【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及圆晶检测，具体涉及一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置及方法。
技术介绍
1、半导体硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料。在众多半导体原材料中，硅具有明显的优势，硅熔点高、禁带宽度大，可广泛运用于高温、高压器件。在高需求、高要求的同时，圆晶表面处置方式也变的越来越广泛，同也变的越来越重要，圆晶再生重利用提上日程，其中，传统圆晶再生以物理或化学方法除膜，再以化学或机械方式进行研磨与抛光，最后清洗完成。
2、在圆晶的生产过程中，需要对加工后的圆晶的表面进行缺陷检测，现有的多为通过视觉系统进行检测，但现有的视觉检测过程中通常需要人工将圆晶放入到视觉检测机构的下方的治具中，随后通过视觉检测系统进行检测圆晶的缺陷位置，检测完毕后进行人工拿下，但该方法需要人工进行上下料，同时无法对圆晶切割的侧面进行检测，导致需要再次对圆晶的侧面进行检测，导致检测效率较低，同时在检测完后无法对检测缺陷的位置进行标记，导致后续对缺陷位置进行修复时需要重新进行检测观察，造成后续对圆晶的修复较为繁琐的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置及方法，具备了可以对圆晶表面和侧面进行全面的自动化检测，大大提高了对圆晶的检测效果和检测效率，同时对检测到的缺陷进行自动定位和标记，便于后续对缺陷的圆晶进行修复等优点。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置，包括安装台，
4、作为本专利技术进一步的方案：所述上料翻转机构包括与安装槽转动连接的第一传动管，所述第一传动管的外表面固定连接有安装块，所述安装块上转动连接有第二传动管，所述第二传动管的外表面传动连接有与安装盘相连接的第一传动机构，所述第二传动管的外表面固定连接有上料盘，所述第二传动管的顶端固定连接有第一真空吸盘，所述上料盘的顶部固定连接有多个伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固定连接有顶块，所述伸缩杆的外表面固定套接有与上料盘固定连接的弹簧，所述第二传动管的外表面传动连接有与安装块箱连接的第二传动机构，所述第二传动管的底端转动连接有与安装块固定连接的第一连接管，所述第一连接管的底端通过管道与第一传动管相连接，所述第一传动管的一端转动连接有与安装盘固定连接的第二连接管，所述第二连接管的一端通过管道固定连接有与安装盘固定连接的第一真空泵。
5、作为本专利技术进一步的方案：所述第一传动机构包括与安装盘固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器固定连接有第一转轴，所述第一转轴的外表面固定套接有第一齿轮，所述第一齿轮的外表面啮合连接有与第一传动管固定套接的第二齿轮，所述第二传动机构包括与安装块固定连接的第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器固定连接有第二转轴，所述第二转轴的外表面固定套接有第三齿轮，所述第三齿轮的外表面啮合连接有与第二传动管固定套接的第四齿轮。
6、作为本专利技术进一步的方案：所述上料机构包括与支撑架固定连接的第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的一端固定连接有与支撑架滑动连接的传动板，所述传动板的底部固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的底部通过连接板固定连接有第二真空吸盘，所述第二真空吸盘的外表面通过软管固定连接有与支撑架固定连接的第二真空泵，所述安装台上固定连接有第二皮带输送机，所述第二皮带输送机的输送皮带上开设有放置槽。
7、作为本专利技术进一步的方案：所述视觉检测机构包括与支撑架固定连接的第一摄像头，所述支撑架上固定连接有第二摄像头，所述第一摄像头与第二摄像头均通过电线与视觉分析系统相连接。
8、作为本专利技术进一步的方案：所述标记机构包括与支撑架固定连接的第三电机，所述第三电机的输出端通过联轴器固定连接有与支撑架转动连接的传动轴，所述传动轴的底端固定连接有安装框，所述安装框的一侧固定连接有第四电机，所述第四电机的输出端通过联轴器固定连接有与安装框转动连接的螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹配合有传动块，所述安装框上固定连接有与传动块滑动连接的导向杆，所述传动块的底部固定连接有第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆的底端固定连接有海绵标记块，所述安装台上固定连接有沾墨盒。
