【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测设备，具体是指一种快速更换晶圆上料检测平台。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片。晶圆ao i检测设备，晶圆产品上料定位平台，生产过程中，变更品类(wafer换子母环芯片)时，业内均需在上料平台上拆换陶瓷吸盘(18拧开8个以上锁紧的螺丝)，在通用底座上重新安装适合子母环的金属吸盘，重新调整平台的平面性(重新锁上螺丝)。当再需更换回wafer品类生产时，需要通过拆卸金属吸盘再换上陶瓷吸盘，再次调整平台的水平性，整个操作过程繁杂，特别是平台的水平性调整，需要专业的工程技术人员，操作过程工时至少2个小时以上，导致现有ao i检测设备通用和生产柔性不高。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供了一种快速更换晶圆上料检测平台，为了解决上述提出的技术问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种快速更换晶圆上料检测平台，包括：
3、检测箱，所述检测箱的两侧均通过螺栓固定设置有侧板，且检测箱的顶部还通过螺栓固定设置有盖板，所述盖板的内部固定设置有检测设备；
4、安装架，所述检测箱的内部固定设置有安装架，且安装架的内部设置有两个上料组件，通过两个上料组件对不同类型的晶圆产品进行换料操作；
5、放料组件，所述检测箱内部的底部设置有放料
6、所述放料组件包括电机底座、直接驱动电机、通用底座、陶瓷吸盘、不锈铁引磁圆环以及金属吸盘，所述检测箱内壁的底部通过螺栓固定设置有电机底座，且电机底座的顶部固定设置有直接驱动电机，所述直接驱动电机的输出轴固定设置有通用底座，所述通用底座的顶部设置有陶瓷吸盘，所述陶瓷吸盘的顶部设置有吸附定位槽，且吸附定位槽的内部通过真空系统吸附设置有不锈铁引磁圆环，所述不锈铁引磁圆环的顶部磁性吸附设置有金属吸盘，且金属吸盘的顶部通过真空系统吸附设置有子母环芯片。
7、进一步地，所述金属吸盘的底部设置有若干个磁铁，且不锈铁引磁圆环的顶部设置有若干个与磁铁相配合的引磁槽。
8、进一步地，所述电机底座的顶部固定设置有若干个支撑杆，所述通用底座的底部设置有与支撑杆相配合的环形槽，且若干个支撑杆的顶端均与环形槽内壁的顶部滑动连接。
9、进一步地，两个所述侧板的内部均设置有通口，且两个通口的内部均滑动设置有送料架，所述送料架的顶部设置有凹槽。
10、进一步地，两个所述侧板相对的一侧均固定设置有伺服电缸，且两个伺服电缸的驱动端分别与两个送料架的一侧固定连接。
11、进一步地，所述上料组件包括活动架和吸附块，所述安装架内部的上下方均设置有活动槽，且两个活动槽的内部均通过电动滑台滑动设置有活动架，两个所述活动架的底部均活动设置有吸附块，两个所述活动架的内部均活动设置有微型电缸，且两个微型电缸的驱动端分别与两个吸附块的顶部固定连接。
12、进一步地，所述安装架底部的两侧均固定设置有固定架，且两个固定架的内部均通过电动滑台滑动设置有吹尘架，两个所述吹尘架相对的一侧均设置有半圆缺口。
13、进一步地，两个所述吹尘架内壁的一侧分别固定设置有吹风机和抽风机，且吹风机的吹风口朝向抽风机的抽风口。
14、进一步地，晶圆上料检测平台的上料检测方法，具体包括以下步骤：
15、s1、在对晶圆产品向检测箱的内部进行送料时，通过伺服电缸的驱动端控制送料架从检测箱的内部伸出，将晶圆产品放置在送料架顶部的凹槽中，接着伺服电缸的驱动端在缸体的内部进行复位，让送料架带动晶圆产品进入检测箱的内部，完成对晶圆产品的自动送料操作；
16、s2、通过活动架内部的微型电缸驱动端控制吸附块的底部与送料架内部的晶圆产品上端面进行吸附，通过活动架将晶圆产品带动至两个吹尘架之间，接着控制两个吹尘架相互靠近，利用两个吹尘架上的半圆缺口对微型电缸的驱动端进行包覆，让吸附块连同底部吸附的晶圆产品位于两个吹尘架形成的密闭空间中，利用吹风机对晶圆产品表面的灰尘进行气吹处理，同时配合另一个吹尘架内部的抽风机将晶圆产品表面的灰尘进行抽出；
17、s3、接着控制活动架在安装架的内部向放料组件的一侧滑动，直至带动晶圆产品位移至陶瓷吸盘的正上方，控制微型电缸的驱动端伸出，将晶圆产品放置在陶瓷吸盘上，利用陶瓷吸盘对晶圆产品的底部进行吸附；
18、s4、在对晶圆品类和子母环类产品之间进行更换检测时，通过吸附块将金属吸盘连同底部磁性连接的不锈铁引磁圆环吸附吊装至陶瓷吸盘的正上方，将不锈铁引磁圆环放入陶瓷吸盘顶部的吸附定位槽中，开启陶瓷吸盘的真空系统，将不锈铁引磁圆环吸附在陶瓷吸盘上，完成对金属吸盘和不锈铁引磁圆环二者在陶瓷吸盘上的快速组装，再通过吸附块将子母环芯片吊装至金属吸盘上，利用金属吸盘对子母环芯片进行检测处理。
19、采用上述结构本专利技术取得的有益效果如下：
