑动杆的两端和所述第二滑动杆的两端分别与两个所述滑道滑动连接，所述第一滑动杆与所述第二滑动杆相对平行，所述支撑杆连接于所述第一滑动杆和所述第二滑动杆之间，其中，所述丝杆的一端沿所述第一方向穿过所述第一滑动杆，提供所述滑动件沿所述第一方向移动的力。
5.如权利要求4所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑道上设有第一限位部和第二限位部，所述第一限位部位于所述第
6.如权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述推动组件与所述滑动件弹性连接。
7.如权利要求4所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述推动组件包括弹性件、第一推杆和第二推杆，所述第一推杆的两端分别与两个所述滑道滑动连接，所述弹性件的两端分别连接所述第一推杆和所述第二滑动杆，所述第二推杆沿所述第一方向与所述第一推杆垂直连接，所述第二推杆能够在所述滑动组件的作用下夹紧或释放所述晶圆。
8.如权利要求7所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述夹持组件包括放置部和夹持部，所述放置部的一端与所述基座连接，多个所述夹持部设于所述放置部的两端；其中，
9.如权利要求7所述的晶圆夹持装置，其特征在于，还包括：
10.如权利要求9所述的晶圆夹持装置，其特征在于，还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹持装置，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑动组件包括滑动件及滑道，所述滑道的至少部分固定在所述基座内且沿所述第一方向延伸，所述滑动件的两端分别与两个所述滑道滑动连接；
3.如权利要求2所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑动件包括滑动支架及丝杆，所述滑动支架的两端分别与两个所述滑道滑动连接，所述丝杆的一端与所述驱动组件连接，另一端沿所述第一方向穿过部分所述滑动支架，所述驱动组件驱动所述丝杆旋转，所述丝杆带动所述滑动支架在所述滑道上移动。
4.如权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑动支架包括第一滑动杆、第二滑动杆和支撑杆，所述第一滑动杆的两端和所述第二滑动杆的两端分别与两个所述滑道滑动连接，所述第一滑动杆与所述第二滑动杆相对平行，所述支撑杆连接于所述第一滑动杆和所述第二滑动杆之间，其中，所述丝杆的一端沿所述第一方向穿过所述第一滑动杆，提供所述滑动件沿所述第一方向移动的力。
5.如权利要求4所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述滑道上设有第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑶，
申请(专利权)人：湖北江城芯片中试服务有限公司，
类型：新型
国别省市：
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