激光结晶设备制造技术

技术编号:40866745 阅读:21 留言:0更新日期:2024-04-08 16:32
一种激光结晶设备包括:多个激光发生器,生成入射激光束;光学系统,将入射激光束光学转换为输出激光束;处理室,在处理室中,形成在基板上的薄膜通过照射到薄膜的输出激光束被结晶;第一监测装置,检测输出激光束的合成脉冲;第二监测装置,检测入射激光束的单独脉冲;以及控制器,控制多个激光发生器的振荡时间。控制器通过将入射激光束的单独脉冲组合来生成多个合成脉冲,并且从多个合成脉冲中推导出最佳合成脉冲。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及激光结晶设备和使用该激光结晶设备的激光结晶方法。具体地,本公开涉及能够预管理结晶质量的激光结晶设备和使用该激光结晶设备的方法。


技术介绍

1、通常,用于将非晶硅层结晶成多晶硅层的方法包括固相结晶(spc)方法、金属诱导结晶(mic)方法、金属诱导横向结晶(milc)方法或准分子激光退火(ela)方法等。

2、在有机发光二极管显示器(oled)或液晶显示器(lcd)的制造过程中,准分子激光退火(ela)方法通常用于使用激光束将非晶硅结晶成多晶硅。

3、在准分子激光退火(ela)方法中使用的激光结晶设备可以使用脉冲激光。当使用脉冲激光执行非晶硅的结晶时,多晶硅的结晶程度可能受到激光的脉冲形状的影响。


技术实现思路

1、各实施例是为了在使用激光执行结晶时预管理结晶质量。具体地,各实施例提供一种设备和方法,其中,当使用多个脉冲激光对非晶硅层进行的结晶被执行时,推导出提供期望的结晶的合成脉冲形状(复合脉冲形状),并且以使得输出激光束变得与最佳合成脉冲基本相同的方式控制入射激光束的条件。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光结晶设备,包括:

2.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,所述控制器以使得所述输出激光束的所述合成脉冲与所述最佳合成脉冲相同的方式控制所述多个激光发生器的所述振荡时间。

3.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,

4.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,

5.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,

6.根据权利要求5所述的激光结晶设备,其中,

7.根据权利要求6所述的激光结晶设备,其中,

8.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,

9.根据权利要求1所述的激光结晶设备...

【技术特征摘要】

1.一种激光结晶设备,包括:

2.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,所述控制器以使得所述输出激光束的所述合成脉冲与所述最佳合成脉冲相同的方式控制所述多个激光发生器的所述振荡时间。

3.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,

4.根据权利要求1所述的激光结晶设备,其中,

5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:柳憙官具宰成金德在徐东灿吴泳勳吴瑜珍林恩芝
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:

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