【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气相沉积炉加热，具体涉及一种化学气相沉积炉的炉底加热装置。
技术介绍
1、化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，在化学气相沉积的时候，将两种气态的原材料通入到沉积炉，而沉积炉的底部需要加热装置进行加热，而如公告号为cn208328101u的技术公开了一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括炉底盖板，炉底盖板的下方设有保温层，保温层的上表面开设有凹槽，凹槽内设有发热元件，发热元件的两端分别连接一根加热电极，加热电极的一端与发热元件连接，加热电极的另一端从炉底保温层的底部伸出，且加热电极的另一端固定在电极安装座上，保温层的底部设有进气口，炉底盖板上设有出气口，出气口与进气口通过炉膛进气管道连接。本技术解决了目前气相沉积炉炉膛温度均匀性差和炉底温度偏低的问题。
2、现有的化学气相沉积炉的炉底加热装置，一种加热装置只能加热一种型号大小的沉积炉，导致加热装置的适配性较差，提高了沉积炉的加热成本，而且现有的沉积炉加热装置对沉积炉的加热不够均匀，加热效果较差。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：为解决沉积炉加热装置的适配性较差、加热不够均匀的问题，本技术提供了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置。
2、本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
3、一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括主体，所述主体的内部设有安装板
4、进一步地，所述调节机构包括旋转板，所述旋转板的底面设有调节电机，所述旋转板的顶面开设有限位槽，所述旋转板的顶面设有调节板，且调节板与调节电机的输出端固定连接，所述旋转板的表面阵列开设有弧形槽，所述旋转板的顶面设有加热框架，所述加热框架的底部设有连接柱，所述连接柱的底面设有限位块，且限位块和连接柱分别与弧形槽活动连接。
5、进一步地，所述旋转板的顶面阵列设有导向框架，所述加热框架与连接柱之间设有导向块，且导向块与连接柱转动连接，且导向块与导向框架滑动连接，所述加热框架内均匀设有加热棒。
6、进一步地，所述旋转机构包括旋转电机，且旋转电机固定在安装板的底面，且旋转电机的输出端贯穿安装板，所述旋转电机的输出端设有传动齿轮，所述旋转板的侧面设有齿轮条，且传动齿轮与齿轮条相互啮合。
7、进一步地，所述升降机构包括液压缸，所述液压缸的底面设有支撑板，且支撑板与升降腔活动连接，所述支撑板的底面阵列设有万向轮，且万向轮与支撑板活动连接。
8、进一步地，所述主体的表面开设有调节槽，且调节槽贯穿升降腔的侧面，所述液压缸的表面设有调节杆，且调节杆分别与调节槽和液压缸活动连接。
9、进一步地，所述主体的内侧开设有升降槽，所述升降槽内设有升降丝杆，且升降丝杆与安装板螺纹连接，所述主体的顶面设有升降电机，且升降电机的输出端与升降丝杆的顶端固定连接。
10、进一步地，所述主体的表面分别设有推杆和控制器，且控制器分别与调节电机、旋转电机、加热棒和升降电机电性连接。
11、本技术的有益效果如下：
12、本技术在主体的内部设有调节机构，当沉积炉通过外部机构悬空放入主体内后，调节机构中，在调节电机的带动下，调节板转动使连接柱和限位块可以沿着限位槽移动，从而调节加热框架与沉积炉的水平面距离，使装置可以对不同大小的沉积炉进行加热，提高了装置的适配性，而主体内的旋转机构可以使调节机构进行旋转加热，使沉积炉的受热更加均匀，增强了装置的加热效率。
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1.一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，包括主体(1)，所述主体(1)的内部设有安装板(11)，所述主体(1)的底面开设有升降腔(10)，所述升降腔(10)内设有用于主体(1)移动的升降机构(6)，所述主体(1)的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构(2)，且调节机构(2)贯穿安装板(11)，所述安装板(11)的表面设有用于调节机构(2)转动的旋转机构(7)，所述调节机构(2)包括旋转板(211)，所述旋转板(211)的底面设有调节电机(212)，所述旋转板(211)的顶面开设有限位槽(205)，所述旋转板(211)的顶面设有调节板(204)，且调节板(204)与调节电机(212)的输出端固定连接，所述旋转板(211)的表面阵列开设有弧形槽(209)，所述旋转板(211)的顶面设有加热框架(207)，所述加热框架(207)的底部设有连接柱(203)，所述连接柱(203)的底面设有限位块(202)，且限位块(202)和连接柱(203)分别与弧形槽(209)活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转板(211)的
3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转机构(7)包括旋转电机(701)，且旋转电机(701)固定在安装板(11)的底面，且旋转电机(701)的输出端贯穿安装板(11)，所述旋转电机(701)的输出端设有传动齿轮(702)，所述旋转板(211)的侧面设有齿轮条(206)，且传动齿轮(702)与齿轮条(206)相互啮合。
4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述升降机构(6)包括液压缸(604)，所述液压缸(604)的底面设有支撑板(603)，且支撑板(603)与升降腔(10)活动连接，所述支撑板(603)的底面阵列设有万向轮(602)，且万向轮(602)与支撑板(603)活动连接。
5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述主体(1)的表面开设有调节槽(5)，且调节槽(5)贯穿升降腔(10)的侧面，所述液压缸(604)的表面设有调节杆(601)，且调节杆(601)分别与调节槽(5)和液压缸(604)活动连接。
6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述主体(1)的内侧开设有升降槽(8)，所述升降槽(8)内设有升降丝杆(9)，且升降丝杆(9)与安装板(11)螺纹连接，所述主体(1)的顶面设有升降电机(12)，且升降电机(12)的输出端与升降丝杆(9)的顶端固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述主体(1)的表面分别设有推杆(4)和控制器(3)，且控制器(3)分别与调节电机(212)、旋转电机(701)、加热棒(201)和升降电机(12)电性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，包括主体(1)，所述主体(1)的内部设有安装板(11)，所述主体(1)的底面开设有升降腔(10)，所述升降腔(10)内设有用于主体(1)移动的升降机构(6)，所述主体(1)的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构(2)，且调节机构(2)贯穿安装板(11)，所述安装板(11)的表面设有用于调节机构(2)转动的旋转机构(7)，所述调节机构(2)包括旋转板(211)，所述旋转板(211)的底面设有调节电机(212)，所述旋转板(211)的顶面开设有限位槽(205)，所述旋转板(211)的顶面设有调节板(204)，且调节板(204)与调节电机(212)的输出端固定连接，所述旋转板(211)的表面阵列开设有弧形槽(209)，所述旋转板(211)的顶面设有加热框架(207)，所述加热框架(207)的底部设有连接柱(203)，所述连接柱(203)的底面设有限位块(202)，且限位块(202)和连接柱(203)分别与弧形槽(209)活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转板(211)的顶面阵列设有导向框架(210)，所述加热框架(207)与连接柱(203)之间设有导向块(208)，且导向块(208)与连接柱(203)转动连接，且导向块(208)与导向框架(210)滑动连接，所述加热框架(207)内均匀设有加热棒(201)。
3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转机构(7)包括旋转电机(701)，且旋转电机...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐炜，孙矿，
申请(专利权)人：上海晨华科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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