9、作为本专利技术进一步的方案：所述驱动机构包括与安装台固定连接的驱动电机，所述驱动电机的输出端通过联轴器固定连接有驱动轴，所述驱动轴的外表面固定套接有第一驱动齿轮，所述第一驱动齿轮的外表面啮合连接有与安装轴固定套接的第二驱动齿轮。
10、一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置的的检测方法，包括以下步骤：
11、步骤一、通过将圆晶放入到上料机构上第二皮带输送机上的放置槽内；
12、步骤二、启动圆晶的检测装置，检测装置上的上料机构对圆晶进行自动上料，随后通过上料翻转机构、视觉检测机构、标记机构的配合，实现对圆晶进行视觉检测，并对缺陷的位置进行标记，随后进行下料到第一皮带输送机上；
13、步骤三、将第一皮带输送机上检测后的圆晶取下。
14、本专利技术的有益效果：
15、(1)通过上料机构对圆晶进行自动上料到安装盘上的上料翻转机构上进行固定，随后通过驱动机构带动支撑轴和安装盘进行间歇式转动，使其转动到视觉检测机构的位置，随后通过视觉检测机构和上料翻转机构的配合，从而实现对圆晶的表面和侧面进行全面的检测，大大提高了对圆晶的检测效果，随后通过标记机构和视觉检测机构的配合对圆晶检测的缺陷位置进行标记，便于后续对缺陷位置的修复，随后再通过第一皮带输送机的配合进行自动下料，从而实现对圆晶进行自动化检测，大大提高了对圆晶的检测效率。
16、(2)通过上料翻转机构对圆晶进行固定，同时对圆晶进行转动，随后通过第一摄像头和第二摄像头的配合，从而实现对圆晶表面进行全面的检测，同时对其侧面进行全面的视觉检测，大大提高了对圆晶的检测效果，同时通过上料翻转机构对圆晶的翻转，实现自动下料。
17、(3)当检测到不良品时，同时通过视觉检测系统确定位置后，随后将定位的位置传输到第三电机和第四电机的plc控制系统中。随后通过第三电机带动传动轴转动，传动轴带动安装框转动到定位的角度，随后通过第四电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动传动块移动到定位的位置，随后通过第三电动伸缩杆带动海绵标记块向下移动，使海绵标记块对缺陷的位置进行油墨标记，随后使其移动到沾墨盒上方，随后带动海绵标记块向下移动，对海绵标记块进行沾墨，便于下一次标记，便于后续对不良品缺陷位置的修复。
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1.一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置，包括安装台(1)，其特征在于，所述安装台(1)的顶部转动连接有安装轴(2)，所述安装轴(2)的顶端固定连接有安装盘(3)，所述安装盘(3)上开设有多个安装槽(4)，所述安装槽(4)内设置有上料翻转机构，所述安装盘(3)的上方设置有与安装台(1)固定连接的支撑架(5)，所述支撑架(5)上设置有上料机构，所述支撑架(5)上设置有视觉检测机构，所述支撑架(5)上设置有标记机构，所述安装台(1)上设置有第一皮带输送机(6)。
2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置其特征在于，所述上料翻转机构包括与安装槽(4)转动连接的第一传动管(11)，所述第一传动管(11)的外表面固定连接有安装块(12)，所述安装块(12)上转动连接有第二传动管(13)，所述第二传动管(13)的外表面传动连接有与安装盘(3)相连接的第一传动机构，所述第二传动管(13)的外表面固定连接有上料盘(14)，所述第二传动管(13)的顶端固定连接有第一真空吸盘(15)，所述上料盘(14)的顶部固定连接有多个伸缩杆(16)，所述伸缩杆(16)的顶端固定连接有
3.根据权利要求2所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置其特征在于，所述第一传动机构包括与安装盘(3)固定连接的第一电机(21)，所述第一电机(21)的输出端通过联轴器固定连接有第一转轴(22)，所述第一转轴(22)的外表面固定套接有第一齿轮(23)，所述第一齿轮(23)的外表面啮合连接有与第一传动管(11)固定套接的第二齿轮(24)，所述第二传动机构包括与安装块(12)固定连接的第二电机(25)，所述第二电机(25)的输出端通过联轴器固定连接有第二转轴(26)，所述第二转轴(26)的外表面固定套接有第三齿轮(27)，所述第三齿轮(27)的外表面啮合连接有与第二传动管(13)固定套接的第四齿轮(28)。
4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置其特征在于，所述上料机构包括与支撑架(5)固定连接的第一电动伸缩杆(31)，所述第一电动伸缩杆(31)的一端固定连接有与支撑架(5)滑动连接的传动板(32)，所述传动板(32)的底部固定连接有第二电动伸缩杆(33)，所述第二电动伸缩杆(33)的底部通过连接板固定连接有第二真空吸盘(34)，所述第二真空吸盘(34)的外表面通过软管固定连接有与支撑架(5)固定连接的第二真空泵(35)，所述安装台(1)上固定连接有第二皮带输送机(36)，所述第二皮带输送机(36)的输送皮带上开设有放置槽。
