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一种激光结晶设备包括：多个激光发生器，生成入射激光束；光学系统，将入射激光束光学转换为输出激光束；处理室，在处理室中，形成在基板上的薄膜通过照射到薄膜的输出激光束被结晶；第一监测装置，检测输出激光束的合成脉冲；第二监测装置，检测入射激光束的...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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