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本技术公开了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，涉及气相沉积炉加热技术领域。本技术包括主体，所述主体的内部设有安装板，所述主体的底面开设有升降腔，升降腔内设有用于主体移动的升降机构，所述主体的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构，且调节机构...
该专利属于上海晨华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海晨华科技股份有限公司授权不得商用。

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