【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及载台装置、图案形成装置及物品制造方法。
技术介绍
1、传统上，已知通过向载台施加推力以使载台沿预定方向移动而产生的反作用力成为载台装置中的扰动，这可能使载台装置的操作不稳定。
2、日本特开平11-168064号公开了一种载台装置，该载台装置包括推力产生单元，该推力产生单元产生用于抵消当载台沿预定方向移动时产生的反作用力的推力。
3、日本特开平11-168064号中公开的载台装置中配设的推力产生单元在单个位置处产生用于抵消反作用力的推力。
4、因此，当为了使载台沿预定方向移动而向载台施加推力的位置(即，产生反作用力的位置)与产生用于抵消反作用力的推力的位置彼此偏移时，产生力偶，并且力偶变成载台装置中的扰动。
5、虽然可以通过在组装载台装置时对齐两个位置来抑制这种力偶的发生，但是这种操作需要很多时间，因此可能会延迟组装。
6、此外，即使在以这种方式组装载台装置之后，也可能通过由于安装在载台装置上的工件的重量、载台装置上的组件、结构的位置和姿态等随时间的变化而改变上述两...
【技术保护点】
1.一种载台装置，其包括：
2.根据权利要求1所述的载台装置，所述载台装置还包括：
3.根据权利要求2所述的载台装置，其中，所述控制器具有第一增益参数，所述第一增益参数用于确定由所确定的至少一个推力产生单元中的各个产生的推力的大小。
4.根据权利要求3所述的载台装置，其中，所述控制器：
5.根据权利要求4所述的载台装置，其中，由相对于所述第二方向上的位置的函数，表示所述第一增益参数。
6.根据权利要求4所述的载台装置，其中，由相对于所述第二方向上的位置的表，表示所述第一增益参数。
7.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种载台装置，其包括：
2.根据权利要求1所述的载台装置，所述载台装置还包括：
3.根据权利要求2所述的载台装置，其中，所述控制器具有第一增益参数，所述第一增益参数用于确定由所确定的至少一个推力产生单元中的各个产生的推力的大小。
4.根据权利要求3所述的载台装置，其中，所述控制器：
5.根据权利要求4所述的载台装置，其中，由相对于所述第二方向上的位置的函数，表示所述第一增益参数。
6.根据权利要求4所述的载台装置，其中，由相对于所述第二方向上的位置的表，表示所述第一增益参数。
7.根据权利要求4所述的载台装置，其中，所述控制器通过周期性地重新计算所述第一增益参数来更新所述第一增益参数。
8.根据权利要求2所述的载台装置，其中，所述控制器具有，所述多个推力产生单元共用的第二增益参数和根据所述载台装置的使用状态或操作顺序而改变的第三增益参数。
9.根据权利要求2所述的载台装置，其中，所述控制器对所确定的至少一个推力产生单元进行前馈控制，以使所确定的至少一个推力产生单元产生所述推力。
10.根据权利要求1所述的载台装置，所述载台装置还包括：
11.根据权利要求10所述的载台装置，其中，所述反作用力减小单元包括，在所述第二方向上延伸的第三定子和固定到所述第二可动元件并且能够在所述第二方向上移动的第三可动元件。
12.根据权利要求11所述的载台装置，其中，所述...
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