20、本专利技术中通过在检测箱内部的两侧均设置送料架，让送料架带动晶圆产品进入检测箱的内部，完成对晶圆产品的自动送料操作，通过左右两个送料架能够实现晶圆产品的连续送料检测，利用一侧的送料架进行送料，配合另一侧的送料架进行出料，显著提高对晶圆产品的检测效率，通过在安装架的内部设置两个上料组件，通过两个上料组件对不同类型的晶圆产品进行换料操作，同时在上料过程中利用吹风机对晶圆产品表面的灰尘进行气吹处理，同时配合另一个吹尘架内部的抽风机将晶圆产品表面的灰尘进行抽出，确保晶圆产品表面的清洁性，从而提高后续对晶圆产品表面的检测结果准确度，解决目前对晶圆检测更换操作复杂，造成晶圆检测效率低的问题；通过将不锈铁引磁圆环与陶瓷吸盘之间进行吸附连接，无需再调整金属吸盘的水平性，让不锈铁引磁圆环和金属吸盘二者组成快换机构，在进行晶圆品类和子母环类产品之间的更换检测时，只需要关闭陶瓷吸盘上的真空系统，将金属吸盘和不锈铁引磁圆环从陶瓷吸盘上取下，便可以完成对晶圆品类和子母环类产品之间的更换检测，更换作业过程无需专业技术人员和水平面的再调整，换取时间2分钟内可完成，显著提高了对晶圆的检测效率。
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1.一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：所述金属吸盘(20)的底部设置有若干个磁铁(22)，且不锈铁引磁圆环(19)的顶部设置有若干个与磁铁(22)相配合的引磁槽。
3.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：所述电机底座(15)的顶部固定设置有若干个支撑杆(23)，所述通用底座(17)的底部设置有与支撑杆(23)相配合的环形槽(24)，且若干个支撑杆(23)的顶端均与环形槽(24)内壁的顶部滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：两个所述侧板(2)的内部均设置有通口，且两个通口的内部均滑动设置有送料架(6)，所述送料架(6)的顶部设置有凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：两个所述侧板(2)相对的一侧均固定设置有伺服电缸(7)，且两个伺服电缸(7)的驱动端分别与两个送料架(6)的一侧固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台
7.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：所述安装架(5)底部的两侧均固定设置有固定架(11)，且两个固定架(11)的内部均通过电动滑台滑动设置有吹尘架(12)，两个所述吹尘架(12)相对的一侧均设置有半圆缺口。
8.根据权利要求7所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：两个所述吹尘架(12)内壁的一侧分别固定设置有吹风机(13)和抽风机(14)，且吹风机(13)的吹风口朝向抽风机(14)的抽风口。
9.根据权利要求1-8任一项所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：晶圆上料检测平台的上料检测方法，具体包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：所述金属吸盘(20)的底部设置有若干个磁铁(22)，且不锈铁引磁圆环(19)的顶部设置有若干个与磁铁(22)相配合的引磁槽。
3.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：所述电机底座(15)的顶部固定设置有若干个支撑杆(23)，所述通用底座(17)的底部设置有与支撑杆(23)相配合的环形槽(24)，且若干个支撑杆(23)的顶端均与环形槽(24)内壁的顶部滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：两个所述侧板(2)的内部均设置有通口，且两个通口的内部均滑动设置有送料架(6)，所述送料架(6)的顶部设置有凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种快速更换晶圆上料检测平台，其特征在于：两个所述侧板(2)相对的一侧均固定设置有伺服电缸(7)，且两个伺服电缸(7)的驱动端分别与两个送料架(6)的一侧固定连接。
6.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：周李渊，何华仙，张腾，
申请(专利权)人：珠海诚锋电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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