一种化学气相沉积炉的炉底加热装置制造方法及图纸

本技术公开了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，涉及气相沉积炉加热技术领域。本技术包括主体，所述主体的内部设有安装板，所述主体的底面开设有升降腔，升降腔内设有用于主体移动的升降机构，所述主体的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构，且调节机构贯穿安装板，所述安装板的表面设有用于调节机构转动的旋转机构，所述调节机构包括旋转板，调节板转动使连接柱和限位块可以沿着限位槽移动，从而调节加热框架与沉积炉的水平面距离，使装置可以对不同大小的沉积炉进行加热，提高了装置的适配性，而主体内的旋转机构可以使调节机构进行旋转加热，使沉积炉的受热更加均匀，增强了装置的加热效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气相沉积炉加热，具体涉及一种化学气相沉积炉的炉底加热装置。

技术介绍

1、化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，在化学气相沉积的时候，将两种气态的原材料通入到沉积炉，而沉积炉的底部需要加热装置进行加热，而如公告号为cn208328101u的技术公开了一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括炉底盖板，炉底盖板的下方设有保温层，保温层的上表面开设有凹槽，凹槽内设有发热元件，发热元件的两端分别连接一根加热电极，加热电极的一端与发热元件连接，加热电极的另一端从炉底保温层的底部伸出，且加热电极的另一端固定在电极安装座上，保温层的底部设有进气口，炉底盖板上设有出气口，出气口与进气口通过炉膛进气管道连接。本技术解决了目前气相沉积炉炉膛温度均匀性差和炉底温度偏低的问题。

2、现有的化学气相沉积炉的炉底加热装置，一种加热装置只能加热一种型号大小的沉积炉，导致加热装置的适配性较差，提高了沉积炉的加热成本，而且现有的沉积炉本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，包括主体(1)，所述主体(1)的内部设有安装板(11)，所述主体(1)的底面开设有升降腔(10)，所述升降腔(10)内设有用于主体(1)移动的升降机构(6)，所述主体(1)的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构(2)，且调节机构(2)贯穿安装板(11)，所述安装板(11)的表面设有用于调节机构(2)转动的旋转机构(7)，所述调节机构(2)包括旋转板(211)，所述旋转板(211)的底面设有调节电机(212)，所述旋转板(211)的顶面开设有限位槽(205)，所述旋转板(211)的顶面设有调节板(204)，且调节板(204)与调节电机(2...

【技术特征摘要】

1.一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，包括主体(1)，所述主体(1)的内部设有安装板(11)，所述主体(1)的底面开设有升降腔(10)，所述升降腔(10)内设有用于主体(1)移动的升降机构(6)，所述主体(1)的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构(2)，且调节机构(2)贯穿安装板(11)，所述安装板(11)的表面设有用于调节机构(2)转动的旋转机构(7)，所述调节机构(2)包括旋转板(211)，所述旋转板(211)的底面设有调节电机(212)，所述旋转板(211)的顶面开设有限位槽(205)，所述旋转板(211)的顶面设有调节板(204)，且调节板(204)与调节电机(212)的输出端固定连接，所述旋转板(211)的表面阵列开设有弧形槽(209)，所述旋转板(211)的顶面设有加热框架(207)，所述加热框架(207)的底部设有连接柱(203)，所述连接柱(203)的底面设有限位块(202)，且限位块(202)和连接柱(203)分别与弧形槽(209)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转板(211)的顶面阵列设有导向框架(210)，所述加热框架(207)与连接柱(203)之间设有导向块(208)，且导向块(208)与连接柱(203)转动连接，且导向块(208)与导向框架(210)滑动连接，所述加热框架(207)内均匀设有加热棒(201)。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转机构(7)包括旋转电机(701)，且旋转电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐炜，孙矿，
申请(专利权)人：上海晨华科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：