5.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置,其特征在于，所述视觉检测机构包括与支撑架(5)固定连接的第一摄像头(41)，所述支撑架(5)上固定连接有第二摄像头(42)，所述第一摄像头(41)与第二摄像头(42)均通过电线与视觉分析系统相连接。
6.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置,其特征在于，所述标记机构包括与支撑架(5)固定连接的第三电机(51)，所述第三电机(51)的输出端通过联轴器固定连接有与支撑架(5)转动连接的传动轴(52)，所述传动轴(52)的底端固定连接有安装框(53)，所述安装框(53)的一侧固定连接有第四电机(54)，所述第四电机(54)的输出端通过联轴器固定连接有与安装框(53)转动连接的螺纹杆(55)，所述螺纹杆(55)的外表面螺纹配合有传动块(56)，所述安装框(53)上固定连接有与传动块(56)滑动连接的导向杆(57)，所述传动块(56)的底部固定连接有第三电动伸缩杆(58)，所述第三电动伸缩杆(58)的底端固定连接有海绵标记块(59)，所述安装台(1)上固定连接有沾墨盒(590)。
7.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置其特征在于，所述驱动机构包括与安装台(1)固定连接的驱动电机(61)，所述驱动电机(61)的输出端通过联轴器固定连接有驱动轴(62)，所述驱动轴(62)的外表面固定套接有第一驱动齿轮(63)，所述第一驱动齿轮(63)的外表面啮合连接有与安装轴(2)固定套接的第二...
【技术特征摘要】
1.一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置，包括安装台(1)，其特征在于，所述安装台(1)的顶部转动连接有安装轴(2)，所述安装轴(2)的顶端固定连接有安装盘(3)，所述安装盘(3)上开设有多个安装槽(4)，所述安装槽(4)内设置有上料翻转机构，所述安装盘(3)的上方设置有与安装台(1)固定连接的支撑架(5)，所述支撑架(5)上设置有上料机构，所述支撑架(5)上设置有视觉检测机构，所述支撑架(5)上设置有标记机构，所述安装台(1)上设置有第一皮带输送机(6)。
2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置其特征在于，所述上料翻转机构包括与安装槽(4)转动连接的第一传动管(11)，所述第一传动管(11)的外表面固定连接有安装块(12)，所述安装块(12)上转动连接有第二传动管(13)，所述第二传动管(13)的外表面传动连接有与安装盘(3)相连接的第一传动机构，所述第二传动管(13)的外表面固定连接有上料盘(14)，所述第二传动管(13)的顶端固定连接有第一真空吸盘(15)，所述上料盘(14)的顶部固定连接有多个伸缩杆(16)，所述伸缩杆(16)的顶端固定连接有顶块(17)，所述伸缩杆(16)的外表面固定套接有与上料盘(14)固定连接的弹簧(18)，所述第二传动管(13)的外表面传动连接有与安装块(12)箱连接的第二传动机构，所述第二传动管(13)的底端转动连接有与安装块(12)固定连接的第一连接管(19)，所述第一连接管(19)的底端通过管道与第一传动管(11)相连接，所述第一传动管(11)的一端转动连接有与安装盘(3)固定连接的第二连接管(190)，所述第二连接管(190)的一端通过管道固定连接有与安装盘(3)固定连接的第一真空泵(191)。
3.根据权利要求2所述的一种基于机器视觉的圆晶表面检测装置其特征在于，所述第一传动机构包括与安装盘(3)固定连接的第一电机(21)，所述第一电机(21)的输出端通过联轴器固定连接有第一转轴(22)，所述第一转轴(22)的外表面固定套接有第一齿轮(23)，所述第一齿轮(23)的外表面啮合连接有与第一传动管(11)固定套接的第二齿轮(24)，所述第二传动机构包括与安装块(12)固定连接的第二电机(25)，所述第二电机(25)的输出端通过联轴器固定连接有第二转轴(26)，所述第二转轴(26)的外表面固定套接有第三齿轮(27)，所述第三齿轮(27)的外表面啮合连接有与...
【专利技术属性】
技术研发人员：张腾，郑明国，
申请(专利权)人：珠海诚锋电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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